NLD Plasma 식각 공정을 이용한 $LiNbO_3$ 광 도파로의 식각 Profile의 특성
(Characterization of Etching profile for $LiNbO_3$ Optical Waveguide by Using Neutral Loop Discharge Plasma Dry Etching)
-
- 한국재료학회:학술대회논문집
- /
- 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
- /
- pp.138-138
- /
- 2003