• 한국광학회:학술대회논문집
• /
• 한국광학회 1995년도 광학 및 양자전자학 워크샵 논문집
• /
• pp.169-175
• /
• 1995

레이저 계측기술의 일반적인 장점인 비접촉방식에 의한 측정 가능, 측정의 정밀 정확도 향상, 높은 검지도 등의 장점으로 연소현상을 진단하기 위하여 여러 가지 레이저 게측지술이 사용되고 있다. 레이저를 이용한 연소진단 기술 중 가장 널리 사용되고 있는 CARS, 레이저 형광유도 기술, 축퇴사광파 혼합기술에 대한 연구를 수행하였다. CARS 기술은 관련 측정기술과 실제 화염의 구조를 분석하는 응용연구를 하였으며, 산업적인 응용을 위한 장비를개발하였다. 그리고, 레이저 형광 유도 기술을 적용하여 화염 내부에서의 OH 농도를 측정하였다. 최근 활발히 연구되고 있는 축퇴사광파 혼합기술을 이용한 연소기체 진단법을 연구하기 위하여, 분광기를 구성하고 화염 내에서 OH 농도를 측정하여 레이저 유도형광법으로 측정한 결과와 비교 하여 서로 일치하는 결과를 얻었다.

• 대한소아치과학회지
• /
• 제27권1호
• /
• pp.40-44
• /
• 2000

연구목적은 새로운 레이저형광측정기술을 응용한 휴대용 우식진단기구인 Diagnodent를 사용한 우식진단법의 검사자내 신뢰도를 분석하는 것이었다. 발거된 사람 대구치와 소구치를 대상으로 열구를 3회, 평활면을 5회 반복 검사하였다. 측정치들의 평균치간 차이의 유의성을 t-검사로 검정하였고 측정치들간의 상관성을 Pearson 상관계수와 Spearman 순위상관계수로 산출하였으며 척도 신뢰도분석으로 검사자내 신뢰도를 분석하였다. 연구성적에서, 열구측정치들 간에 유의한 차이는 없었으나, 평활면측정치들간에는 10개 조합 중 2개에서 유의한 차이가 있었다(P<0.05). 그러나, Pearson 상관과 Spearman 순위상관은 모두 상관계수 0.9 이상의 유의한 상관성을 나타내었고(P<0.01), 신뢰도의 값은 열구측정에서 0.9980 내지 0.9981로, 평활면측정에서 0.9992로 산출되었다. Diagnodent를 사용한 우식진단법은 생체외에서 한 검사자가 반복 검사를 시행하였을 때 완전한 일치에 가까운 재현도, 곧 매우 높은 검사자내 신뢰도를 가지고 있는 것으로 나타났다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
• /
• pp.81-81
• /
• 2013

반도체, LCD, MEMs 등 미세 전자소자의 제작과 깊은 관련이 있는 IT 산업은 자동차 산업과 함께 세계 경제를 이끌고 있는 핵심 산업이며, 그 발전 가능성이 크다고 할 수 있다. 이 중 반도체, LCD 공정 기술에 관해서 대한민국은 세계를 선도하여 시장을 이끌어 나가고 있는 실정이다. 이들의 공정기술은 주로 높은 수율(yield)을 기반으로 한 대량 생산 기술에 초점이 맞추어져 있기 때문에, 현재와 같은 첨예한 가격 경쟁력이 요구되는 시대에서 공정 기술 개발을 통해 수율을 최대한으로 이끌어 내는 것이 현재 반도체를 비롯한 미세소자 산업이 직면하고 있는 하나의 중대한 과제라 할 수 있다. 특히 반도체공정에 있어 발전을 거듭하여 현재 20 nm 수준의 선폭을 갖는 소자들의 양산이 계획 있는데 이와 같은 나노미터급 선폭을 갖는 소자 양산과 관련된 CD (critical dimension)의 감소는 공차의 감소를 유발시키고 있으며, 패널의 양산에 있어서 생산 효율 증가를 위한 기판 크기의 대형화가 이루어지고 있다. 또한, 소자의 집적도를 높이기 위하여 높은 종횡비(aspect ratio)를 요구하는 공정이 일반화됨에 따라 단일 웨이퍼 내에서의 공정의 균일도(With in wafer uniformity, WIWU) 및 공정이 진행되는 시간에 따른 균일도(Wafer to wafer uniformity)의 변화 양상에 대한 파악을 통한 공정 진단에 대한 요구가 급증하고 있는 현실이다. 반도체 및 LCD 공정에 있어서 공정 균일도의 감시 및 향상을 위하여 박막, 증착, 식각의 주요 공정에 널리 사용되고 있는 플라즈마의 균일도(uniformity)를 파악하고 실시간으로 감시하는 것이 반드시 필요하며, 플라즈마의 균일도를 파악한다는 것은 플라즈마의 기판 상의 공간적 분포(radial direction)를 확인하여 보는 것을 의미한다. 현재까지 플라즈마의 공간적 분포를 진단하는 대표적인 방법으로는 랭뮤어 탐침(Langmuir Probe), 레이저 유도 형광법(Laser Induced Fluorescence, LIF) 그리고 광섬유를 이용한 발광분광법(Optical Emission Spectroscopy, OES)등이 있으나 랭뮤어 탐침은 플라즈마 본연의 상태에서 섭동(pertubation) 현상에 의한 교란, 이온에너지 측정의 한계로 인하여 공정의 실시간 감시에 적합하지 않으며, 레이저 유도 형광법은 측정 물질의 제한성 때문에 플라즈마 내부에 존재하는 다양한 종의 거동을 살필 수 없다는 단점 및 장치의 설치와 정렬(alignment)이 상대적으로 어려워 산업 현장에서 사용하기에 한계가 있다. 본 연구에서는 최소 50 cm에서 최대 400 cm까지 플라즈마 내 측정 거리에서 최대 20 mm 공간 분해가 가능한 광 수광 시스템 및 플라즈마 공정에서의 라디칼의 상태 변화를 분광학적 비접촉 방법으로 계측할 수 있는 발광 분광 분석기를 접목하여 플라즈마 챔버 내의 라디칼 공간 분포를 계측할 수 있는 진단 센서를 고안하고 이를 실 공정에 적용하여 보았다. 플라즈마 증착 및 식각 공정에서 형성된 박막의 두께 및 식각률과 공간 분해발광 분석법을 통하여 계측된 결과와의 매우 높은 상관관계를 확인하였다.

• 대한소아치과학회지
• /
• 제31권4호
• /
• pp.671-679
• /
• 2004

레이저와 플라스마 광, 할로겐 광 중합기를 이용하여 각 개인의 우식 활성토를 측정할 수 있는지를 규명하기 위해 7-8세 아동 45명을 대상으로 치아의 순면과 협면에 각 광원을 조사하고 특수 필터를 사용하여 초기 치아우식증으로 판별된 치아의 개수를 측정하여 기존의 우식활성도 측정방법인 dDfFtT rate와 mutans streptococci 측정법, Lactobacilli 측정법과 비교, 평가하고 그 특이도, 민감도, 예측력을 평가하였다. 1. 아르곤 레이저, 플라스마 광, 할로겐 광 조사시 육안검사시 보다 유의하게 많은 초기우식 병소가 관찰되었다(p<0.05). 2. 아르곤 레이저, 플라스마 광, 할로겐 광을 이용한 우식활성도 측정법은 dDfFtT rate와 양의 상관관계 (${\gamma}=0.42,\;0.41,\;0.39$)를 보였다(p<0.01). 3. 기존의 우식활성도 측정방법을 기준으로 하여 평가한 결과 특이도와 민감도, 예측력은 모두 레이저가 가장 높았으며 플라스마 광, 할로겐 광 순으로 나타났다. 이상의 결과를 종합하여 볼 때 아르곤 레이저와 플라스마 광, 할로겐 광을 이용한 형광법은 모두 양호한 진단학적 지표를 보여줌으로써 향후 광학적 우식활성검사법으로 활용 가능성이 높을 것으로 사료된다.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
• /
• 제65권2호
• /
• pp.137-141
• /
• 2008

1990년대 초부터 형광 기관지 내시경이 임상 진료에 사용되면서 방사선검사에서 나타나지 않는 상피내 폐암이나 미세하게 진행된 조기 폐암의 진단 빈도가 늘어났으며, 이러한 상피내 폐암의 과반수 이상에서 진행성 폐암으로 진행하므로, 근치적 목적의 치료가 더욱 조기에 도입될 수 있어 폐암 치료에서의 중요한 진단 도구가 되었다. 치료적 내시경술의 발달로 기존의 진행된 폐암에서 기도 폐쇄 감소 혹은 출혈 부위의 지혈 등의 완화적 목적뿐 아니라, 조기 폐암이지만 심폐 기능 등 전신 상태의 문제로 수술이 불가능한 환자에서 근치적 치료로도 이용되고 있으며, 특히, 수술의 절제 범위를 축소시키는 효과를 가져올 수 있다. 아르곤 플라스마 응고소작술(argon plasma coagulation, APC)은 레이저와 광역학 치료법(photodynamic therapy, PDT) 등에 비하여 조기 폐암 병변의 치료에 서 근치적 치료 및 진행성 폐암에서의 완화요법으로서 효과면에서 동등하고, 특히 침투 범위가 얕으므로 표재성 의 병변에서 탁월하며, 경제적 접근성이 용이하다. 저자들은 우측 상엽의 절제 가능한 폐암에 우측 하엽에 상피내 암이 동반된 동시성 원발성 폐암 환자를 우측상엽절제와 APC로써 치료한 증례 1예를 경험하여 보고한다.

• 대한소아치과학회지
• /
• 제33권2호
• /
• pp.207-220
• /
• 2006

새로 개발된 조기 진단 장비들로는 laser fluorescence device(LFD), 초음파 진단 시스템, confocal laser scanning microscopy(CLSM), quantitative light-induced fluorescence(QLF) 시스템 그리고 digital imaging fiber-optic trans-illumination(DIFOTI) 시스템 등이 있다. 본 연구는 임상에서 사용되고 있는 DIFOTI시스템과 LFD를 이용하여 유치 교환 시기에 있는 환아 21명, 25개의 유치를 대상으로 각 치아당 $1{\sim}3$점을 선정하여 구강내에서 초기 우식법랑질에 대한 DIFOTI 이미지 촬영 결과와 LFD 계측값을 3회 측정하고 그 평균을 대표값으로 한 결과를 CLSM과 비교하여 진단 능력을 평가하였다. 실험실 연구에서는 인공우식 용액을 이용하여 수거된 40개의 유치를 협설면에 $2{\times}3mm$ 크기의 창을 형성하고 4, 8, 12, 16일간 탈회시키면서 그 변화를 DIFOTI 시스템과 LFD를 이용하여 측정하고 이를 CLSM과 비교 분석하여 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. 구강내에서 촬영된 DIFOTI의 민감도는 88.2%이었고, 특이도는 76.9%이었다. 2. 구강내에서 측정된 LDD의 민감도는 76.5%이었고, 특이도는 69.2%이었다. 3. 실험실 연구에서 유치 법랑질의 탈회 기간에 따른 DIFOTI 광투과율의 회귀 분석한 결과, 탈회 시간에 따라 광투과율은 감소하였다(r=-0.96, p<0.05). 4. 실험실에서 탈회 기간에 따른 LFD의 측정값의 회귀 분석 결과 통계적 유의성을 보이지 않았다(p>0.05). 5. DIFOTI 이미지의 광투과율과 CLMS의 병소 깊이에 대한 상관 계수는 -0.688이었으나(p<0.05), LFD의 측정값은 유의성을 보이지 않았다.

• 대한소아치과학회지
• /
• 제28권4호
• /
• pp.613-619
• /
• 2001

교합면의 열구는 우식이 발생하기 쉬운 위치이며, 특히 초기우식병소는 건전해 보이는 법랑질 하방에서 진행되는 경우가 많고, 주위 건전 법랑질과 잘 구별되지 않아서 주기적인 검사에도 불구하고 우식의 치료 시기를 놓치는 경우가 종종 있다. 초기 우식을 조기에 진단할 경우 불소도포, 식이조절, 치태조절 능력개선 그리고 타액분비 촉진 등의 방법으로 그 병리적 과정을 차단하고, 조기에 치료할 수 있다는 관점에서 조기 진단은 중요시되고 있다. 본 연구는 발거된 치아에서 교합면 우식을 검출하기 위해 두가지 전통적인 진단법인 시진, 방사선 검사법에 대하여 레이저 형광측정법을 이용한 새로운 우식진단기구인 Diagnodent (Biberach, Germany)의 민감도, 특이도 그리고 정확도를 비교함으로서 교합면 초기 우식 병소에 대한 가장 신뢰성 있는 진단 방법에 대하여 평가하고자 하였으며 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. Diagnodent는 건전치에서 7.8, 초기우식에서 25.4, 법랑질 우식에서는 30.5 그리고 상아질 우식에서는 53.8의 평균값을 나타냈다. 2. 염료를 이용한 치아조직표본검사와 스피어만과 피어슨 상관계수에서 Diagnodent(0.736, 0.619)와 시진(0.664, 0.666)에서 높은 상관성을 나타냈고 방사선 촬영검사(0.333, 0.335)에서 가장 낮은 상관성을 나타냈다(P<0.01 전체). 3. 교합면 우식진단의 정확도는 Diagnodent가 65%로 가장 높았고 방사선 검사가 34%로 가장 낮았다. 4. 초기 우식의 경우, Diagnodent의 민감도와 특이도가 가장 높았고 법랑질 우식의 경우, 시진의 민감도가 가장 높았으며 Diagnodent의 특이도가 가장 높았다. 상아질 우식의 경우, Diagnodent의 민감도와 특이도가 가장 높았으며 시진의 민감도가 가장 낮았다.ed sealant는 기계적 삭제 방법을 사용한 경우와 산부식 방법만을 사용한 경우 모두 열구 침투도나 미세누출에 있어서 유의한 차이가 없었다. 이상의 결과로 보아 치면열구전색제 도포 시 열구 침투도가 우수하고 미세누출이 적은 기계적 삭제 방법과 물리적 성질이 우수한 filled sealant의 사용이 바람직하다고 생각된다. 그러나 미세누출에 있어 교합력을 고려한 실험이나 장기간의 임상실험이 필요할 것이다.5).vac/PE필름은 장기저장시 사용이 좋을 것으로 사료된다. 2) 질소가스 및 탄산가스투과도 각각 $61.6{\mu}PVDC/PE/Al-vac/CPS\;12.5,\;59.8>96.9{\mu}PE/PVDC/PE\;7.1,\;42.0>79.3{\mu}ET/PVDC/L-LDPE\;6.4,\;34.2>72.2{\mu}PET/PVDC/PE/Al-vac/PE\;0.74,\;4.2cc/m^2.24hr{\cdot}atm$으로 가장 우수한 PET/PVDC/PE/Al-vac/PE 복합필름이 장기저장용으로 이용이 좋을 것으로 사료된다.태발생을 연구하는데 기초적인 자료로 활용될 수 있을 것으로 사료된다. 조사한 결과 유의확률이 0.05 이하인 수치들은 Hb과 Albumin, K, Na간, Neutrophil과 Leukocyte간이었고 상관계 수치는 $0.370{\sim}0.442$ 사이로 나타났다. 유의확률 0.01이하로 조사된 수치는 Cholesterol과 ALT간, LDH와 Platelet, Creatinine간, Platelet와 BUN간, Na와 K수치간 이었으며 상관계수는 $0.531{\sim}0.866$사이로 나타났다. 5. 농양환자에서의 검사치간 상관관계를 조사한 결과 유의확률이 0.05이하인 수치들은 CRP와 Neutrophil간 이었고 상관계수는 0.