• Title/Summary/Keyword: 단일막

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Channel Recessed 1T-DRAM with ONO Gate Dielectric

  • Park, Jin-Gwon;Jo, Won-Ju
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.264-264
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    • 2011
  • 1T-1C로 구성되는 기존의 dynamic random access memory (DRAM)는 데이터를 저장하기 위해 적절한 커패시턴스를 확보해야 한다. 따라서 커패시터 면적으로 인한 집적도의 한계에 직면해있으며, 이를 대체하기 위한 새로운 DRAM인 1T- DRAM이 연구되고 있다. 기존의 DRAM과 달리 silicon-on-insulator (SOI) 기술을 이용한 1T-DRAM은 데이터 저장을 위한 커패시터가 요구되지 않는다. 정공을 채널의 중성영역에 축적함으로서 발생하는 포텐셜 변화를 이용하며, 이때 발생하는 드레인 전류차를 이용하여 '0'과 '1'을 구분한다. 기존의 완전공핍형 평면구조의 1T-DRAM은 소스 및 드레인 접합부분에서 발생하는 누설전류로 인해 '0' 상태의 메모리 유지특성이 열화되는 단점을 가지고 있다. 따라서 메모리의 보존특성을 향상시키기 위해 소스/드레인 접합영역을 줄여 누설전류를 감소시키는 구조를 갖는 1T-DRAM의 연구가 필요하다. 또한 고유전율을 가지는 Si3N4를 이용한 oxide-nitride-oxide (ONO)구조의 게이트 절연막을 이용하면 동일한 두께에서 더 낮은 equivalent oxide thickness (EOT)를 얻을 수 있기 때문에 보다 저 전압에서 1T-DRAM 동작이 가능하여 기존의 SiO2 단일층을 이용한 1T-DRAM보다 동일 전압에서 더 큰 sensing margin을 확보할 수 있다. 본 연구에서는 누설전류를 감소시키기 위하여 소스 및 드레인이 채널위로 올려진 recessed channel 구조에 ONO 게이트 절연막을 적용한 1T-DRAM을 제작 및 평가하고, 본 구조의 1T-DRAM적용 가능성 및 ONO구조의 게이트 절연막을 이용한 sensing margin 개선을 확인하였다.

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The Enhancement of External Quantum Efficiency in GaN V-LED Using Nanosphere Lithography (나노스피어 리소그래피를 이용한 GaN V-LED의 외부양자효율 향상)

  • Yang, Hoe-Young;Cho, Myeong-Hwan;Lee, Hyun-Yong
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2009.06a
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    • pp.414-414
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    • 2009
  • 나노스피어 리소그래피는 기존의 리소그래피 방법에 비해 나노 크기 패턴을 제작하는데 공정이 간단하며 재현성있게 대면적에 패터닝이 가능하다는 장점이 있다. 본 연구에서는 Vertical LED(V-LED)의 External quantum efficiency 향상을 위하여 나노스피어 리소그래 피를 이용하여 V-LED의 n-GaN 표면을 패터닝을 하였다. n-GaN 위에 Sputter를 이용하여 $SiO_2$를 증착 후 나노스피어를 스핀 코팅을 이용하여 단일막을 형성하였다. 그 후, 반응성 이온 식각 장치를 이용하여 나노스피어의 크기를 조절하고 $SiO_2$층을 식각하였다. 다음과 같은 공정 후 $SiO_2$층을 Mask층으로 하여 n-GaN 표면을 식각하였다. 실험 결과 나노스피어 리소그래피를 이용하여 V-LED의 External quantum efficiency 향상을 위한 n-GaN 표면의 패턴 제작이 가능함을 확인할 수 있었다.

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Spray-coated single-wall carbon nanotube film strain sensor (스프레이코팅 방식으로 제작된 단일벽 탄소나노튜브막 스트레인센서)

  • Park, Chan-Won
    • Journal of Industrial Technology
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    • v.32 no.A
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    • pp.29-33
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    • 2012
  • We demonstrated the viability of fully microfabricating SWCNT(single-wall carbon nanotube) film strain sensors for force and weight sensing. Our spray-deposited SWCNT film strain sensors showed good linearity over a range from 0 to 400 microstrain, and much higher sensitivity compared to commercial metal foil-type gauges. The number of grids and the thickness of the SWCNT film were found to have a significant effect on the strain sensing properties of the SWCNT film gauges. A strain sensing methode for the CNT-based strain gauges was also investigated using a binocular type beam load cells. Preliminary results indicate that the microfabrication method shown here is promising for developing a commercial strain gauge using a spray-coated SWCNT thin film. In the near future, various studies will be performed to further enhance the properties of the spray-coated SWCNT film strain sensors.

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Characterization of p-type transparent conducting $CuAIO_2$ thin film prepared by Pusled Laser Deposition

  • Eom, Se-Yeong;Lee, Jong-Cheol;Heo, Yeong-U;Lee, Jun-Hyeong;Kim, Jeong-Ju
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2007.11a
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    • pp.105-106
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    • 2007
  • p형 투명 전도막을 만들기 위해 박막화의 가능성 있는 벌크(bulk)상태의 p형 투명 전도 물질을 합성하고, 박막화 하여 p형 투명 전도 물질의 기초적 물성을 조사하여 p형 투명 전도 물질의 개발 가능성을 조사하였다. p-type $CAO_2$ 박막은 열처리를 통하여 얻을 수 있었다. $CAO_2$ 박막은 초기 증착 온도가 $650^{\circ}C$이하에서는 열처리를 통해서도 $CAO_2$상을 얻을 수가 없었고 오직 공기중 분위기에서만 c-axis 배향을 가진 $CuAIO_2$ 단일상 박막을 얻을 수 있었다. $CuAIO_2$ 단일상 박막은 2개의 상이 공존하고 있는 것으로 생각된다.

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Studies on Specific Genes Related to the Regulation of Muscle Cell Differentiation (근세포 분화 조절에 관련된 특이 유전자에 관한 연구)

  • 강성구;김상해
    • The Korean Journal of Zoology
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    • v.35 no.3
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    • pp.287-294
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    • 1992
  • 배양 중의 골격근 세포는 증식을 거쳐 세포융합을 통해 다핵세포로 분화되므로 세포분화의 연구에 좋은 모델로서 이용되고 있다. 이전 실험에서 근원세포 융합을 억제하는 단일클론항체(MII-3J31)가 제작되었으며(Kim et al., 1992)이 항체에 대한 항원은 분자량이 약 35 kDa인 세포막 단백질로 추정되었다. 본 실험에서는 13일 계배와 성체의 근섬유 mRNA에서 CDNA라이브러리를 제작하여 근원세포 분화에 특이적으로 나타나는 유전자를 추적하였다. 근원세포 융합에 관여하는 단백질에 대한 CDNA는 계배 13일 째의 근원세포 CDNA라이브러리에서 단일클론항체를 사용한 immunoscreening 방법을 이용하여 확인하였다. 이 CDNA의 크기는 약 1.5 kb였다. 한편 13일 계배와성체 근섬유 CDNA 라이브러 리를 이용하여 13일 계배에만 특이하게 유전자 발현 이 일어 나고 성체에서는 나타나지 않는 약 0.8 kb의 CDNA플 찾았다.

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Current Status and Perspectives of Graphene-based Membranes for Gas Separation (그래핀 기반 기체 분리막의 연구동향 및 전망)

  • Yoo, Byung Min;Park, Ho Bum
    • Membrane Journal
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    • v.27 no.3
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    • pp.216-225
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    • 2017
  • Since the experimental proof of one-atom-thick graphene single layer from graphite in 2004, graphene, as a leading material opening two-dimensional world, has been tremendously investigated owing to its intrinsic extraordinary physical properties. Among many promising graphene applications, it is believed that membranes might be one of the first significant applications for graphene and its derivatives (e.g., graphene oxide). Recently, a number of simulation results and proof-of-concept experimental approaches towards graphene membranes reflect such positive prospects. Moreover, graphene and graphene oxide already show many outstanding intrinsic properties suitable for promising membrane platforms, such as the minimum membrane thickness, excellent mechanical strength, high chemical and thermal stability, and the ability to generate nanopores in the two-dimensional, rigid hexagonal lattices or to create slit-like nanochannels between adjacent sheets. In this paper, important theoretical and experimental developments in graphene or graphene oxide-based membranes for gas separation based on intrinsic properties of graphene and its derivatives will be discussed, emphasizing on transport behavior, membrane formation methods, and challenging issues for actual membrane applications.

Growth and magnetic properties of Tb, Eu, EuTb-substituted garnet single crystal films (Tb, Eu, EuTb가 치환된 가네트 단결정 막의 성장과 자기적 특성)

  • Kim G. Y;Yoon S. G.;Chung I. S;Park S. B;Yoon D. H
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.14 no.5
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    • pp.193-198
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    • 2004
  • Using the $PbO-B_2O_3-Bi_2O_3$ flux system, $(TbBi)_3(FeAIGa)_5O_{12}(TbIG)$, $(EuBi)_3(FeAIGa)_5O_{12}(EuIG)$ and $(EuTbBi)_3(FeAIGa)_5O_{12}(EuTbIG)$ films were grown on $(GdCa)_3(GaMgZr)_5O_{12}(SGGG)$ substrates by the liquid phase epitaxy (LPE). The saturation magnetization of the grown TbIG, EuIG and EuTbIG films was about 150, 950 and 125 Oe, respectively. The TbIG films resulted in the single magnetic domain while the EuIG and EuTbIG films were observed to be the multi magnetic domains by magnetic force microscope (MFM).

Preparation of Nanoporous Ceramic Membranes by Sol-gel Method and Characterization of Gas Permeation (졸-겔법에 의한 나노기공성 세라믹 막의 제조 및 기체투과 특성)

  • Lee, Yong-Taek;Choi, Ga-Young;Han, Hyuk-Hee
    • Membrane Journal
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    • v.18 no.2
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    • pp.176-184
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    • 2008
  • Nano-porous ceramic membranes was synthesized by the sol-gel method. Gas permeation of hydrogen and nitrogen was determined by single composition gas. Pore size $0.1{\mu}m$ and porosity 32% of flat type ${\alpha}-Al_2O_3$ substrate was manufactured. An intermediate ${\gamma}-Al_2O_3$ layer with pore size of 4 nm was formed by dip-coating. Polymeric silica sol was synthesized by acid catalyzed hydrolysis and condensation of tetra-ethyl-ortho-silicate. Supported membranes on alumina were prepared by dipping and calcining. He, $N_2$ permeation experiments with nanoporous sol-gel modified supported ceramic membranes were peformed to determine the gas transport characteristics. $He/N_2$ permselectivity around $100{\sim}160$ and helium permeation in the order of $10^{-7}mol/m^2{\cdot}s{\cdot}Pa$ were measured in the temperature range of $303{\sim}363K$.

Gas Permeable Properties of Elastomer-Clay Nanocomposite Membrane (유기탄성체-Clay 나노복합재료 막의 기체투과 특성)

  • Nam Sang-Yong;Park Ji-Soon;Rhim Ji-Won;Chung Youn-Suk;Lee Young-Moo
    • Membrane Journal
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    • v.16 no.2
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    • pp.144-152
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    • 2006
  • Elastomer-clay nanocomposite membranes were prepared by melt intercalation mothod with internal mixer. We are used NMR, Ionomer, SEBS (Styrene Ethylene Butadien styrene Copolymer) as elastomer, and modified clay. Gas barrier property of the elastomer-clay nanocomposites membranes were investigated by a gas permeability of $CO_2,\;O_2,\;N_2$ at room temperature. Gas permeability through the elastomer-clay nanocomposite membranes increased due to increased tortuosity made by intercalation of clay in elastomer.

Studies on the $N_2/SF_6$ Permeation Behaviors Using the Polyethersulfone Hollow Fiber Membranes (폴리이서설폰 중공사 막을 이용한 $N_2/SF_6$ 투과거동에 관한 연구)

  • Lee, Hyung-Keun;Kim, Dae-Hoon;An, Young-Mo;Jo, Hang-Dae;Park, Jong-Soo
    • Membrane Journal
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    • v.19 no.3
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    • pp.244-251
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    • 2009
  • In this research the polyethersulfone hollow fiber membrane was used to separate Sulfur Hexafluoride ($SF_6$) which is the one of the six greenhouse gases from Air ($N_2$). The effects of the non-solvent (Acetone, Ethanol) type, air-gap and post-treatment (surface silicon coating) were investigated by the structure and performance of the membranes. The structure change of the membrane was examined by scanning electron microscope. The single gas permeation using $N_2$, $SF_6$ through the membrane surface coated with silicon showed maximum 7.64 perm-selectivity improved 3.4 times.