• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 1995.06a
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• pp.169-175
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• 1995

레이저 계측기술의 일반적인 장점인 비접촉방식에 의한 측정 가능, 측정의 정밀 정확도 향상, 높은 검지도 등의 장점으로 연소현상을 진단하기 위하여 여러 가지 레이저 게측지술이 사용되고 있다. 레이저를 이용한 연소진단 기술 중 가장 널리 사용되고 있는 CARS, 레이저 형광유도 기술, 축퇴사광파 혼합기술에 대한 연구를 수행하였다. CARS 기술은 관련 측정기술과 실제 화염의 구조를 분석하는 응용연구를 하였으며, 산업적인 응용을 위한 장비를개발하였다. 그리고, 레이저 형광 유도 기술을 적용하여 화염 내부에서의 OH 농도를 측정하였다. 최근 활발히 연구되고 있는 축퇴사광파 혼합기술을 이용한 연소기체 진단법을 연구하기 위하여, 분광기를 구성하고 화염 내에서 OH 농도를 측정하여 레이저 유도형광법으로 측정한 결과와 비교 하여 서로 일치하는 결과를 얻었다.

• Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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• v.27 no.1
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• pp.40-44
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• 2000

The purpose of study was to measure the interrater reliability of the newly developed caries diagnostic instrument, Diagnodent(KaVo, Germany), using a new laser fluorescence techinique. One hundred and three extracted human premolars and molars were examined by Diagnodent, three times for fissures and five times for smooth surfaces. There was no significant difference among the three fissure means, but two combinations showed significant differences among the five smooth surface means. Correlation coefficients of Pearson and Spearman were all above 0.9(P<0.01). The $\alpha$ values from reliability analysis were 0.9980 or 0.9981 for fissures and 0.9992 for smooth surfaces.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.81-81
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• 2013

반도체, LCD, MEMs 등 미세 전자소자의 제작과 깊은 관련이 있는 IT 산업은 자동차 산업과 함께 세계 경제를 이끌고 있는 핵심 산업이며, 그 발전 가능성이 크다고 할 수 있다. 이 중 반도체, LCD 공정 기술에 관해서 대한민국은 세계를 선도하여 시장을 이끌어 나가고 있는 실정이다. 이들의 공정기술은 주로 높은 수율(yield)을 기반으로 한 대량 생산 기술에 초점이 맞추어져 있기 때문에, 현재와 같은 첨예한 가격 경쟁력이 요구되는 시대에서 공정 기술 개발을 통해 수율을 최대한으로 이끌어 내는 것이 현재 반도체를 비롯한 미세소자 산업이 직면하고 있는 하나의 중대한 과제라 할 수 있다. 특히 반도체공정에 있어 발전을 거듭하여 현재 20 nm 수준의 선폭을 갖는 소자들의 양산이 계획 있는데 이와 같은 나노미터급 선폭을 갖는 소자 양산과 관련된 CD (critical dimension)의 감소는 공차의 감소를 유발시키고 있으며, 패널의 양산에 있어서 생산 효율 증가를 위한 기판 크기의 대형화가 이루어지고 있다. 또한, 소자의 집적도를 높이기 위하여 높은 종횡비(aspect ratio)를 요구하는 공정이 일반화됨에 따라 단일 웨이퍼 내에서의 공정의 균일도(With in wafer uniformity, WIWU) 및 공정이 진행되는 시간에 따른 균일도(Wafer to wafer uniformity)의 변화 양상에 대한 파악을 통한 공정 진단에 대한 요구가 급증하고 있는 현실이다. 반도체 및 LCD 공정에 있어서 공정 균일도의 감시 및 향상을 위하여 박막, 증착, 식각의 주요 공정에 널리 사용되고 있는 플라즈마의 균일도(uniformity)를 파악하고 실시간으로 감시하는 것이 반드시 필요하며, 플라즈마의 균일도를 파악한다는 것은 플라즈마의 기판 상의 공간적 분포(radial direction)를 확인하여 보는 것을 의미한다. 현재까지 플라즈마의 공간적 분포를 진단하는 대표적인 방법으로는 랭뮤어 탐침(Langmuir Probe), 레이저 유도 형광법(Laser Induced Fluorescence, LIF) 그리고 광섬유를 이용한 발광분광법(Optical Emission Spectroscopy, OES)등이 있으나 랭뮤어 탐침은 플라즈마 본연의 상태에서 섭동(pertubation) 현상에 의한 교란, 이온에너지 측정의 한계로 인하여 공정의 실시간 감시에 적합하지 않으며, 레이저 유도 형광법은 측정 물질의 제한성 때문에 플라즈마 내부에 존재하는 다양한 종의 거동을 살필 수 없다는 단점 및 장치의 설치와 정렬(alignment)이 상대적으로 어려워 산업 현장에서 사용하기에 한계가 있다. 본 연구에서는 최소 50 cm에서 최대 400 cm까지 플라즈마 내 측정 거리에서 최대 20 mm 공간 분해가 가능한 광 수광 시스템 및 플라즈마 공정에서의 라디칼의 상태 변화를 분광학적 비접촉 방법으로 계측할 수 있는 발광 분광 분석기를 접목하여 플라즈마 챔버 내의 라디칼 공간 분포를 계측할 수 있는 진단 센서를 고안하고 이를 실 공정에 적용하여 보았다. 플라즈마 증착 및 식각 공정에서 형성된 박막의 두께 및 식각률과 공간 분해발광 분석법을 통하여 계측된 결과와의 매우 높은 상관관계를 확인하였다.

• Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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• v.31 no.4
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• pp.671-679
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• 2004

The purpose of this study was to develop a practical caries activity test by fluorescence using laser, plasma light and halogen light. The subjects of study were 45 children of 7-8 years old Argon laser, plasma light and halogen light were irradiated to buccal or labial surface of all teeth. Fluorescence of initial carious lesion from teeth was observed through barrier filter and the number of teeth showing lesion was counted. Visual examination for the dDfFtT, mutans streptococci screening test and Lactobacilli colony counting were also done. Data analysis was accomplished by Axelsson's method. The result from the present study can be summarized as follows. 1. Laser, plasma light and halogen light could detect the initial carious lesions better than visual examination(p<0.05). 2. There was positive correlation between laser(r=0.42), plasma light(r=0.41), halogen light(r=0.39) and dBfFtT rate(p<0.01). 3. The specificity sensitivity and predictive value was showed highest value in laser, but was showed favorable value in plasma light and halogen light. In regard to above results, laser, plasma light and halogen light all considered to be reliable method for determining individual caries activity. And they were also considered to be practical method because it would be simple, inexpensive, and time saving method.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• v.65 no.2
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• pp.137-141
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• 2008

We treated synchronous double primary lung cancers, where one site resulted from CIS disease, with lobectomy and argon plasma coagulation (APC) in a patient who couldn't tolerate pneumonectomy, which resulted in a reduction of the extent of surgery. APC could be a reasonable alternative for CIS disease of lung in inoperable patients.

• Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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• v.33 no.2
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• pp.207-220
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• 2006

The newly developed equipments for the early detection of carious lesion are LFD (laser fluorescence device), Ultrasonic diagnostic system, CLSM(confocal laser scanning microscopy), QLF(quantitative light-induced fluorescence) and DIFOTI (digital imaging fiber-optic trans-illumination) system. In this study, DIFOTI system and LFD were used for the detection of early enamel caries. Twenty five primary teeth extracted from twenty one children at around the dentitional exchanging period were selected as samples. The results obtained from DIFOTI imaging and LFD measurement were compared with those of CLSM and comprehensive evaluations were made for the diagnostic capacity of each device. In vitro test, 40 sample teeth with their buccal & lingual surface formed by a window of $2{\times}3mm$ in diameter were immersed in artificial demineralizing solution for the period of 4, 8, 12 and 16 days. The results obtained from the experimental groups (DIFOTI, LFD) were compared to control group (CLSM) and we have reached to the following conclusions. 1. The sensitivity and specificity of DIFOTI system operated in oral environment was 88.2% and 76.9% respectively. 2. The sensitivity and specificity of LFD measured in oral environment was 76.5% and 69.2% respectively. 3, Regression analysis on the light transparent rate of DIFOTI showed its decrease according to the length of primary enamel decalcification performed in vitro(r=-0.96, p<0.05). 4. No statistically significant difference between LFT measurement and the length of in vitro decalcification was found in regression analysis (p>0.05). 5. The correlation coefficient of DIFOTI image transparent rate and the lesion depth of CLMS was -0.6988 (p<0.05), whereas no statistically significant difference was found for LFD measurement.

• Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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• v.28 no.4
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• pp.613-619
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• 2001

The aims of this study were to compare the accuracy, sensitivity and specificity of cnventional visual examination, radiography and a new laser fluorescence method, KaVo Diagnodent, for the detection of occlusal caries lesions. One hundred sound human premolars and molars which had no restorations or interproximal cavities were tested by three methods. Tooth lesions depth was assessed at histologic examination using Caries detector dye The following results were obtained. 1. Diagnodent show 7.8 in sound tooth, 25.4 in initial caries, 30.5 in enamel caries, and 53.8 in dentin caries with average score 2. Spearman and Pearson relation coefficient was high between tooth-specimen test with dye and Diagnodent(0.736, 0.619), visual examination(0.664, 0.666), and was low between tooth-specimen test with dye and radiographic examination(P<0.01, total) 3. Accuracy of occlusal caries was highest on Diagnodent(65%) and lowest on radiographic examination(35%) 4. In initial caries, the sensitivity and specificity of Diagnodent method was the highest. In enamel caries, the sensitivity of visual examination was the highest and specificity of Diagnodent method was the highest. In dentinal caries, the sensitivity and specificity of Diagnodent method was the highest and sensitivity of visual examination was the lowest.