• 제목/요약/키워드: 두께 평가

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XRR용 두께 표준물질 제작을 위한 박막성장 및 특성평가

  • Yu, Byeong-Yun;Bin, Seok-Min;Kim, Chang-Su;O, Byeong-Seong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.141-141
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    • 2012
  • X-선 반사율 측정법(XRR)은 비파괴적인 측정방법과 수 nm의 두께를 정밀하게 측정할 수 있는 장점으로 인하여 반도체 산업현장에서 많은 관심과 연구가 이루어지고 있다. 이러한 XRR은 두께 분석 측정의 정밀도를 향상시키고 부정확한 결과를 방지하기 위하여 측정기기를 검증하고 보정할 수 있는 두께 표준물질을 필요로 하고 있다. 본 연구에서는 XRR용 두께 표준물질을 이온빔 스퍼터링 증착방법을 이용하여 제작하였다. 두께 표준물질 제작에 있어 공기 중 노출에 의해 산화가 되지 않는 산화물 박막과 산화물 기판을 선택하였다. 후보물질은 glass, sapphire, quartz, SiO2기판과 HfO2, Ta2O5, Cr2O3 산화물 타켓을 이용하여 박막을 제작하였다. 제작된 후 보물질은 교정된 XRR을 통하여 박막의 두께, 계면 및 표면 거칠기, 밀도등 박막의 구조특성분석을 하였다. Glass, quartz의 경우 기판 표면 거칠기가 좋지 않아 제작된 샘플의 X-선 반사율 곡선이 급격히 떨어지면서 측정되는 각도의 영역이 작아졌다. Sapphire로 제작한 시편은 측정된 데이터와 simulation의 curve fitting이 양호하지 않았다. 이 중 SiO2기판을 사용하고 HfO2박막을 증착한 샘플이 다른 후보물질보다 XRR curve fitting 결과가 가장 양호하여 두께 표준물질로 응용하기에 적절하였다. 그리고 AFM (Atomic Force MicroScope)을 이용하여 기판의 거칠기 및 증착한 박막표면 거칠기 측정을 하였고, TEM (Transmission Electron Microscope)으로 두께 측정을 하여 XRR로 얻은 데이터와 비교하였다. 이러한 결과를 토대로 XRR용 두께 표준물질 제작할 수 있었고, 추후 불확도 평가 및 비교실험을 통하여 제작된 XRR용 두께 표준물질을 이용할 수 있을 것으로 기대된다.

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Note on a Method for Mathematical Creativity Assessment by Differentiating the Student's Solutions of the Posed Problems (문제해결 방법의 차등화를 통한 수학적 창의성 평가에 대한 소고)

  • Kim, Pan Soo;Kim, Nan Young
    • Journal of Elementary Mathematics Education in Korea
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    • 제17권3호
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    • pp.503-522
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    • 2013
  • In the 2009 new curriculum reform, where creativity is the key point, assessment methods for mathematical creativity is recommended. However, lessons for creativity are not carried out well in mathematics classes. One of the reasons for this is the lack of assessment methods for student's creativity and specific instructions on how teachers should evaluate their students using a written test. Therefore, in this paper, we propose a simple way to evaluate student's creativity by differentiating the student's solutions of the posed problems. For validation of the proposed method, we identified the properties of excellent problem solutions cited by both the students group and teachers group. A chi-square test was then carried out to compare any differences in frequency that each of the groups chose as an excellent solution as a result of the student's problem solving

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XRR 두께 표준물질용 $HfO_2 $ 박막 제작 및 특성평가

  • Yu, Byeong-Yun;Bin, Seok-Min;Jeon, Hyeon-Gu;O, Byeong-Seong;Kim, Chang-Su
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.303-303
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    • 2012
  • X-선 반사율 측정법(XRR)은 비파괴적인 측정방법으로 수 nm의 두께를 정밀하게 측정할 수 있는 장점으로 반도체 산업현장에서 많은 관심과 연구가 이루어지고 있다. 이러한 XRR의 두께 측정 정밀도를 향상시키고 부정확한 결과를 방지하기 위하여 측정기기를 검증하고 보정할 수 있는 두께 표준물질을 필요로 하고 있다. 본 연구에서는 IBSD (ion beam sputtering deposition)와 ALD (atomic layer deposition)를 이용하여 5 nm, 10 nm의 $HfO_2$ 박막을 제작하고, XRR용 두께 표준물질로 응용할 수 있는지를 살펴보았다. 먼저 두께표준물질로 제작하기 위해서는 박막과 기판이 안정한 상태를 유지해야 한다. 이에 박막은 공기 중 노출에 의한 산화로 박막의 두께가 변할 수 있는 금속박막 대신에 공기 중에서도 안정한 산화물 박막인 $HfO_2$ 박막을 사용하고 기판은 Si wafer를 thermal공기 중에서도 안정한 산화물 박막인 $HfO_2$ 박막을 사용하고 기판은 Si wafer를 therma oxidation법을 이용하여 $1{\mu}m$ 두께로 제작한 비정질 $SiO_2$ 기판을 사용했다. 제작된 시료의 특성평가를 위해 XRR (X-ray reflectometer) 측정을 통해 두께, 거칠기 및 밀도를 확인하였고, TEM (transmission electron microscope)으로 두께 측정을 하여 XRR로 얻은 두께결과와 비교하였다. 측정결과를 확인하였을 때 두 증착 방법 중 ALD를 이용하여 제작한 시편에서는 박막과 기판사이의 interface가 sharp하여 반사율 곡선의 진폭이 크게 잘 나타났고 fitting 결과도 우수하여 IBSD로 증착한 시편보다 두께 표준물질로 응용하기에 더 적합하였다.

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한국벤처캐피탈 투자평가모형의 타당성 분석

  • 나중덕
    • Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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    • 제2권2호
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    • pp.115-129
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    • 1997
  • 본 연구는 한국의 벤처캐피탈회사들이 투자안이 투자여부를 판단하는데 사용하는 평가모형이 실제의 성과와 비교하여 타당성을 갖는가를 분석하였다. 이를 위해 본 연구는 다음의 두가지 투자모형을 도출하여 그 내용을 비교하였다. 실제심사모형(Current Evaluation Model)은 심사과정을 거친 168개 투자안을 coxorehlse 그룹과 기각된 그룹으로 분류하여 이에 대한 판별분석을 통해 투자여부에 영향을 미친 평가요인의 우선순위를 규명하여 도출하였다. 한편, 성과모형(Performance-based model)은 앞 모형에서 채택된 투자안을 다시 성공과 실패의 두 그룹으로 분류하고 이를 종속변수로 한 판별분석을 통해 성과에 대한 평가요인의 영향도를 파악하여 개발하였다. 이 두 모형을 비교함으로써 본 연구는 우리나라 벤쳐캐피탈이 적용하는 투자평가시스템의 문제점을 파악하고 그 원인을 고찰하였다. 본 연구는 미국 등 선진국과 달리 다양한 투자환경에서 나타날 수 있는 투자평가모형의 타당성을 검증할 수 있는 접근방법을 제시했다는 점에 큰 의의가 있다. 이러한 접근을 통해 현 평가 모형의 문제점을 파악하고 개선방법을 제시할 수 있을 것이다.

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두께감소 판형 홀다운스프링 집합체의 탄성강성도 해석

  • 송기남;이진석;서정민;서금석;장흥순
    • Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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    • 한국원자력학회 1996년도 추계학술발표회논문집(2)
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    • pp.487-493
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    • 1996
  • 판(leaf)의 너비가 일정하고 두께가 균일하게 감소하는 두께감소 홀다운스프링집합체(Tapered-Thickness Holddown spring Assembly ; TT-HDS)에서 단순 보 이론과 Castigliano의 정리를 이용하여 TT-HDS의 탄성강성도를 해석적으로 구할 수 있도록 종래에 유도되었던 탄성강성도 평가식을 수정하고 확장하였으며 TT-HDS의 기하학적 설계자료를 이용하여 탄성강성도를 평가하였다. 아울러 ANSYS code 의 접촉요소를 이용하여 TT-HDS을 유한요소 모델링하여 탄성강성도를 수치적으로 평가하였다. 평가 결과 전단력 및 축력이 TT-HDS의 탄성강성도에 미치는 영향은 약 0.09∼0.16%정도로서 TT-HDS의 탄성강성도는 주로 굽힘모우멘트에 의해 지배되고 있음이 확인되었다. 또한 접촉요소로 유한요소 모델링하여 평가한 결과는 확장된 평가식으로 평가한 탄성강성도와 매우 잘 일치하고 있음을 발견하였다.

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Safety Assessment of Corrosion-damaged Steel Structure (사회기반시설(부식된 강구조물)의 안전도 평가에 관한 연구)

  • Choi, Hyun-Ho;Seo, Jong-Won;Kang, Sang-Hyeok
    • 한국방재학회:학술대회논문집
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    • 한국방재학회 2008년도 정기총회 및 학술발표대회
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    • pp.633-636
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    • 2008
  • 일반적으로 부식된 부재의 두께를 측정하는 데는 많은 불확실성이 존재하며, 부식의 진행정도에 따라 부재의 부식 두께는 측정 위치마다 다르므로, 기존의 신뢰성 해석 방법을 사용하여 모든 불확실성을 고려한 정량적인 안전도를 평가하는 것은 실질적으로 불가능하다. 따라서 본 논문에서는 불확실 신뢰도 기법을 적용한 안전도 분석 절차를 제안하였으며, 효율성과 적용성을 검토하기 위하여 국내 공용중인 사장교에 적용하였다. 심하게 부식된 부재의 잔존 두께의 불확실성은 부식이 진행되는 정도에 따라 증가하므로 부재의 부식 두께를 불확실 정도로 표현되는 불확실 구간으로 표현하였으며, 기존의 신뢰성 기법과 불확실 신뢰도 기법의 비교를 수행하였다. 이러한 불확실 신뢰도 기법은 주관적이거나 조건부 독립에 대한 통계적 판단을 이용하여, 부식된 구조물의 안전도 평가나 위험도 평가를 하는 경우에 유용하여 적용할 수 있을 것으로 판단된다.

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Modified indirect evaluation method for deterioration assessment of drinking water pipes (상수도 노후도 평가를 위한 수정 간접평가법)

  • Kwon, Hyuk Jaea
    • Journal of Korea Water Resources Association
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    • 제56권11호
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    • pp.697-703
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    • 2023
  • In this study, a modified indirect evaluation method was developed to predict the deterioration level of water pipes. The accuracy of the modified method was verified by comparing it with the direct method. The weights of index were adjusted by reducing the weight of water quality corrosion, soil corrosion, lay depth and road type according to the importance of the existing evaluation factors and adding the weight of pipe thickness. In the results, the weight of pipe thickness was determined to be 0.1530. Comparing with the direct evaluation method, the accuracy of the modified indirect evaluation method increased by 31.03% compared to the indirect evaluation method. The modified indirect evaluation method will be able to select relatively old pipes more accurately and efficiently than the existing indirect evaluation method when prioritizing the improvement of old water pipes.

Study on the Electric Property of multilayered $BaTiO_3$ thin film using t Reliability test (절연 신뢰성 평가를 이용한 다층구조 $BaTiO_3$ 박막의 전기적 특성 평가)

  • Oh, Jeong-Hoon;Kim, Young-Sik;Lee, Yun-Hi;Park, Chang-Yun;Oh, Myung-Hwan
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 대한전기학회 1997년도 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.1232-1235
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    • 1997
  • 서로 다른 두께를 가진 다층구조 $BaTiO_3$ 박막의 절연신뢰성을 time-zero dielectric breakdown (TZDB) 기법과 time-dependent dielectric breakdown (TDDB) 기법을 사용하여 평가하였으며 통계적 방법을 이용하여 그 결과를 분석하였다. 다층구조 $BaTiO_3$ 박막은 rf-magnetron sputtering 방법으로 ITO가 코팅된 유리기판 위에 형성되었다 TZDB 측정 결과, 박막의 두께가 증가 할수록 최고 빈도수를 보이는 항복전기장의 세기는 낮아지는 것으로 확인되었으며, 두께에 따라 다른 항전기장의 분포를 보였다. TDDB 결과로부터 박막의 두께 증가에 파라 안정적인 시간거동 특성이 확인되었으며 이것은 항전기장의 분포 특성과 관계가 있는 것으로 보인다.

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연인두 폐쇄 부전 환자의 보상조음 특성

  • 이은경;손영익
    • Proceedings of the KSLP Conference
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    • 대한음성언어의학회 2003년도 제19회 학술대회
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    • pp.146-146
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    • 2003
  • 연인두 폐쇄 부전으로 보상조음이 있을 때, 말 명료도를 저하시킬 뿐 아니라 실제의 연인두 기능이 과소평가 될 수 있으므로 이에 대한 감별 및 언어치료가 필수적이다. 본 연구에서는 연인두 폐쇄 부전 환자들에서 보상조음의 출현율을 알아보고 어떤 음소들이 영향을 받는지 살펴보고자 하였다. 또한 연령과 과비성의 정도에 따른 차이도 살펴보았다. 1998년 3월부터 2003년 6월까지 삼성서울병원에서 연인두 폐쇄 부전으로 진단 받고 언어치료를 받지 않았거나 언어치료 경험은 있지만 일반화되지 않고 중단된 환자 105명의 조음 및 공명 평가 자료를 분석하였다. 연령은 평균 11.3세(2.1세부터 63세)였고 7세 이하의 아동집단이 65명, 성인집단이 40명이었다. 조음은 구강압력자음인 파열음, 마찰음, 파찰음에서의 보상조음의 유무 및 종류를 분석하였다. 과비성의 정도는 경도, 중도, 심도로 평가하였다. (중략)

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Comparison of Components of Self-directed Learning Discribed in the Students' Evaluation of Explicit Instruction and Implicit Instruction Regarding Self-directed Learning (자기주도학습의 명시적 수업과 암묵적 수업에 대한 과학영재중학생의 평가에서 관찰되는 자기주도학습 요소 비교)

  • Choe, Seung-Urn;Kim, Eun-Sook
    • Journal of Gifted/Talented Education
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    • 제23권6호
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    • pp.1077-1098
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    • 2013
  • Science gifted students enrolled in a program, where classes had either explicit or implicit instruction about self-directed learning, were asked to write what was satisfying after each class. This process was part of the evaluation of the program. Students' descriptions related to self-directed learning are compared in these two classes, one with explicit instruction and the other with implicit instruction. First, most of the components related to self-directed learning, which were reported in the previous research articles, were mentioned in students evaluation. If there was any specific description regarding what was satisfying, there were components of self-directed learning. Students descriptions were consistent with list of self-directed learning components, which was constructed based on the previous research. Therefore it may be concluded that students recognized most of the reported self-directed learning components and satisfied with them. Second, There were differences in the evaluation of two types of classes. The evaluation of class with explicit instruction contained more self-directed learning components more frequently. For example, students worked in small groups in both classes. However more students mentioned small groups in classes with explicit instruction. As a result the explicit instruction appears to be more effective for students to recognize the self-directed learning components. However some of the components mentioned in classes with implicit instruction were not mentioned in the classes with explicit instruction. Therefore classes with explicit and implicit instructions are complimentary with each other and both instructions are necessary.