• 제목/요약/키워드: 두께분포

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방사광 X-선 반사도론 이용한 oxynitride 나노박막의 두께와 계면 거칠기 측정 (Structural characterization of oxynitride films by synchrotron x-ray reflectivity analysis)

  • 장창환;주만길;신광수;오원태;이문호
    • 한국결정학회:학술대회논문집
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    • 한국결정학회 2002년도 정기총회 및 추계학술연구발표회
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    • pp.44-44
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    • 2002
  • 방사광 X-선 반사도를 이용하여 나노 스케일의 두께를 가진 oxynitride 박막의 계면 구조 및 두께를 측정하였다. Oxynitride 박막에서 nitrogen 분포의 분석은 두께가 극도로 얇아지는 요즘의 반도체 제작에서 매우 중요한 과제로 대두되고 있다. (1) X-선 반사도 측정을 분석하여 박막 깊이에 따른 전자밀도분포와 계면에서의 거칠기 및 각 층의 두께가 결정되었다. X-선 반사도 측정 분석으로부터 Nitrogen은 SiO₂와 Si substrate 계면에 위치하며, 화학조성분포와 층 구조의 상관성을 SIMS를 이용한 조성분포 측정과 비교하였다.

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랙의 접점간 거리에 따른 도금 두께 분포 계산 (Calculation of Deposit Thickness Distribution According to Distance between Contact Points of Rack)

  • 이민수;박재영;임태홍
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2016년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.162-162
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    • 2016
  • 비전도체를 피도금체로 하여 전기 도금을 하는 경우 우선 피도금체 상에 시드 층을 형성 시키고 이후 여러 번의 전기도금을 거치게 된다. 이때 접점의 위치와 전류 인가 방법은 도금 특성에 영향을 미치게 된다. 이를 고찰하기 위하여 접점간 거리에 따른 도금 두께 분포 계산을 하였다. 본 연구에서는 도금 분포 계산을 위해 Elsyca社의 PlatingMaster를 사용하였다. 방향별 도금 두께 분포의 변화를 극명하게 관찰하기 위하여 종횡비 10:1로 음극과 양극 모델링을 하였고 접점의 개수는 1 ~ 3개, 접점의 위치는 10 mm 간격으로 이동하는 것을 변수로 하였다. 피도금체의 시드 층은 니켈 층으로 두께 $0.4{\mu}m$로 설정하고 유산동 도금 용액을 이용하여 용액 데이터베이스 측정하고 반영하였다. 계산을 위한 전류 밀도는 $50mA/cm^2$, 도금시간은 10분으로 모든 모델에서 동일하게 적용하였다. 도금이 성장한 면의 두께를 폭과 길이 방향으로 비교 관찰한 결과 전극간의 거리는 시드 층이 얇을수록 두께 분포에 큰 영향을 미쳤다. 하지만 하지 도금 층의 두께가 충분히 두꺼운 경우 전극간의 거리는 큰 영향을 미치지 않는다.

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The politic plan research for furniture industrial activation in the northern part of Gyeonggi-Province

  • Im, Kwang-Soon;Kim, Houn-Chul;Park, Byung-Dae
    • 한국가구학회지
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    • 제21권6호
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    • pp.449-458
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    • 2010
  • 본 연구는 중밀도섬유판(MDF)의보드두께에 따른 수평밀도분포(HDD: horizontal density distribution)를 조사하기 위해 수행하였다. 생산공장에서 제조된 보드두께가 다른 5 종류 즉 2 mm, 4.5 mm, 9 mm, 18 mm 및 30 mm의 원판을 두 가지 다른 시편크기 즉 $500{\times}500\;mm$$120{\times}120\;mm$로 제작하여 수평밀도분포를 측정하였다. 전체적으로MDF의 밀도는 보드두께가 증가할수록 감소하는 경향을 보였으며, 가장 얇은 보드두께의 MDF가 가장높은 밀도를 나타내었다. 수평밀도분포의 변이는 작은 크기 즉 $120{\times}120\;mm$의 시편에서 큰 차이를 보여 MDF의 보드두께가 수평밀도분포에 큰 영향을 미치는 것으로 나타났으며 보드두께가 클수록 감소하는 경향을 나타내었다. 또 보드두께가 적을수록 수평밀도분포의 밀도분포는 컸으나 보드두께가 클수록 밀도범위가 좁게 나타났다. 수평밀도분포의 변이계수(COV)는 보드두께가 증가함에 따라 감소하는 경향을 보였다. 요약하면 MDF 보드두께는 수평밀도분포에 매우 큰 영향을 미치며시편의 크기 또한 상당한 영향을 미치는 것으로 나타났다.

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비대칭 DGMOSFET의 상하단 산화막 두께비에 따른 문턱전압 및 전도중심의 변화 (Deviation of Threshold Voltage and Conduction Path for the Ratio of Top and Bottom Oxide Thickness of Asymmetric Double Gate MOSFET)

  • 정학기
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국정보통신학회 2014년도 추계학술대회
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    • pp.765-768
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    • 2014
  • 본 연구에서는 비대칭 이중게이트 MOSFET의 상하단 게이트 산화막 두께 비에 대한 문턱전압 및 전도중심의 변화에 대하여 분석하고자한다. 비대칭 이중게이트 MOSFET는 상하단 게이트 산화막의 두께를 다르게 제작할 수 있어 문턱전압이하 영역에서 전류를 제어할 수 있는 요소가 증가하는 장점이 있다. 상하단 게이트 산화막 두께 비에 대한 문턱전압 및 전도중심을 분석하기 위하여 포아송방정식을 이용하여 해석학적 전위분포를 구하였다. 이때 전하분포는 가우스분포함수를 이용하였다. 하단게이트 전압, 채널길이, 채널두께, 이온주입범위 및 분포편차를 파라미터로 하여 문턱전압 및 전도중심의 변화를 관찰한 결과, 문턱전압은 상하단 게이트 산화막 두께 비에 따라 큰 변화를 나타냈다. 특히 채널길이 및 채널두께의 절대값보다 비에 따라 문턱전압이 변하였으며 전도중심이 상단 게이트로 이동할 때 문턱전압은 증가하였다. 또한 분포편차보단 이온주입범위에 따라 문턱전압 및 전도중심이 크게 변화하였다.

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비대칭 DGMOSFET의 채널도핑분포함수에 따른 드레인 유도 장벽 감소현상 분석 (Analysis of Drain Induced Barrier Lowering of Asymmetric Double Gate MOSFET for Channel Doping Profile)

  • 정학기
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국정보통신학회 2015년도 추계학술대회
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    • pp.863-865
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    • 2015
  • 본 연구에서는 비대칭 이중게이트 MOSFET의 채널 내 도핑농도분포에 대한 드레인유도장벽감소(Drain Induced Barrier Lowering; DIBL)에 대하여 분석하고자한다. DIBL은 드레인 전압에 의하여 소스 측 전위장벽이 낮아지는 효과로서 중요한 단채널 효과이다. 이를 분석하기 위하여 포아송방정식을 이용하여 해석학적 전위분포를 구하였으며 전위분포에 영향을 미치는 채널도핑농도의 분포함수변화에 대하여 DIBL을 관찰하였다. 채널길이, 채널두께, 상하단 게이트 산화막 두께, 하단 게이트 전압 등을 파라미터로 하여 DIBL을 관찰하였다. 결과적으로 DIBL은 채널도핑농도분포함수의 변수인 이온주입범위 및 분포편차에 변화를 나타냈다. 특히 두 변수에 대한 DIBL의 변화는 최대채널도핑농도가 $10^{18}/cm^3$ 정도로 고도핑 되었을 경우 더욱 현저히 나타나고 있었다. 채널길이가 감소할수록 그리고 채널두께가 증가할수록 DIBL은 증가하였으며 하단 게이트 전압과 상하단 게이트 산화막 두께가 증가할수록 DIBL은 증가하였다.

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GPR탐사를 통한 NATM터널(무근)라이닝의 두께 분포 및 배면상태 평가 (Assessment of NATM tunnel lining thickness and its behind state utilizing GPR survey)

  • 추진호;유창균;오영철;이인모
    • 한국터널지하공간학회 논문집
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    • 제21권5호
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    • pp.717-733
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    • 2019
  • 본 연구에서는 3개의 공용중인 NATM터널에서 수행된 정밀안전진단 GPR탐사 결과로 라이닝 두께분포 및 배면상태 특성을 분석하였다. 라이닝 천장에서 실시한 GPR 자료분석으로 라이닝 콘크리트와 1차지보재 사이에 공간이 대부분 존재하는 것으로 분석되었다. 다수의 라이닝 종단탐사로 분석된 횡단 두께의 좌 우 불균형은 8.6~253.5 mm로 확인되었으며 급격한 두께편차 주변에서 종방향균열 발생을 확인하였다. 라이닝 천단 중앙에서 실시된 종단 두께 분포는 3개의 적합도 검증을 통해 터널별 최적의 분포함수가 선정되었다. 종방향 라이닝 두께의 평균이 설계기준 이상인 경우 정규분포 및 이와 유사한 분포 특성을 나타내고 있으며, 설계두께 이하의 터널에서는 Gamma, Inverse Gauss분포함수가 해당터널의 라이닝을 대표하기 위한 최적함수로 적합할 것으로 판단하였다. NATM터널(무근) 라이닝의 두께분포는 터널의 상태평가 및 안전성평가를 전반적으로 분석하기 위한 중요한 지표가 될 수 있으며, 향후 기존의 일정한 설계 두께를 적용하기 보다는 GPR탐사를 반영한 라이닝의 현실적인 평가 방법의 연구가 필요할 것으로 판단된다.

8 MHz 고주파 유전형 가열장치로 가열한 모형에서의 열분포 (Thermal Distribution in a Phantom Using 8MHz RF Capacitive Type Hyperthermia)

  • 이종영;박경란;김계준;성기준
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제9권2호
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    • pp.171-176
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    • 1991
  • 8 MHz 고주파 유전형 가열장치로 모형을 가열할 때에 전극의 크기와 모형의 두께에 따른 온도 분포를 알아보기 위하여 다양한 크기의 전극과 다양한 두께의 모형을 조합하여 실험하였다. 전극은 10, 15, 20, 25, 그리고 30 cm 크기를 사용하였고 모형은 10, 15, 20, 25, 그리고 30 cm 두께를 사용하였다. 모형의 두께가 25 cm 이상일 경우에는 전극의 크기가 모형의 두께보다 크거나 혹은 같을때에 중심부에 균일한 온도 분포를 얻을 수 있었으나, 모형의 두께가 20 cm 이하일 경우에는 전극의 크기가 모형의 두께와 같을 때는 균일한 온도 분포를 얻을 수 없었고 전극의 크기가 모형의 두께보다 클 때만 균일한 온도 분포를 얻을 수 있었다. 크기가 다른 한쌍의 전극을 사용하여 가열시에는 작은 전극 쪽으로 가열 부분이 집중되었고 그 현상은 전극크기의 차가 클 수록 심하였다.

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신체의 지방분포양상과 고혈압 (Body fat distribution and hypertension)

  • 이충원;윤능기
    • Journal of Preventive Medicine and Public Health
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    • 제24권1호
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    • pp.57-69
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    • 1991
  • 중심성 지방분포와 고혈압과의 관계와 비근 내측 피부두께가 기존의 말초성 지방분포를 나타내주는 삼두근 피부두께에 비해 더 우수한 지표가 되는지를 알아보기위해서 1990 년 해군수중 근무자 특수신체검사자 중에서 450 명을 연구자의 편의에 의해 추출되었다. 대상자의 평균 연령이 27.9 세였고 범위가 19-51세었다. 말초성 지방분포의 지표로 삼두근과 비골 내측 피부두께를, 중심성 지방분포는 견갑골하 피부두께와 이것과 삼두근으로 이루어진 비와 차이로 측정을 했다. 신체의 지방분포를 나타내는 피부두께와 이 들을 기준으로한 비와 차이의 지수를 4 분위수로 나누어 첫 1/4 분위수를 기준으로 하고 나머지 3 가지 수준을 기준에 비교를 했다. 연령과 전체적인 비만도를 다중지수분석으로 통제를 한 후 고혈압과의 관계에서 견갑골하 피부두께가 기준인 1/4 분위수와 비교해 보아 2/4, 3/4, 4/4 분위수로 증가함에 따라 각각 2.05(95 % 신뢰구간 1.18-3.59), 2.02(1.06-3.86), 4.00 (1.99-8.06) 의 유병비차비를 보였다. 견갑골하 피부두께와 비골 내측 피부두께의 차이 역시 4/4 분위수가 되었을 때만 2.45 (1.28-4.68)의 비차비를 보였다. 그 외의 삼근 피부두께와 비근내측 피부두께에서는 기준에 비교해 보아 1 을 포함하지 않은 비차비는 없었다. 연령과 전체적인 비만도를 조정한 비차비는 조정치 않은 조비차비에 비해 대체적으로 조금 감소했다. 비근 내측의 피부두께는 삼두근 피부두께에 비교해보아 더 우수한 말초성 지방분포를 대표해주는 피부두께로 보였다. 이러한 결과는 전체적인 비만도 수준과는 독립적으로 견갑골하 피부두께로 측정된 중심성 지방분포가 고협압과 관계가 있으며 우수한 중심성 지방분포를 나타내주는 지표가 됨을 시사해주는 소견이다.

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물-증기 역류 성층이상유동에서의 국부 평균 액체층 두께 (Local Mean Water Layer Thickness in Countercurrent Stratified Two -Phase Fllow)

  • 김효정;김갑
    • 대한기계학회논문집
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    • 제10권6호
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    • pp.947-958
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    • 1986
  • 물-증기 역류 성층이상유동에서의 평균 액체층 두께가 여러가지 경사각과 종횡비에 따라 측정되었다. 난류유동에 있어서 전단응력분포의 선형화와 von Karman의 혼합길이 이론을 근거로 평균 액체층의 두께에 대한 관계식이 제시되었으며 실험결과와 잘 일치하였음을 보였다. 접촉면에서의 조파저항이 고려되지 않은 해석결과는, 수평 성층유동의 경우에, 평균 액체층 두께보다는 오히려 파곡까지의 액체층 두께를 예측하고 있는 것으로 나타났다. 또한 평균 액체층 두께에 대한 실험 상관관계식이 계산시 편의를 위해 쉽게 인지할 수 있는 매개변수들의 항들롤 제시되었다.

지오그리드로 보강한 성토지반의 응력분포 (Stress Distribution under a Geogrid-Reinforced Soil Pad)

  • 이규진;신방웅;신은철
    • 한국지반공학회논문집
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    • 제17권4호
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    • pp.87-91
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    • 2001
  • 얕은 기초의 침하는 기초에 가해지는 상재 하중의 지반에 전달될 때 분포되는 응력의 특성과 크기에 관련되어 일어난다. 일반적으로 지반의 보강재로 사용되는 지오그리드로 두께가 작은 토체를 보강하면 지중에 전달되는 응력을 재분포시켜 감소시킨다. 이 논문에서는 현장시험을 통하여 여러 층의 지오그리드로 토체를 보강시 토체 상부에 가해지는 원형 등분포 하중하에서 토체의 응력 분포를 측정하였다. 인천국제 공항 건설 현장의 준설 매립 구간에서 행하여진 이 시험을 통하여, 지오그리드로 보강된 토체의 하중 분포는 기초에 가해지는 하중 강도와, 보강재 포설층수, 토체의 두께의 함수로 나타낼 수 있다.

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