• Title/Summary/Keyword: 로우

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The Effects of the Annealing on the Reflow Property of Cu Thin Film (열처리에 따른 구리박막의 리플로우 특성)

  • Kim Dong-Won;Kim Sang-Ho
    • Journal of the Korean institute of surface engineering
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    • v.38 no.1
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    • pp.28-36
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    • 2005
  • In this study, the reflow characteristics of copper thin films which is expected to be used as interconnection materials in the next generation semiconductor devices were investigated. Cu thin films were deposited on the TaN diffusion barrier by metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) and annealed at the temperature between 250℃ and 550℃ in various ambient gases. When the Cu thin films were annealed in the hydrogen ambience compared with oxygen ambience, sheet resistance of Cu thin films decreased and the breakdown of TaN diffusion barrier was not occurred and a stable Cu/TaN/Si structure was formed at the annealing temperature of 450℃. In addition, reflow properties of Cu thin films could be enhanced in H₂ ambient. With Cu reflow process, we could fill the trench patterns of 0.16~0.24 11m with aspect ratio of 4.17~6.25 at the annealing temperature of 450℃ in hydrogen ambience. It is expected that Cu reflow process will be applied to fill the deep pattern with ultra fine structure in metallization.

The Design of Shock Mounts Using Rubber Materials for Vibration-Isolation (방진고무를 이용한 충격 마운트 설계)

  • 유춘화;권형오;이상엽;이규섭
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 1991.04a
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    • pp.127-132
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    • 1991
  • 충격에 민감한 용기나 기계들은 운반이나 보관중에 받을 수 있는 진동충격 을 완화시키기 위해 충격 마운트를 이용하게 되며, 충격마운트는 용기나 기 계들이 허용하는 최대가속도와 이들이 취급되는 환경에 의해 적절히 선정되 어야 한다. 그러므로 내충격 설계는 최대 허용 가속도나 취급환경에 대한 사 양과 이 사양에 의한 충격 마운트의 선정, 그리고 선정된 내충격 시스템의 충격시험에 의한 오일 탬퍼의 결합용이 사용되기도 하지만 구조가 복잡하고 가격이 비싸서 대용량이 경우에만 국한되어 사용되고 있으며, 가장 경제적인 것은 방진고무를 사용한 것이다. 내충격 시스템은 일반적으로 큰 변형량을 요구하고 있으며, 방진고무의 경우 큰 변형에서는 hardening 스프링의 비선 형성을 가지고, 형상계수와 고무배합율에 따라 정적 스프링상수와 동적 스프 링상수가 큰 차이를 보이는 등, 설계상의 여러 제한이 있다. 그러나 방진고 무는 형상변화가 자유로우며 제작이 용이하기 때문에 이러한 장점을 이용하 면 저렴하고 다양한 용도의 충격마운트 제작에 효과적으로 사용될 수 있다. 본 논문에서는 원통형 콘테이너의 내충격 설계를 위해 충격사양에 의한 충 격마운트의 설계, 설계된 내충격 시스템의 충격시험에 의한 검증을 순차적으 로 실시하여, 방진고무를 이용한 충격마운트 설계기술을 제시함으로써, 이후 방진고무제품의 설계를 위한 자료 및 과정의 제정에 도움을 주고자 한다.

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외규장각에 소장되어 있었던 천문학 관련 도서

  • An, Sang-Hyeon
    • Bulletin of the Korean Space Science Society
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    • 2011.04a
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    • pp.19.3-19.3
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    • 2011
  • 1631년 정두원이 명나라로부터 가져온 네 권의 과학서와 한 편의 보고서 가운데, 치력연기(治曆緣起)라는 책과 서양공헌신위대경소(西洋貢獻神威大鏡疏)가 강화도의 외규장각에 소장되고 있었다. 이 점에 유의하여 강화도 외규장각에 소장되어 있었던 천문학 및 수학 관련 서적을 조사해 보았다. 외규장각 소장 도서의 목록에 해당하는 외규장각형지안(外奎章閣形止案)을 조사하여, 소장 도서의 내역과 소장 상태의 변천을 알아낼 수 있다. 그 결과 서양공헌신위대경소는 1791년 신해박해 때 천주교 서적으로 오인되어 소각되었고, 치력연기는 1866년 병인양요 때 프랑스 해군에 의해 소각되었음을 알 수 있었다. 외규장각에는, Napier의 대수(logarithm)에 관한 아이디어가 반영되어 있는 쟈크 로우(Rho)의 주산(籌算)이란 책이 소장되어 있었고, 조선조 양대 물시계에 관한 보고서인 흠경각영건의궤(欽敬閣營建儀軌)와 보루각중수의궤(報漏閣重修儀軌)가 있었으며, 조선 국왕들이 천문에 관해 작성한 어제 및 어필이 소장되어 있었으며, 천문류초(天文類抄)와 천기대요(天機大要)와 같은 널리 사용되던 천문 및 음양학관련 서적이 소장되어 있었다. 특히, 1866년 프랑스 해군에 의해 약탈되어 현재 프랑스 파리 국가도서관에 소장되어 있는 천상열차분야지도는 숙종석각의 탁본으로 추정된다. 현재 10여 개의 탁본이 국내외에 남아 있으나, 최근 프랑스로부터 반환되게 된 외규장각 도서 내역에 천상열차분야지도가 포함되지 못하였다. 이와 관련하여 약간 토의하고자 한다.

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Evaluation of Interference Alignment for MIMO-IC based on IEEE 802.11n (IEEE 802.11n 기반 MIMO-IC의 간섭정렬 성능평가)

  • Bae, Insan;Yun, Heesuk;Kim, Jaemoung
    • Journal of Satellite, Information and Communications
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    • v.8 no.4
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    • pp.47-52
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    • 2013
  • In this paper, The existing interference alignment algorithms were analyzed in Rayleigh fading channel environment. The interference alignment techniques are divided to two parts. First thing is Iterative-method, another is Linear-method. Iterative method needs local channel info, but it has the constraint of iteration. On the other hand Linear-method must have global channel info, but has free of iteration and better performance. This paper evaluates the performance of interference alignment algorithms in Rayleigh fading channel of outdoor environment and WLAN channel based on IEEE 802.11n of indoor environment.

Movement 동인(動因)과 감성변이 연구를 위한 애니메이션 분석모형

  • Lee, Sang-Won
    • Cartoon and Animation Studies
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    • s.5
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    • pp.485-489
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    • 2001
  • 본 작품은 사실적 표현, 즉 실사에 근거한 분위기의 애니메이션에 관한 관점에서 시작한다. 물론 애니메이션에서는 생략과 과장이 자유로우며 풍자적이고 은유적인 분위기를 연출하는 것이 특징이다. 즉 사실성보다는 허구적이며 과장된 표현으로 왜곡을 가함으로써 관객들에게 극적 효과를 유발한다. 하지만 관객은 사실적이지 않은 허구인 것을 알면서도 자유로운 상상력의 오락적 분위기에 흥미를 갖는다. 아울러 본 작품은 애니메이션의 동인(動因)과 감성과의 관계를 전제로 한 애니메이션의 분석모형 작품이다. 이러한 모델 설계를 통해 대상물의 본질적인 면, 즉 사실성에 근거한 표현정도에 따라 인간의 감성이 달라질 수 있다는 가정 하에 애니메이션에 있어서 프레임 수와 대상물의 단순화 정도에 따라 감성이 어떻게 반응하고 변화하는가를 웹사이트 상에서 조사할 수 있도록 분석모형을 제작하였다. 연구작품을 위해 애니메이션의 동인이라고 할 수 있는 시간, 운동, 공간 중에서 움직임 지각에 영향을 줄 수 있는 타이밍, 즉 속도문제에 대해 프레임 수와 단순화 단계를 애니메이션의 Movement 동인에 대한 조작적 정의에 독립변수로 보았다. 분석모형의 설계는 객관적인 시각에서 대상물의 움직임을 파악할 수 있는 Duration이 짧은 유형의 대상물(말)과 중간정도의 대상물(사람), 그리고 긴 유형의 대상물(거북이)을 표본으로 선정하여 각 대상물마다 4단계의 프레임으로 나누어 좌표상의 Y축에 제작 배열하였다. 한편 단순화 단계는 대상물의 사실성에 선 드로잉에 이르기까지 4단계로 구분${\cdot}$제작하여 X축에 배열하여 각 클립별 감성언어 조사를 인터넷상에서 할 수 있도록 디자인하였다. 한편 각 클립에서 보여지는 표현향식에 대해 느끼는 감성조사는 디자인 관련 감성 형용사 중에서 본 연구에 적합한 감성언어들을 골라 조사 실시하고자 한다.

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Fabrication and Characterization of Polymer Microlens using Solvent-vapor-assisted Reflow (솔벤트 증기처리 Reflow를 이용한 폴리머 마이크로 렌즈 제작 및 특성고찰)

  • Yang, Seung Woo;Kim, Sin Hyeong;Kim, Bo Hyun;Cho, Young Hak
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.32 no.3
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    • pp.299-305
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    • 2015
  • In this paper, we propose a simple and low-cost fabrication method of polymer microlens using solvent-vapor-assisted reflow (SVAR). Metal molds for replication of polymer were fabricated using micro milling and the cylindrical shape of polymer was imprinted using hot-embossing process. The cylindrical shape of polymer was changed to hemispherical lens shape by SVAR. The characteristics of fabricated microlens were evaluated according to the condition of SVAR such as temperature and time. The focal length of polymer microlens could be controlled more easily in low-temperature and long-time condition than in high-temperature and short-time condition. That is, the level of concentrated light to focal point could be improved through the control of temperature and time. Also, we confirmed that toluene was more appropriate solvent than acetone in fabrication of PMMA polymer microlens using SVAR.

Techniques to improve DRAM Energy Efficiency through Selective Refresh (선택적 리프레시를 통한 DRAM 에너지 효율 향상 기법)

  • Kim, Young-Ung
    • The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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    • v.20 no.2
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    • pp.179-185
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    • 2020
  • DRAM is a major component of the main memory system. As the operating system evolves and application complexity and capacity increases, the capacity and speed of DRAM are also increasing. DRAM should perform a refresh action of periodically reading and then re-storing stored values, and the accompanying performance and power/energy overhead embodies characteristics that worsen as capacity increases. This study proposes an energy efficiency improvement technique that efficiently stores the rows that need to be refreshed within 64ms and 128ms using the bloom filter for cells with the lowest retention time of electrons. The results of the experiment showed that the proposed technique resulted in an average 5.5% performance improvement, 76.4% reduction in average refresh energy, and 10.3% reduction in average EDP.

A Study on the theory, history and criticism of Colin Rowe - A Criticism of his Liberalism and Formalist Approach - (콜린 로우의 건축론 -그의 자유주의와 형식자적 입장-)

  • Kang, Hyuck
    • Journal of architectural history
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    • v.17 no.1
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    • pp.7-28
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    • 2008
  • Colin Rowe was an important historian, theorist and critic in Modern architecture. His significance in Modern architectural history lies in not only historiography which has changed our view of Modernism but deep theoretical involvement in practice. This study is a critical review and analysis on his formalist approach in Architecture. With a view that his position of formalist has indispensible relationship with liberalism from K. Popper's critical rationalism, this study try to show how his philosophical background has an influence upon his way of seeing architecture, history, form, urbanism, and meaning, etc. And this study also try to explain why the principle of architecture as an autonomous discipline which is the main point of view in Rowe's criticism has been so successful and influential. This study also explain what is the possibility and limitation of Rowe's formalist approach and way of reading buildings. His intelligent way of formal analysis can give us new understandings of how the form generates and the process of design goes on. Furthermore it guide us a new horizon of architecture as a language game. Since his early writings showed both side of formalist approach in architecture and it didn't changed a lot. We can understand his 'Collage City' was a his final answer to his formalist way of making architecture and urbanism. we can estemate it as a utopia without utopianism and an ideology without ideological color.

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Chip-on-Glass Process Using the Thin Film Heater Fabricated on Si Chip (Si 칩에 형성된 박막히터를 이용한 Chip-on-Glass 공정)

  • Jung, Boo-Yang;Oh, Tae-Sung
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.14 no.3
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    • pp.57-64
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    • 2007
  • New Chip-on-glass technology to attach an Si chip directly on the glass substrate of LCD panel was studied with local heating method of the Si chip by using thin film heater fabricated on the Si chip. Square-shaped Cu thin film heater with the width of $150\;{\mu}m$, thickness of $0.8\;{\mu}m$, and total length of 12.15 mm was sputter-deposited on the $5\;mm{\times}5\;mm$ Si chip. With applying current of 0.9A for 60 sec to the Cu thin film heater, COG bonding of a Si chip to a glass substrate was successfully accomplished with reflowing the Sn-3.5Ag solder bumps on the Si chip.

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다결정 실리콘 박막트랜지스터 1T-DRAM에 관한 연구

  • Park, Jin-Gwon;Jo, Won-Ju;Jeong, Hong-Bae;Lee, Yeong-Hui
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.109-109
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    • 2011
  • 1T-1C로 구성되는 기존의 DRAM(Dynamic Random Access Memory)은 데이터를 저장하기 위한 적절한 capacitance를 확보해야 한다. 따라서 캐패시터 면적으로 인한 집적도에 한계에 직면해있다. 따라서 이를 대체하기 위한 새로운 DRAM인 1T (Transistor) DRAM이 각광받고 있다. 기존의 DRAM과 달리 SOI (Silicon On Insulator)기술을 이용한 1T-DRAM은 데이터 저장을 위한 캐패시터가 필요없다. Impact Ionization 또는 GIDL을 이용해 발생한 정공을 채널영역에 가둠으로 서 발생하는 포텐셜 변화를 이용한다. 이로서 드레인 전류가 변화하며, 이를 이용해 '0'과 '1'을 구분한다. 기존의 1T-DRAM은 단결정 실리콘을 이용하여 개발되었으나 좀더 광범위한 디바이스로의 적용을 위해서는 다결정 실리콘 박막의 형태로 제작이 필수적이다. 단결정 실리콘을 이용할 경우 3차원 집적이나 기판재료선택에 제한적이지만 다결정 실리콘을 이용할 경우, 기판결정이 자유로우며 실리콘 박막이나 매몰 산화층의 형성 및 두께 조절이 용이하다. 때문에 3차원 적층에 유리하여 다결정 실리콘 박막 형태의 1T-DRAM 제작이 요구되고 있다. 따라서 이번연구에서는 엑시머 레이저 어닐링 및 고상결정화 방법을 이용하여 결정화 시킨 다결정 실리콘을 이용하여 1T-DRAM을 제작하였으며 메모리 특성을 확인하였다. 기판은 상부실리콘 100 nm, buried oxide 200 nm로 구성된 SOI구조의 기판을 사용하였다. 엑시머 레이저 어닐링의 경우 400 mJ/cm2의 에너지를 가지는 KrF 248 nm 엑시머 레이저 이용하여 결정화시켰으며, 고상결정화 방법은 $400^{\circ}C$ 질소 분위기에서 24시간 열처리하여 결정화 시켰다. 두가지 결정화 방법을 사용하여 제작되어진 박막트랜지스터 1T-DRAM 모두 kink 현상을 확인할 수 있었으며 메모리 특성 역시 확인할 수 있었다.

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