• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.11 no.3
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• pp.152-157
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• 2000

Post-deposition vacuum annealing effects in electron-bearn-evaporated indium tin oxide (ITO) films have been investigated by the change of transmittance, sheet resistance and crystalline structure with annealing temperature ( $200-335^{\circ}C$) and oxygen partial pressure ($1\times^10^{-5}-1$\times10^{-4} torr$) in air and vacuum. The sarnples were polycrystalline films with a preferred orientation in the (222) plan. High quality films with sheet resistance as low as 62 Q/O and transmittance over 99% (absentee layer at 500 nm) have been obtained by suitably controlling the vacuum annealing pararneters.neters.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.42 no.1
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• pp.10-19
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• 2014

Nozzle configurations and atmospheric conditions play a significant role in the infrared signature level of aircraft propulsion system. Various convergent nozzles of an unmanned aircraft under different atmospheric conditions are considered. An analysis of thermal flow field and nozzle surface temperature distribution is conducted using a compressible CFD code. It is shown that the IR level in rear direction is considerably reduced in deformed nozzles, whereas the IR level in adjacent azimuth angles is increased in aspect ratios around 6 due to the plume spreading effect caused by high aspect ratio of nozzles. In addition, an analysis of atmospheric transmissivity for various seasons and observation distance is conducted using the LOWTRAN 7 code and subsequently plume IR signature is calculated by considering atmospheric effects. It is shown that the IR signature is reduced significantly in summer season and near the band of carbon dioxide in case of relatively close distance.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.33 no.9
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• pp.89-96
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• 2005

This paper discusses the daytime atmospheric conditions and the possibility of daytime star detection with the purpose of practical use of the star sensor for daylight navigation. In order to estimate the daytime atmospheric data, we use the standard atmospheric model (LOWTRAN 7), from which atmospheric transmittance and radiance from background sky are calculated. Assuming the star sensor with an optical filter to reduce background radiation, different separation angles between the star sensor and the sun are set up to express the effect of the solar radiation. As considerations of field of view (FOV) of the star sensor, the variation of the sky background radiation and the star density of the detectable star are analyzed. In addition, the integration time to achieve a required signal-to-noise ratio and the number of the radiation-caused electrons of the charge coupled detector(CCD) working as the limit to daylight application of the star sensor are calculated.

• Information and Communications Magazine
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• v.27 no.2
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• pp.20-26
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• 2010

THz 대역의 주파수 범위는 일반적으로 100GHz ~ 10THz 사이로서, 전자파의 투과성과 광파의 직진성을 동시에 가지고 있다. THz 캐리어 주파수는 대기의 수분에 강하게 흡수되어 1THz 이상에서 1 [dB/m] 정도의 대기 전파감쇠가 발생하나 0.1 [dB/m] 정도의 비교적 낮은 주파수 윈도우가 존재하여 이 영역의 주파수 스펙트럼을 이용한 무선통신시스템의 개발이 활발히 진행되고 있다. 최근 RF MMIC의 기술개발 동향을 고려해 볼 때 무선통신시스템 응용을 위한 가장 유력한 THz 주파수 대역은 H-밴드(220 ~ 325GHz)이다. H-밴드에서 가용한 주파수 대역폭은 약 45GHz 이상이며, 이러한 초광대역폭을 이용하여 10Gbps급 이상의 데이터 전송속도를 ASK 또는 BPSK와 같은 간단한 변조방식으로 용이하게 실현할 수 있다. 본고에서는 THz 대역에서 무선통신 응용을 위한 전파특성 및 주파수 대역, 무선링크 특성과 THz 송수신기 기술에 대하여 알아본다.

• Proceedings of the IEEK Conference
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• 2000.09a
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• pp.971-974
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• 2000

본 논문에서는 4개의 적외선 검출기로 구성된 Crossed Array Tracker를 위한 반대응 기법을 제안한다. 입력 신호로부터 표적 신호만을 추출해 내기 위해서 표적과 섬광탄의 에너지 방사 특성과 대기 투과 특성을 고려하고 2개의 검출 대역을 설정한다. 그리고 두 대역의 입력신호 비를 이용하여 표적에 의한 신호만을 추출해서 효과적인 표적 추적을 가능하게 한다.

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 2004.05b
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• pp.102-105
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• 2004

산업 발전에 따른 각종 유기용제 및 휘발성유기혼합물(VOCs)의 사용이 점차 증가하는 실정이다. 그러나 유기용제들은 많은 양이 대기중 및 수중으로 방출되고 있으며, 이는 환경적으로 악영향을 끼칠 뿐 아니라 경제적으로 막대한 손실이 아닐 수 없다. 최근 VOCs의 회수에 대한 여러 분야에서 광범위하게 연구되어지고 있고, 이중 막분리 공정은 여러 가지 장점을 가지고 있어 기존의 공정을 대체할 수 있는 잠재력을 가지고 있다.(중략)

• Membrane Journal
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• v.28 no.6
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• pp.406-413
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• 2018

In OBIGGS, a small amount of ozone in the atmosphere damages the polymer membrane. Therefore, the ozone removal device is installed at the front end to prevent the damage of the membrane by reducing the concentration of ozone in the gas delivered to the membrane. In this study, two hollow fiber membranes, PI and PSf, used to fabrication hollow fiber module with an effective membrane area of $6.37cm^2$ for gas separation in OBIGGS. The ozone concentration in the chamber was maintained at 2-3 ppm. The gas was continuously supplied into the module by using a pump. The gas permeation characteristics and the tensile strength were evaluated as a function of ozone exposure time. The PI-based hollow fiber membrane showed only 20% reduction in the transmittance, and remained its original uniformity without any significant changes. However, when PSf type hollow fiber membranes were used, the permeability decreased by more than 80% and the tensile strength decreased by more than 70%.

• Journal of the Korea Convergence Society
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• v.11 no.8
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• pp.71-76
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• 2020

This study measured radioactive surface contamination in general public restrooms in hospitals and in dedicated toilets for nuclear medicine. The measurement method was measured using Berthold (LB 124, Germany) at the entrance to the restroom, inside the restroom, around the restroom, in the urinal, and around the urinal. As a result of the use of the restroom, there was no dedicated place waiting for patients who received radioisotopes in one of the three hospitals. As a result of measuring the restroom for exclusive use of radioisotopes, all measurement sites in the radioiodine therapy room were the highest, and the results of measuring the public restrooms showed background level contamination at all hospitals except hospital B. However, it was measured as 8.073 Bq/㎠ and 6.426 Bq/㎠ in the urinals in the public restroom on the first floor of the B hospital. Therefore, it is recommended to explain the dangers of radiation exposure to patients and provide a place for patients to wait. In addition, a plan should be sought to prevent patients from receiving radioisotopes from using unnecessary movements and general public restrooms.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.89-89
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• 2000

AlN 박막은 Al과 N원자의 부분적 이온결합 특성을 가진 공유결합을 한 육방정계의 wurtzite 경정구조의 화합물 반도체로서, III-V족 반도체 중 가장 큰 에너지 갭(6.2 eV), 결정 구조적 이방성, 화학 양론적 결합구조, 높은 탄성종과 전달속도(약 10$\times$106 m/s)와 높은 열전도도, 고온 안정성, 가시광성.적외선 영역에서의 좋은 투과성과 높은 굴절률, 상온 대기압에서의 유일하게 안정적인 특성을 가지고 있어, 절연재료, 내열재료, 저주파 영역 센서의 압전 트랜스듀서, 광전소자, 탄성파 소자 및 내환경 소자, MIS소자 등으로 주목받고 있다. 본 연구에서는 BAW 공진기의 활용을 목적으로 반응성 마그네트론 스퍼터링 방법으로 AIN 압전박막을 제작하여, 증착 조건-질소 농도, 고주파 출력, 전체 스퍼터링 압력, 기판 온도-에 대한 박막의 특성을 조사하였다. AlN 박막의 c축 우선 방위 결정성 및 낮은 투과성, 적당한 굴절률의 특성이 BAW 공진기의 활용을 위한 요건이므로, 각각의 증착 조건하에 제작된 박막은 XRD의 $\theta$/2$\theta$ 스캔 회절상에 의한 결정성의 분석과 우선 성장 결정면의 rocking curve 및 XRD로 측정한 FWHM과 표준 편차로 결정성의 배열성과 소자 응용가능성을 조사하였다. 박막의 표면.단면 미세 구조 및 평활도는 SEM으로 관찰하였으며, Al-N 결합 상태는 XPS와 FT-IR로 분석 조사하였다. 제작된 AlN 박막의 결정성 분석 결과, c축 우선 방위 성장을 위한 스퍼터링 압력에 대한 임계 질소 농도와 임계 스퍼터링 압력이 관찰되었다. 전체 스퍼터링 압력이 6~8 mTorr의 범위에서 나타난 최소 임계질소 농도는 10%, 최대 임계 질소 농도는 60%이며, 4 m Torr 이하 10 m Torr 이상의 전체 스퍼터링 압력에서 박막의 우선 방위성장이 제재된다. 이는 AlN 박막이 형성에 관여하는 질소 이온 양의 충분한 형성에 필요로 하는 질소 가스의 유입량에 따른 것으로 판단된다. AlN 박막의 c축 결정면인 (002) 결정면의 성장을 유도하며 다른 방향으로의 성장을 제어하여 소자 활용에 유용한 박막을 제작하기 위한 고주파 출력은 300W 정도가 적당하며, 기판을 가열하지 않았을 때 낮은 투과도를 나타낸다. 본 연구에 의한 BAW 공진기 활용을 위한 AlN 압전박막의 제작을 위한 최적 증착 조건은 기판의 가열 없이 6~8 mTorr의 전체 스퍼터링 압력에 20~25%의 질소종도, 300W의 고주파 출력이다. 최적 조건에서의 AlN 박막은 약 0.19$^{\circ}$의 FWHM과 약 0.08$^{\circ}$의 표준편차를 가지며, 균일하고 조밀한 표면 미세구조와 주상정 구조의 측면구조, 파장에 대한 약 2.0의 굴절률, 낮은 투과도와 화학 양론적 구조를 가지는 우수한 박막이 형성되었다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2018.06a
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• pp.128-128
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• 2018

최근 디스플레이 기술은 보다 가볍고, 얇고, 선명한 스마트 형태로 발전되고 있다. 특히 스마트산업의 성장으로 터치스크린패널(Touch Screen Panel, TSP)을 사용하는 기술이 다양해짐에 따라 더 높은 감도와 해상도를 달성하기 위한 핵심기술이 필요한 실정이다. TSP는 저항막 방식, 정전용량 방식, 적외선 방식, 초음파 방식 등 다양한 방식이 있다. 그 중 정전용량방식 터치 패널 (Capacitive type touch panel, CTTP)은 다른 유형에 비해 빠른 반응속도 및 멀티 터치 기능 등의 이점을 가지고 있기 때문에 연구의 초점이 되고 있다. 이를 실현하기 위해서 CTTP은 가시광영역의 높은 투과율과 낮은 비저항을 필요로 하기 때문에 박막의 초 슬림화 및 고 결정화도가 선행되어야만 한다. CTTP에 사용되는 투명전극 소재 중에서 40%의 비중을 차지하고 있는 ITO박막은 내구성과 시인성이 좋으나 생산 비용이 비싸다는 단점이 있다. 한편, 반응성 스퍼터링은 기존에 단일 소결체를 사용한 DC마그네트론 스퍼터링법보다 높은 증착률과 낮은 생산 비용으로 초박막을 만들 수 있다는 장점을 가진다. 본 실험에서는 In/Sn (2wt%) 금속 합금 타깃을 사용한 반응성 스퍼터링법을 이용하여 기판 온도 (RT 및 $140^{\circ}C$)에서 두께 30 nm의 In-Sn-O (ITO)박막을 증착하고, 대기 중 $140^{\circ}C$ 온도에서 시간에 따라 열처리한 후 박막의 물성을 관찰하였다. 증착 중 기판 가열을 하지 않은 ITO 박막의 경우, 열처리 시간이 증가함에 따라 비저항은 감소하였고, 홀 이동도는 현저하게 증가하였으며 캐리어 밀도에서는 별다른 차이가 없었다. 이를 통해 비저항의 감소는 캐리어 농도보다는 결정화를 통한 이동도의 증가와 관련 있다는 것을 확인할 수 있었다. 열처리 시간에 따른 박막의 핵 생성 및 결정 성장은 투과 전자 현미경(TEM)으로 명확하게 확인하였으며, 완전 결정화 된 박막의 grain size는 300~500 nm로 확인되었다. 기판온도 $140^{\circ}C$에서 증착한 박막의 경우, 후 열처리를 하지 않은 상태에서도 이미 결정화 된 것을 확인할 수 있었으며, 후 열처리 시에도 grain size에는 큰 변화가 없었다. 이는 증착 중에 박막의 결정화가 이미 완결된 것으로 판단된다. 또한, RT에서 증착한 박막의 경우에는 후 열처리 초기에는 산소공공등과 같은 결함들의 농도가 감소하여 투과율이 증가하였으나 완전한 결정화가 일어난 후에는 투과율이 약간 감소한 것을 확인할 수 있었다. 이는 결정화 시 박막의 표면 조도가 증가하였고 이로 인해 빛의 산란이 증가하여 투과율이 감소한 것으로 판단된다. 이러한 결과로 반응성 스퍼터링 공정으로 제조한 ITO 초박막은 후열처리에 의한 완전한 결정화를 이룰 수 있으며, 이를 통해 얻은 낮은 비저항과 높은 투과율은 고품질 TSP에 적용될 가능성을 가진다고 판단된다.