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플라즈마 임피던스를 이용한 RPS내 아노다이징 코팅진단 및 수명예측에 대한 연구

  • 김대욱;안영오;임은석;이한용;위순임;최대규;최상돈
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.141.2-141.2
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    • 2015
  • 교류임피던스 측정기법을 이용하여 전기화학적으로 외부환경에서 소재 금속까지 물질 및 전하이동에 관한 임피던스 측정이 가능하며 도막의 부식 및 노화정도 및 내식성의 평가가 가능하여 산업체에서 널리 이용되고 있다. RPCS(Remote Plasma Cleaning Source)는 패널 및 반도체 제조공정에서 CVD 증착공정 후 챔버 내부에 입혀지는 Si(실리콘)을 화학적으로 세정하기 위한 F(불소) Radical을 공급하는 원격 고밀도 플라즈마를 발생시키는 제품이다. RPCS의 바디는 알루미늄을 사용하고 절연 및 플라즈마에 대한 내구성을 확보하기 위해 아노다이징 코팅을 한다. 반응기 내벽의 표면이 공정 플라즈마에 노출될 때 소재는 화학적으로 매우 활성이 높은 라디칼과의 반응뿐만 아니라 이온의 충격을 동시에 받게 되며 이 과정에서 다량의 불소 (Fluorine) 라디칼과 전계에 반응한 이온의 운동에 노출되면서 아노다이징 코팅이 손상되는데 이는 기기의 수명 단축 및 파티클을 발생시키며, Arc의 원인이 되기도 한다. 실제 사용 환경에서는 기기의 분해 없이 아노다이징의 상태를 주기적으로 모니터링 하기가 대단히 어려워, 정기적으로 교체하고 있는 실정이다. 본 연구에서는 RPCS내 발생된 플라즈마 현상을 컨덕터로 활용하여 고주파 리액턴스를 임피던스로 환산하여 아노다이징 코팅의 손상 정도를 진단 및 모니터링하였다. 아노다이징이 손상된 내부 블럭과 정상상태인 내부 블럭의 임피던스를 비교하였고, 아노다이징 두께별 임피던스를 측정하였다. 그 결과 아노다이징 절연막이 손상된 블록의 임피던스가 정상 블록에 비해 낮았으며 두께별 임피던스도 비례함을 알 수 있었다. 향후에는 장기간 현장에서 축척되어진 시험데이터를 바탕으로 아노다이징 코팅의 수명예측진단 시스템을 구축하고자 한다.

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우레탄 수지 첨가에 의한 다이니마/비닐에스터 복합재료의 방탄효과 향상 연구 (Effect of Urethane Modification on the Anti-Bullet Property of Dyneema/vinylester Composites)

  • 윤태호;차영미;육종일;백종규;오영준;김희재
    • Composites Research
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    • 제24권6호
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    • pp.7-11
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    • 2011
  • 우레탄 수지 첨가에 의한 다이니마/비닐에스터 복합재료의 방탄효과 향상을 고찰하였다. 첫째로 우레탄 수지와 비닐에스터 수지를 스프레이 코팅하여 프리프레그를 제조하였으며, 수지함량을 21%로 조절하였다. 또한 혼합수지를 스프레이 코팅과 필름코팅으로 비교를 위한 프리프레그를 제조하였다. 그 다음 이들을 상온에서 1-2시간, 그리고 필요시 $100^{\circ}C$ 30분 정도 건조시켰다. 이들 프리프레그를 24층 적층한 다음 $120^{\circ}C$에서 5분 동안 정치 시킨 후 25분 동안 150 $kg/cm^2$ 압력하에서 경화 시켰다. 모의 파편탄(17 gr)을 이용하여 이들 복합재료의 방탄성능($V_{50}$)를 측정하였으며, UP127 및 EB8200으로 제조된 시편은 XSR10으로 제조된 시편에 비하여 각각 6.5 및 9.0 % 향상된 값을 보였다.

여대생의 체중감량이 영양상태에 미치는 영향 - 제1보. 다이어트 실태조사를 중심으로 - (A Study on Nutrition Status by Diet of Female College Students of Masan City - 1. Focus on Diet Survey -)

  • 김종현
    • 한국식품영양학회지
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    • 제11권2호
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    • pp.185-191
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    • 1998
  • 과학기술의 발달과 경제수준 향상 및 운동량의 부족으로 인한 비만증의 발생율이 높아지는 반면 체중감량에 대한 관심도 증가하고 있다. 특히 이런 관심은 젊은 여성들 사이에서 발생하는 경향이 있으며, 지나친 체중감량은 건강에도 해를 미치지만 체중감량에 대한 자료가 거의 전무한 실정이다. 본 연구는 여대생들을 대상으로 하여 다이어트 실태 및 다이어트가 영양상태에 미치는 영향을 알아보고자 하여 제1보로써 다이어트 실태에 대한 조사한 것이다. 1. 조사 대상자들은 19세(27%), 20세(25.3%)의 연령층이 가장 두터웠으며, 체중은 50.32$\pm$0.91kg, 신장은 160.90$\pm$0.47cm이었고, BMI는 18.73$\pm$4.89로 나타나 평균적으로 여윈 상태임을 보였다. 2. 조사 대상자들은 한달 용돈은 10~15만원이 가장 많았으며, 부모님의 체형은 정상이거나 마른 분이 절반을 넘었다. 한편 아버지만 뚱뚱하신 경우보다는 어머니만 뚱뚱하신 분이 더 많은 것으로 나타났다. 3. 조사 대상자들의 식태도는 하루 한, 두 끼만 섭취하며, 불규칙적으로 섭취하는 사람이 많았고, 과반수가 자신의 체형을 과대인식 하는 것으로 나타나 체형의 기준을 바르게 선정할 수 있는 영양교육이 필요함을 보였다. 4. 조사 대상자들은 실제 체중은 50.32$\pm$0.91kg이었으나 이상 체중은 46.94$\pm$0.39kg으로써 이상체중이 유의적으로 낮았다.(p=0.0114) 5. 조사 대상자의 37.54%가 1997년 한 해 중 다이어트를 실시한 경험이 있었으며, 처음 다이어트를 실시한 시기는 고등학교, 대학생 때, 고등학교와 대학 사이의 순으로 나타나 주로 고등학교 이후 다이어트를 실시하는 것으로 나타났다. 다이어트를 하려는 이유로는 자기 신체에 대한 기대 및 느낌 등의 주관적인 이유가 주된 원인이었으며, 과반수 이상의 여대생이 다이어트를 실시해 본 경험(79.3%)을 가지고 있었고, 다이어트 실시 빈도는 가끔 실시하는 경우(38.25%)가 가장 많았다. 또한 다이어트의 실시기간은 일주일 미만인 사람이 가장 많았으며, 평균 체중 감소량은 1~2kg(37.69%), 2~4kg(29.44%)이었으며, 과반수 이상이(76.65%) 감량 된 체중을 유지하지 못하는 것으로 나타났다. 6. 가장 선호하는 다이어트 방법은 하루 한끼 혹은 그 이상을 굶는 방법, 운동, 하루 3끼를 모두 섭취하되 열량을 줄이는 방법 등의 순으로 나타나 결국 섭취열량을 제한하거나 소비열량을 늘이는 방법을 사용하는 것으로 나타났다. 7. 다이어트에 대한 정보는 주로 신문, 잡지(30.86%), 가족, 친구, 친척(28.86%) 등의 대중매체나 주위의 사람들로부터 얻는 것으로 나타났다. 8. 영양상태 자각도가 보통 이상인 경우는 아버지, 어머니 두 분 다 뚱뚱하지 않은 경우일 때는 116명(42.65%)이며, 두 분 다 뚱뚱한 경우는 8명(2.95%)로 나타나 부모가 정상 체중이거나 마른 경우 그 자녀의 영양자각도가 그렇지 않은 부모의 자녀에 비해 높은 것을 알 수 있었다.(p=0.004) 9. 영양상태 자각도는 자신의 체형을 적당하다, 약간 뚱뚱하다고 대답한 group이 다른 group에 비해 높았다.(p=0.001)

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NMR과 EPR을 이용한 천연, 합성, 그리고 처리된 보석용 다이아몬드의 특성 연구 (A Study on the Characteristics of Natural, Synthetic, and Treated Gem Quality Diamonds by NMR and EPR)

  • 김종랑;장윤득;김선하;김종화;백윤기
    • 한국광물학회지
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    • 제21권4호
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    • pp.435-442
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    • 2008
  • 천연, 합성, 그리고 처리된 보석용 다이아몬에 대한 NMR과 EPR 실험을 수행하였다. 동일한 실험조건에서 비교적 짧은 100 분의 실험시간 동안에 얻어진 $^{13}C$ NMR 스펙트럼을 통해 천연과 합성다이아몬드, 처리된 다이아몬드와 처리되지 않은 다이아몬드, 그리고 고온고압 처리된 다이아몬드와 전자빔 처리된 다이아몬드가 각각 서로 구별될 수 있는 가능성을 확인하였다. 보석용 합성 다이아몬드는 촉매제로 흔히 사용되는 전이금속의 상자기성 영향으로 $^{13}C$ NMR의 선폭이 1.6 ppm 이상으로 얻어졌고, 보석용 천연 다이아몬드는 처리방법에 무관하게 그 선폭이 0.5 ppm 이하로 얻어졌다. 고온고압 처리된 보석용 천연 다이아몬드의 선폭(0.5 ppm)은 전자빔 처리된 다이아몬드의 선폭(0.2 ppm) 보다 두 배 이상 넓은 것으로 나타났다. 처리된 보석용 천연 다이아몬드의 $^{13}C$ NMR 신호 세기는 처리되지 않은 보석용 천연 다이아몬드의 신호 세기에 비해 10배 이상 높게 얻어졌다. EPR 스펙트럼을 이용해 얻은 각 다이아몬드의 상자기성 결함(전자)의 농도와의 상관성을 검토해 본 결과, $^{13}C$ NMR 신호의 상대적 세기는 각 시료들에 함유되어 있는 상자기성 전파의 농도에 비례하여 증가하지만 전자빔 처리된 다이아몬드의 경우는 예외임이 밝혀졌다. 이를 통해 전자빔 처리된 다이아몬드의 경우 NMR 신호의 세기를 정하는 인자로 상자기성 불순물 성분 이외에 격자 성분도 고려해야 됨을 알 수 있었다.

반응표면분석법을 이용한 LED Die Bonding 공정능력 최적화 (Process Capability Optimization of a LED Die Bonding Using Response Surface Analysis)

  • 하석재;조용규;조명우;이광철;최원호
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제13권10호
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    • pp.4378-4384
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    • 2012
  • LED 칩 패키징에서 다이 본딩은 웨이퍼에서 분할된 다이를 리드 프레임에 접착제로 고정시켜 칩이 다음 공정을 견딜 수 있는 충분한 강도를 제공하는 중요한 공정이다. 본 논문에서는 PLCC 구조 LED 패키지 프레임에 소형 제너 다이오드를 부착하는 다이 본딩 공정능력의 최적화를 위하여 공정에 영향을 미치는 여러 인자를 분석하여 반응표면분석법을 적용하여 그 결과를 도출하였다. 인자를 분석하여 5인자 3수준 4반응치를 고려하여 실험계획법을 수립하였으며, 그 결과 모든 반응치의 목표를 만족하는 최적 조건을 확보할 수 있었다.

빠른 상승률 갖는 단일 IGBT 스위치 기반 고전압 펄스 파워 모듈레이터 (High-Voltage Pulsed Power Modulator based on single IGBT switch with Fast-Rising Time)

  • 유창어;조찬기;송승호;류홍제
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2019년도 추계학술대회
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    • pp.46-48
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    • 2019
  • 본 논문은 Discontinuous Conduction Mode(DCM) 플라이백 컨버터로 생성한 고전압 펄스를 스파크 갭으로 펄스 상승 시간을 줄이는 방법에 관하여 다룬다. 이러한 방법으로 생성된 빠른 상승률 특성을 가지는 고전압 펄스 전원장치는 친환경 가스 처리 분야에 사용할 수 있다. 기존 스태킹 구조의 펄스 전원 장치는 많은 수의 스위치들과 에너지 저장 소자가 필요하므로 부피가 커지고 제조 단가가 증가하는 반면, 분 논문에 제안된 전원 장치는 구조를 단순화하여 전체 시스템의 소형화 및 제조 단가를 낮춘 점을 특징으로 한다. 제안된 설계 토폴로지는 플라이백 변압기 2차 측에 다이오드의 사용 유무에 따라 두 개의 변형된 회로로 응용 가능 하다. 변압기 2차측에 다이오드를 사용하면, 음의 성분 없이 깨끗한 고전압 출력 펄스를 만들 수 있지만 사용한 다이오드의 전압 정격을 고려해야 한다. 다이오드를 사용하지 않는다면, 고전압 출력 펄스에 음의 성분이 발생하지만 비용과 부피를 최대한 줄일 수 있다. PSIM 시뮬레이션을 사용하여 제안하는 전원 장치의 23kV, 0.5 ㎲, 10 ns rising time의 출력 펄스 발생 성능을 검증하고, 다이오드 사용에 따른 출력 펄스의 차이점을 비교하였다.

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Effect of Temperature and Reaction Time on the Synthesis of Butadiene Monoepoxide Using Iron Complex as an Efficient Catalyst

  • Zong, Tongqiang;Kharismadewi, Dian;Ra, Choon-Sup;Shim, Jae-Jin
    • 청정기술
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    • 제18권1호
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    • pp.51-56
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    • 2012
  • 상업적으로 이용 가능한 과산화초산을 산화제로 사용하고, 적은 양으로 매우 빠르게 산화시킬 수 있는 효율적인 철복합체 $[((phen){_2}(H_2O)Fe^{III}){_2}({\mu}-O)](ClO_4){_4}$ 촉매를 사용하여 $-10^{\circ}C$에서 1,3-부타다이엔을 에폭시화하였다. 에폭시화반응에 대한 온도(-10 ~ $-40^{\circ}C$)와 시간의 효과에 관하여 연구하였다. 에폭시화반응은 $-20^{\circ}C$에서 약 5분 내에 거의 완결될 정도로 빨랐으나, 그 이하의 온도에서는 느려졌다. 부타다이엔의 수율은 반응시간에 따라 증가하였으며, 부타다이엔 양이 증가하면 수율도 증가하는 경향을 보였다. 실험에서 얻은 부타다이엔모노에폭사이드의 최고 수율은 90%였다.

Al-MCM-41을 이용한 1,2-dichlorobenzene의 분해 반응 (Decomposition of 1,2-dichlorobenzene over Al-MCM-41)

  • 임진형;박영권;전종기;고영수;유경선
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제45권3호
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    • pp.215-218
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    • 2007
  • 본 연구의 목적은 다이옥신 분해 촉매 반응에 Pt/Al-MCM-41 메조포러스 촉매를 이용할 수 있는 가능성을 알아보고자 하는 것이다. 다이옥신 분해 반응에 대한 모델 반응으로 1,2-dichlorobenzene 분해 반응을 실시하였다. 비교 촉매로는 $Pt/{\gamma}-Al_2O_3$ 촉매를 사용하였다. Post grafting 방법으로 Al-MCM-41 촉매를 제조하여 실험한 결과, Si/Al = 15, 30인 Pt/Al-MCM-41 촉매가 $Pt/{\gamma}-Al_2O_3$ 촉매 보다 우수한 활성을 나타내었다. 이러한 반응 활성은 산점의 양과 밀접한 관계를 나타내었다. 특히 Al-MCM-41을 H-form으로 이온교환하여 반응 실험에 적용한 결과, 활성이 더욱 더 증대되었다.

다이옥신의 환원적 탈염화 분해 경로와 독성 변화예측을 위한 LFER 모델 (Prediction of Pathway and Toxicity on Dechlorination of PCDDs by Linear Free Energy Relationship)

  • 김지훈;장윤석
    • 대한환경공학회지
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    • 제31권2호
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    • pp.125-131
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    • 2009
  • 영가철과 혐기성 미생물을 이용한 환원적 탈염화반응을 통한 다이옥신 처리 능력을 평가하기 위해, 자유에너지 선형관계(linear free energy relationship)를 이용하여 다이옥신의 탈염화에 의한 농도 및 독성변화 예측 모델을 최초로 정립하였다. 수용액상에 존재하는 다이옥신류의 깁스자유에너지는 기존 문헌의 열역학적 계산결과를 범밀도함수이론(density functional theory)을 이용한 계산 수준으로 보정하였으며, 보정된 깁스자유에너지와 실험을 통해 얻은 탈염화 반응속도 상수와의 선형관계를 통해 다이옥신의 탈염화 반응 256개에 대한 반응속도상수를 예측하였다. 본 모델을 통해 탈염화에 의해 변화하는 다이옥신 류 76종에 대한 시간 별 농도를 계산할 수 있다. 8염화다이옥신(Octachlorinated dibenzo-p-dioxin, OCDD)이 완전히탈염화되어 dibenzo-p-dioxin (DD)로 탈염화되기까지는 100년 이상의 반응시간이 필요하였으며, 독성등가값(toxic equivalent quantity, TEQ)의 경우 탈염화가 진행되면서 초기농도의 10배 이상까지 증가하는 것으로 밝혀졌다. 이를 통해, 다이옥신의 처리를 위해서는 좀 더 빠른 탈염화 반응속도를 갖는 다른 전자공여 시스템을 사용하거나, 환원적 탈염화-라디칼 산화와 같은 복합 연계처리가 필요함을 알 수 있다. 본 논문을 통해 제시된 예측 기법은 다이옥신뿐 아니라 다른 할로겐화 화합물의 탈염화 예측과 여러 전자공여 시스템에 대한 평가에 적용이 가능하다.

연산자 분리 방법을 통한 DFB/DBR 레이저 다이오드의 효율적인 시영역 동적 모델링 (An Efficient Split-Step Time-Domain Dynamic Modeling of DFB/DBR Laser Diodes)

  • 김병성;정영철
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제37권7호
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    • pp.17-28
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    • 2000
  • DFB(Distributed Feedback) 및 DBR(Distributed Bragg Reflector) 레이저 다이오드의 모델링에 많이 사용되는 시간 변수가 있는 결합 파동 방정식의 수치해를 효율적으로 구할 수 있는 새로운 방법을 제안 하였다. 이 방법에서는 결합 파동 방정식을 두 세트의 방정식으로 분리하여 해석한다. 한 세트의 방정식들에는 위상 인자 및 이득 인자만 포함되고, 다른 한 세트의 방정식에는 결합항만이 포함된다. 본 논문에서 SS-TDM(Split-Step Time Domain Model)이라고 명명한 새로운 수치해석법은 기존의 방법에 비하여 매시간 스텝당 계산 시간은 비슷한 반면에 분할 구간의 수가 10배 이상 적게 하여도 정확한 결과를 얻을 수 있음을 확인하였다.

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