Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Characterization of p-type transparent conducting $CuAIO_2$ thin film prepared by Pusled Laser Deposition

  • 엄세영 (경북대학교 무기재료 공학과) ;
  • 이종철 (경북대학교 무기재료 공학과) ;
  • 허영우 (경북대학교 무기재료 공학과) ;
  • 이준형 (경북대학교 무기재료 공학과) ;
  • 김정주 (경북대학교 무기재료 공학과)
  • Published : 2007.11.12
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Abstract

p형 투명 전도막을 만들기 위해 박막화의 가능성 있는 벌크(bulk)상태의 p형 투명 전도 물질을 합성하고, 박막화 하여 p형 투명 전도 물질의 기초적 물성을 조사하여 p형 투명 전도 물질의 개발 가능성을 조사하였다. p-type $CAO_2$ 박막은 열처리를 통하여 얻을 수 있었다. $CAO_2$ 박막은 초기 증착 온도가 $650^{\circ}C$이하에서는 열처리를 통해서도 $CAO_2$상을 얻을 수가 없었고 오직 공기중 분위기에서만 c-axis 배향을 가진 $CuAIO_2$ 단일상 박막을 얻을 수 있었다. $CuAIO_2$ 단일상 박막은 2개의 상이 공존하고 있는 것으로 생각된다.

Keywords