${CH_4}-{H_2}-{N_2}$ 기체계에서 MW-PACVD를 이용한 결정상 합성
(Synthesis of Crystalline film from ${CH_4}-{H_2}-{N_2}$ gases with MW-PACVD)
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- 한국재료학회지
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- 제10권9호
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- pp.648-655
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- 2000