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Pulse DC $O_2$ 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트 기판의 건식 식각

  • 박주홍;노강현;이성현;최경훈;조관식;이제원
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.105-105
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    • 2010
  • 펄스 DC $O_2$플라즈마를 이용하여 PMMA와 폴리카보네이트 기판을 건식 식각 한 후 그 결과에 대하여 분석하였다. 식각 공정 변수는 펄스 파워 (300~500 V), 펄스 시간 ($0.5{\sim}2.0\;{\mu}s$), 펄스 주파수 (100~250 kHz)의 변화이었다. 특성 분석은 PMMA와 폴리카보네이트의 식각률, 두재료의 포토레지스트에 대한 식각 선택도, 식각 후 표면 거칠기 변화에 대해 실시하였다. 또한 주사 전자 현미경을 이용하여 식각 후 패턴의 표면 형상을 관찰하였다. 실험 결과, PMMA의 식각률이 폴리카보네이트보다 높음을 알 수 있었다. 펄스 파워를 300 V 에서 500 V로 증가함에 따라 PMMA의 식각률은 $0.17\;{\mu}m/min$ 에서 $0.53\;{\mu}m/min$ 로 증가하였다. 폴리카보네이트는 같은 식각 조건에서 $0.09\;{\mu}m/min$ 에서 $0.22\;{\mu}m/min$ 로 증가하였다. 그 이유는 폴리카보네이트의 경우, 결합력이 큰 벤젠 분자 구조를 포함하고 있기 때문에 PMMA보다 식각률이 더 낮다고 추측한다. 또한 PMMA 와 폴리카보네이트의 포토레지스트에 대한 식각 선택비는 펄스 파워가 증가함에 따라 같이 증가하는 것을 알 수 있었다. 5 sccm O2, 55 mTorr 공정 압력, 400 V 펄스 파워, 200 kHz 펄스 주파수의 조건에서 펄스 시간이 $0.5\;{\mu}s$ 에서 $1.0\;{\mu}s$ 로 증가할 때 PMMA와 폴리카보네이트의 식각률은 거의 변화가 없었다. 그러나 같은 조건에서 펄스 시간이 $1.0\;{\mu}s$ 에서 $2.0\;{\mu}s$ 로 증가한 경우에는 PMMA와 폴리카보네이트의 식각률은 선형적으로 증가하였다. 펄스 시간이 고분자 소재의 건식 식각에 영향을 줄 수 있다는 사실을 알 수 있었다. 주사현미경을 이용하여 식각된 표면 형상을 분석한 결과, 폴리카보네이트가 PMMA보다 표면이 매끈하게 관찰되었다. 요약하면, 펄스 DC $O_2$플라즈마는 PMMA와 폴리카보네이트 등의 고분자 소재의 건식 식각에 중요하게 활용될 수 있다는 사실을 본 연구를 통해 이해할 수 있다.

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셀룰로오스 카보네이트 유도체로부터 재생 셀룰로오스 섬유 제조(III) -셀룰로오스 카보네이트 유도체의 상그림표- (Preparation of Regenerated Cellulose Fiber from the Cellulose Carbonate Derivative(III) -Phase Diagram of Cellulose Carbonate Derivative-)

  • 오상연;류동일;신윤숙;이화섭;조성무
    • 한국섬유공학회:학술대회논문집
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    • 한국섬유공학회 2001년도 가을 학술발표회 논문집
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    • pp.215-218
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    • 2001
  • 이산화탄소($CO_2$)를 사용한 셀룰로오스 카보네이트 유도체의 제조 및 재생 셀룰로오스 섬유 제조와 관련한 기초 연구성과를 이미 발표한 바 있다[1~3]. 이번 연구에서는 일정한 조건에서 제조된 셀룰로오스 카보네이트 유도체의 용해온도, 셀룰로오스 카보네이트 함량, 10% 수산화나트륨 수용액내의 산화아연의 함량 변화에 따른 용해성을 평가하여 상그림표를 작성하였다. (중략)

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[살렌-크롬(III)]·Cl 착물을 단일 촉매로 한 고리형 카보네이트와 폴리카보네이트가 생성되는 반응 경로 제시

  • 박현우;김연준;백경엽;김우연
    • EDISON SW 활용 경진대회 논문집
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    • 제5회(2016년)
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    • pp.113-115
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    • 2016
  • 온실가스의 주범을 친환경적으로 활용한다는 측면과 carbon source를 영구적으로 저렴한 비용으로 공급할 수 있다는 경제적 측면에서 CO2를 활용한 고부가가치 화학물질의 합성이 최근에 주목 받고 있다. 본 연구에서는 살렌(salen)-전이금속 착물을 단일 촉매로 사용한 모델 시스템을 통해 고부가가치 소비재의 주된 원료인 고리형 카보네이트 (cyclic carbonate)와 폴리카보네이트 (polycarbonate)가 생성되는 반응경로를 규명하였으며, 이들의 활성화 에너지를 조절함으로써 생성물을 선택적으로 합성할 수 있다는 이론적 근거를 제시하였다.

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이산화탄소기반 고리형 카보네이트 및 폴리카보네이트 제조 연구 동향 (Recent Development to Generate Carbon Dioxide-based Cyclic Carbonate and Polycarbonate)

  • 권두연;김재일;강휘주;김다연;김재호;이봉;김문석
    • 청정기술
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    • 제17권3호
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    • pp.201-208
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    • 2011
  • 온실효과 유발 이산화탄소는 학문적, 산업적 관점에서 이산화탄소 기반 폴리카보네이트 제조에 대한 원료로서 적용 가능하다. 그러므로 이산화탄소 기반 폴리카보네이트는 탁월한 경제적 녹색고분자이다. 최근 이산화탄소 기반 폴리카보네이트의 빠른 개발이 산업적으로 새로운 기회를 제공하고 있다. 본 총설에서는 다양한 촉매 존재하에서 이산화탄소 및 에폭사이드 계열 화합물을 이용한 고리형 카보네이트 모노마 제조 및 제조된 모노마로부터 이산화탄소 기반 폴리카보네이트 제조에 대한 연구 동향을 설명하고자 한다.

셀룰로오스 카보네이트 유도체로부터 재생 셀룰로오스 섬유의 제조(VI. 셀룰로오스 카보네이트의 치환도 및 용해도 평가) (Preparation of Regenerated Cellulose Fiber from the Cellulose Carbonate Derivative(VI. Degree of substitution and estimation of solubility))

  • 오상연;류동일;신윤숙;김환철;김학용;정용식
    • 한국섬유공학회:학술대회논문집
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    • 한국섬유공학회 2003년도 봄 학술발표회 논문집
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    • pp.299-300
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    • 2003
  • 본 연구자들은 이산화탄소($CO_2$)에 의한 셀룰로오스 카보네이트의 제조 및 재생 셀룰로오스 섬유 제조에 대한 몇몇 기초 연구성과를 발표한 바 있다[1, 2]. 이번 연구에서는 이산화탄소와의 반응을 통해 제조된 셀룰로오스 카보네이트 유도체의 치환도 변화에 따른 용해성을 평가하고 상그림표를 작성하였다. (중략)

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이원계 금속산화물 Zn-Al을 이용한 글리세롤카보네이트 합성 (The synthesis for glycerol carbonate using binary metal oxide catalyst)

  • 류영복;이선도;김양도;이만식
    • 한국산학기술학회:학술대회논문집
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    • 한국산학기술학회 2011년도 추계학술논문집 1부
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    • pp.367-369
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    • 2011
  • 본 연구에서는 글리세롤과 우레아를 이용하여 글리세롤카보네이트를 합성하는 반응을 진행하였다. ZnO와 Zn-Al 이원계 금속 산화물 촉매를 제조하고, 제조되어진 촉매를 사용하여 글리세롤의 전환율과 글리세롤카보네이트의 수율을 확인하였고, Al의 첨가에 따른 촉매 특성의 분석과 글리세롤카보네이트 합성반응에서의 역할에 대해 확인하였다. 글리세롤카보네이트 합성 반응에서 ZnO를 단독으로 촉매를 사용한 경우보다 Zn-Al 혼합 산화물을 촉매로 사용하여 반응하였을 때, 부반응이 억제되어 전환율 및 수율이 증가함을 확인하였다.

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폴리카보네이트 특성 향상을 위한 Al-Si-N 박막의 제작 및 크랙 방지

  • 송인설;안세훈;이근혁;장성우;김동환;한승희
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.168.1-168.1
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    • 2015
  • 자동차 산업분야에서 차량 경량화의 한 수단으로, 자동차용 유리를 무게가 가볍고 고강도 투명 고분자 소재인 폴리카보네이트로 대체하고자 하는 연구가 이루어지고 있다. 하지만, 폴리카보네이트의 낮은 내 마모 특성과 자외선에 의한 열화 및 변색 현상은 해결해야 할 문제점으로 지적되고 있다. 본 연구에서는, 폴리카보네이트의 내마모 특성을 향상시키기 위해 HIPIMS+ (High Power Impulse Magnetron Sputtering+) 방법을 이용하여 투과율이 확보되고, 고경도 특성을 갖는 Al-Si-N 박막을 증착하였다. 고속증착을 하기 위해 Target에 인가되는 Power를 올리게 되었는데, 열팽창 계수가 큰 고분자 물질인 폴리카보네이트 시료의 온도가 상승하여 증착된 박막과의 열팽창 계수 차이에 의해 박막에 Crack이 형성되는 문제가 발생하였다. 증착되는 Al-Si-N 박막의 공정 압력에 따른 Stress 제어 방법 및 폴리카보네이트 시료의 온도 상승을 막기 위한 알루미늄 구조체를 이용함으로써 박막의 Crack 형성을 억제하고자 하였다. 박막의 Stress를 확인하기 위하여 AFM (Atomic Force Microscope)과 OM (Optical Microscope)을 이용하여 분석하였고, 박막의 경도는 Knoop ${\mu}$-hardness tester를 사용하여 측정하였다. Al-Si-N 박막 경도는 Si at.%/(Al at.% + Si at.%) 비율이 16%에서 33 GPa의 경도를 갖는 것을 확인하였다. UV-Vis Spectrometer를 이용하여 투과율을 측정한 결과, 400-700 nm 파장의 가시광 영역 평균 투과율은 80%로 측정되었다.

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이원계 금속산화물 촉매가 글리세롤카보네이트 합성에 미치는 영향 (The Effects of binary metal oxide catalysts for the synthesis of glycerol carbonate)

  • 백재호;문명준;이만식
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제13권1호
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    • pp.456-461
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    • 2012
  • 본 연구에서는 글리세롤과 우레아를 이용하여 글리세롤카보네이트를 합성하는 반응을 진행하였다. ZnO와 Zn-Al 이원계 금속 산화물 촉매를 제조하고, 제조되어진 촉매를 사용하여 글리세롤의 전환율과 글리세롤카보네이트의 수율을 확인하였고, Al의 첨가에 따른 촉매 특성의 분석과 글리세롤카보네이트 합성반응에서의 역할에 대해 확인하였다. 글리세롤카보네이트 합성 반응에서 ZnO를 단독으로 촉매를 사용한 경우보다 Zn-Al 혼합 산화물을 촉매로 사용하여 반응하였을 때, 부반응이 억제되어 전환율 및 수율이 증가함을 확인하였다.

경유 첨가제로 쓰일 수 있는 카보네이트 유도체의 합성과 세탄가 향상도 (Synthesis of Carbonate Derivatives and Derived Cetane Number for the Use of Diesel Additives)

  • 조창용;정근우;김영운;김영준
    • 대한화학회지
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    • 제54권2호
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    • pp.234-239
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    • 2010
  • 경유 첨가제로 사용할 수 있는 카보네이트 유도체를 합성하고 그들의 DCN 향상 효과를 살펴보았다. 1,2-글리세롤 카보네이트와 긴 알킬그룹을 가지는 지방산을 반응시켜 경유와 구조적으로 유사한 화합물을 얻었다. 경유에 대한 용해도를 증가시키기 위해 긴 체인 중간에 이중 결합을 도입하거나 카보닐 그룹의 알파 위치에 알킬기를 도입하였다. ASTM 방법을 통하여 측정한 이들의 DCN 증가 정도는 ~1 정도였으며 이 결과는 카보네이트 유도체 화합물이 연료 첨가제로서 사용이 가능하다는 것을 보여주고 있다.

콜레스테롤 카보네이트 결정구조에 관한 연구 (The Crystal Structure of Cholesteryl Carbonates)

  • 박영자;신정미
    • 한국결정학회지
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    • 제7권1호
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    • pp.8-19
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    • 1996
  • 콜레스테롤 메틸카보네이트와 프로필카보네이트의 결정구조를 X-선 회절법으로 연구하였다. 이 결정들은 단사정계이고 공간군은 P21이다. 회절반점들의 세기는 흑연 단색화 장치가 있는 Enraf-Nonius CAD-4 X-선 회절계로 얻었으며, Cu-Kα X-선(λ=1.5418Å)을 사용하였다. 콜레스테롤 메틸카보네이트의 단위세포 길이 a=17.014(1), b=7.682(1), c=10.612(1)Å이며, β=103.05(1)°, Z=2이다. 한편 콜레스테롤 프로필카보네이트의 단위세포길이는 a=13.683(1), b=11.864(2), c=18.904(2)Å이며, β=106.30(1)°, Z=4이다. 분자구조들은 직접법으로 풀었으며 최소자승법으로 정밀화하였다. 최종신뢰도 R값은 메틸카보네이트는 2323개의 회절반점에 대하여 0.051이고, 프로필카보네이트는 3323개의 회절반점에 대하여 0.074이다. 이들 화합물들의 콜레스테롤부분의 분자구조들은 다른 관련 화합물에서 밝혀진 구조와 잘 일치하고 있다. 이의 두 화합물을 포함하여 콜레스테롤 카보네이트들의 결정구조들은 단분자층을 이루면서 쌓여 있어서 독특한 결정구조를 보여주며 같은 계열의 알킬 카보네이트들과 일련의 유사한 결정구조의 구룹들을 보여준다. 콜레스테롤 메틸카보네이트 분자들은 monolayer를 이루면서 쌓여있으며, monolayer 중심부에서는 cholesteryl-C(17) side chain 상호작용이 강하며 layer 사이에는 카보네이트사슬들이 느슨하게 모여있다. 프로필카보네이트 결정에서는 두 개의 결정학적으로 독립된 분자들(A and B)이 있다. A분자들간의 cholesterol-cholesterol상호작용과 B분자들간의 cholesteryl-C(17) side chain 상호작용들이 layer의 중심부에서 일어나며, 이들 분자들은 나사축 방향을 따라서 쌓여있다. 콜레스테롤 카보네이트의 구조들은 액체결정 상태의 특질을 가지고 있고, 이런 성질들을 결정구조와 관련하여 논의하였다.

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