• 제목/요약/키워드: 내회전

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용액 교반이 Damascene 공정의 무전해 구리 도금에 미치는 영향 (The Effect of Solution Agitation on the Electroless Cu deposition of Damascene Process)

  • 이주열;김덕진;김만
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.83-84
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    • 2007
  • Damascene 공정을 이용하여 80nm급의 trench 패턴 내에 구리 배선 형성을 위해 무전해 구리 도금법을 이용하였다. 화학 반응으로 진행되는 무전해 도금법에 의한 구리이온의 초미세 패턴 내 환원 과정에 구리 이온의 물질 전달과정이 구리 도금층의 표면 특성과 superconformality에 미치는 영향을 살펴보았다. 회전 전극에 고정된 칩의 회전 속도가 증가함에 따라 구리 도금층의 비저항이 감소하고, trench 내 균일 도금성이 향상되는 것으로 나타났다.

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열유도된 왜곡편광을 이용하는 결합공진기를 갖는 선형 편광된 Nd:YAG 레이저 (A linearly polarized Nd:YAG laser with a coupled cavity utilizing thermally induced depolarization)

  • 김현수;이성만;고도경;문희종;임권;차병헌;이종민
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2000년도 하계학술발표회
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    • pp.104-105
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    • 2000
  • 다이오드 레이저로 펌핑되는 Nd:YAG 매질에 형성된 열 복굴절은 레이저 출력과 빔질의 저하를 초래한다. 선편광된 레이저 출력을 얻기 위해서는 주로 공진기 내에 선형 편광자를 삽입하게 되는데, 레이저 매질에 형성된 열 복굴절에 의한 왜곡 편광된 레이저 빔이 편광자에 의해 반사되어 공진기 손실을 초래한다. 편광 왜곡에 의한 레이저 빔의 손실을 줄이거나 이중 초점을 제거하기 위해 주로 사용되어지는 광 소자는 Faraday 회전자, λ/4 판, 석영 회전자 등이 사용되어진다.$^{(1-5)}$ 90$^{\circ}$ 석영 회전자와 Faraday 회전자는 공진기 내에 두 개의 동일한 구조를 갖는 레이저를 이용할 경우 사용되고 λ/4 판 과 45$^{\circ}$ Faraday 회전자는 주로 단일 레이저 헤드의 복굴절 보상을 위해 사용되어진다. 45$^{\circ}$ Faraday 회전자는 이론적으로 완벽히 열복굴절에 의한 편광 왜곡을 보상한다. 그러나, 열복굴절을 완벽히 보상하기 위해서는 레이저 빔이 항상 레이저 매질의 같은 지점을 통과해야 한다. 실제적으로 레이저 매질에서는 열에 의한 열 렌즈 효과가 있기 때문에 레이저 빔이 항상 같은 지점을 통과하지 않게 된다. 이런 문제를 해결하기 위해 공진기 내에 열 렌즈 효과를 보상하기 위한 렌즈를 삽입하거나 레이저 헤드를 공진기 거울 가까이 설치하여야 한다. Faraday 회전자는 길이가 길기 때문에 레이저 헤드를 공진기 거울 가까이 설치하기는 어렵고 항상 열 렌즈 효과를 보상해주는 광학 소자가 있어야 하는 단점이 있다. 반면 λ/4 판은 완벽한 편광 왜곡을 보상해주지 않아 레이저 손실을 초래하지만 두께가 얇아 레이저 헤드와 공진기 거울을 근접해서 설치할 수 있어서 몇몇 연구자에 의해 연구되어 졌다.$^{(3)}$ 본 연구에서는 λ/4 판을 이용하고 편광기에서 반사된 빔을 공진기에 되반사 시키는 구조를 사용하여 선 편광된 레이저의 출력과 빔의 질을 개선 시켰다. (중략)

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용융아연도금 공정에서 초기 Fe 함량이 강판의 용출속도에 미치는 영향 및 강판의 용출 메커니즘 고찰

  • 이상명;박주현
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2016년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.106-106
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    • 2016
  • 강의 산화 및 부식을 방지할 수 있는 표면처리 강판의 수요가 늘어나고 있다. 그 중 용융아연도금 강판은 뛰어난 경제성 및 도금성, 그리고 희생적 방식 특성으로 각광받고 있다. 자동차용 강판의 경우 도금 공정 이후의 표면 상태가 매우 중요하다. 도금 공정의 주된 표면 결함은 강판이 도금욕 내에서 이동 하면서 수반된 도금욕 내의 Zn-Fe-Al dross 입자에 기인한다. 도금공정 중 강판으로부터 용출된 Fe는 도금욕 내의 Zn 와 Al 과 반응하여 밀도가 높은 Bottom dross 나 밀도가 낮은 Top dross를 형성한다. 이에 본 연구에서는 강판으로부터 Fe의 용출속도에 미치는 도금욕 내 초기Fe 농도의 영향을 속도론적으로 평가하였다. 본 연구에서는 'Finger rotating method (FRM)' 방법론을 적용하였으며. 실험을 위해 수직 관상로 내부에 Zn-Al-Fe 시료를 장입한 알루미나 도가니를 위치시킨 후 온도를 $455^{\circ}C$로 설정하고, 지름 20mm의 Iron rod를 회전모터에 연결하여 Zn-Al-Fe 용탕에 침적한 후 회전시켰다. 실험 결과, 초기 Fe 함량과 용탕의 Fe포화 농도의 차이가 적을수록 Fe의 용출 속도는 감소하였으며 Dross 생성량 또한 적었다. 용탕 및 Iron rod 샘플 관찰 결과를 바탕으로 회전하는 Fe 시편으로부터 도금욕으로의 Fe 용출 메커니즘을 고찰하였다. 용출 모델을 토대로 모델링 한 결과, 용탕 내 Fe 농도 변화양상이 모델링 data와 실험 data가 동일한 양상을 보임을 확인 하였다.

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전방십자인대 한다발재건술의 후외측다발 재건 및 두다발재건술이 외발착지 동작 시에 경골내회전에 미치는 영향 (Effect of Lateral and Posterior Placement of Single-Bundle and Double-Bundle ACL Reconstructions on Tibial Internal Rotation During Single-Leg Landing)

  • 신충수
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제35권5호
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    • pp.517-523
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    • 2011
  • 전방십자인대 부상은 스포츠 활동 중에 빈번하게 발생하며 주로 수술적 치료가 행해진다. 전방십자인대는 전내측과 후외측 다발로 구분되는데 주로 전내측 다발만 재건되는 한다발 재건술이시술되고 있다. 후외측 다발은 경골의 내회전을 복원하는데 효과적이라는 실험 결과가 보고된 바있지만 부상을 야기하는 역동적인 착지동작에서의 역할에 대한 연구가 필요하다. MRI 영상을 이용하여개발된 3차원 슬관절 모델에 인체실험 자료를 입력한 시뮬레이션으로 착지동작 시에 후외측 다발 및두다발 재건술이 얼마나 경골의 내회전을 제어하는지 알아보았다. 본 연구는 후외측 다발 방향의재건이 전내측 다발보다 착지동작 시에 경골 내회전을 효과적으로 감소시키며 두다발 재건술 또한슬관절 회전 안정성을 향상시킴을 밝혔다.

주기적으로 배열된 회전하는 원형 실린더를 이용한 채널유동의 열전달 증진 (Heat Transfer Enhancement in Channel Flow by a Streamwise-Periodic Array of Rotating Circular Cylinders)

  • 정태경;양경수
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제38권12호
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    • pp.999-1008
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    • 2014
  • 채널 내 회전하는 원형 실린더가 주기적으로 존재하는 경우 회전하는 실린더를 지나는 유동에 의한 채널 내 유동 특성 및 채널 벽에서의 열전달 효율증진을 파악하였다. 본 연구에서 사용된 유동 모델은 마이크로 채널, 열교환기 등에서 평판 사이의 열전달 효율을 높이기 위해 흔히 사용되는 와류 생성기의 가장 단순한 모델이다. 실린더와 채널 벽과의 간격 및 Re 수를 변화해가며 수치적 해석을 수행하였으며, 직교좌표계에서 채널 내 원형 실린더를 구현하기 위해 가상경계법이 적용 되었다. 채널 내 실린더가 회전하고 있는 경우, 실린더가 정지해 있는 경우에 비해 특히 실린더와 채널 벽과의 간격이 작아질수록 채널 벽에서의 열전달 효과는 더 높은 것으로 파악되었다.

배구선수들의 극하근 근위축이 어깨 관절 회전근력과 운동범위에 미치는 영향 (The Effect of Atrophy of the Inpraspinatus on Strength and ROM in Shoulder Joint of Male Volleyball Players)

  • 이병권
    • 한국운동역학회지
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    • 제19권3호
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    • pp.549-555
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    • 2009
  • 본 연구의 목적은 극하근 근위축이 배구선수들의 등속성 최대토크와 운동범위에 어떠한 영향을 미치는지 알아보고자, 극하근의 근위축 소견이 있는 선수 3명, 근위축 소견이 없는 선수 5명을 대상으로 등속성 근력측정기기인 Biodex와 동작분석기기 Simi-Motion을 이용하여 측정분석 하였다. 본 연구의 결과, 극하근의 근위축이 있는 그룹과 없는 그룹 사이에 어깨 관절의 외회전 등속성 최대토크, 내회전에 대한 외회전 등속성 최대토크 비율 그리고 내회전 회전 운동범위가 유의한 차이가 있는 것으로 나타났다. 배구선수들의 극하근의 근위축을 예방하기 위해서는 어깨 관절의 기능을 고려한 외회전근의 근력강화 훈련이 중점적으로 시행되어야 하며, 이와 더불어 어깨 관절 후부 조직에 대한 유연성 훈련도 병행되어야 할 것으로 사료된다.

비확공성 전향적 상완골 금속정 고정술후 견관절 기능에 대한 임상적 및 방사선학적 평가: 초음파를 이용한 회전근 개 추시관찰 (Clinical and Radiographic Outcome of Shoulder Function after Unreamed Antegrade Intramedullary Nailing for Humerus Fracture: Ultrasonographic Evaluation for Rotator Cuff Integrity)

  • 백승훈;최창혁
    • 대한정형외과 초음파학회지
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    • 제6권1호
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    • pp.1-9
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    • 2013
  • 목적: 상완골 골절에 대한 비확공성 전향적 금속정 내고정술 시행 후, 초음파을 이용하여 회전근 개 상태 및 영향 인자를 객관적으로 평가하고, 초음파 검사의 유용성을 확인하였다. 대상 및 방법: 상완골 골절로 골수강 내 금속정 내고정술을 시행받고 견관절의 초음파 검사를 시행한 17례를 연구 대상으로 하였다. 평균 연령은 $55.7{\pm}18.6$세였으며, 최초 수술 후 평균 추시 기간은 $43.5{\pm}32.2$개월이었다. 전 례에서 술중 회전근개 상태를 확인하였고, 4례(24%)에서 피부절개 후 회전근 개의 파열이 관찰되어 금속 봉합나사못을 이용하여 단열 봉합술을 시행하였다. 임상적 평가는 visual analogue scale (VAS), 운동범위, Korean Shoulder Scoring System (KSS) 및 American Shoulder and Elbow Society (ASES) 점수를 측정하였다. 회전근개의 상태에 대한 초음파 검사를 시행하였고, 견관절 기능에 영향을 미칠 수 있는 방사선학적 유합 시기, 금속정 근위 첨부 돌출 및 근위 교합 나사의 이동을 평가하였다. 금속정 근위 첨부 돌출에 대해서는 방사선학적 검사와 함께 초음파적 검사도 병행하였다. 결과: 최종 추시시 VAS는 평균 $1.65{\pm}1.84$, 운동 범위는 전방 굴곡 평균 $137.0{\pm}33.5^{\circ}$, 외회전 평균 $43.5{\pm}12.7^{\circ}$, 내회전 평균 $16.4{\pm}2.0^{\circ}$이었다. KSS점수는 평균 $79.6{\pm}20.7$점이었으며, ASES점수는 평균 $83.7{\pm}17.0$점이었다. 방사선학적 평가상 전례에서 골유합을 얻었으며, 골유합 기간은 평균 $3.4{\pm}1.3$개월이었으며, 근위 교합 나사의 이동이 6례(35%) 관찰되었다. 견관절 초음파 검사상 회전근 개는 정상 8례(47%), 굴곡변화 4례(24%) 및 부분파열 5례(29%)가 관찰되었으나 완전파열은 관찰되지 않았다. 금속정 첨부 돌출은 방사선 검사상 8례(47%), 초음파 검사상 총 11례(65%)에서 관찰되었고, 고령의 환자에서 호발하였다(p=0.038). 회전근 개의 굴곡 변화 및 부분파열은 첨부 돌출과 관련이 있었으나(p=006), 술전 파열의 봉합여부와는 관련이 없었다(p>0.05). 결론: 금속정 삽입술시 회전근 개 손상을 피하기 위하여 금속정 첨부의 연골하골 내 적절한 함입을 요하며, 초음파를 이용한 경과 관찰은 단순 방사선 검사상 파악하기 곤란한 금속정 첨부의 돌출 및 회전근 개 손상을 확인할 수 있는 유용한 진단 및 평가 도구가 될 수 있을 것으로 판단된다.

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동결 견 환자에 대한 보존적 물리치료와 관절 가동술의 병행이 주관적 통증지수와 관절가동범위에 미치는 효과 (The Effect of Additional Mobilization with Conservative Physical Therapy in Patients with Frozen Shoulder on ROM and Subjective Pain Scale)

  • 형인혁;하미숙
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제9권11호
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    • pp.271-279
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    • 2009
  • 동결 견은 통증과 관절가동범위의 감소를 임상적 특징으로 한다. 동결견의 치료목적은 통증감소와 감소된 관절가동범위를 증가함으로 기능적인 동작을 수행하게 하는데 있다. 따라서 본 연구에서는 동결 견으로 진단받은 26명의 환자를 대상으로 보존적 물리치료(온열, 전기, 초음파)와 관절 가동술을 적용한 후 주관적 통증지수와 관절가동범위에 미치는 효과를 알아보고자 실시하였다. 실험군 13명에게는 보존적 물리치료와 관절 가동술을 병행해서 4주간 주3회 적용하였고 대조군 13명에게는 보존적 물리치료를 4주간 주3회 실시한 후 주관적 통증지수와 관절가동범위를 측정하였다. 실험군에서는 주관적 통증지수의 감소와 외전, 외회전, 내회전의 관절가동범위가 증가하였다. 대조군에서는 주관적 통증지수는 감소하였지만 관절가동범위는 차이가 없었다. 군 간의 비교에서는 주관적 통증지수에서는 차이가 없었고 외회전, 내회전의 관절가동범위가 증가하였다. 따라서 보존적 물리치료와 관절 가동술의 병행이 통증감소와 외전, 외회전, 내회전의 관절가동범위의 증가, 특히 외회전과 내회전의 관절가동범위의 증가에 효과적임을 보여 준다.

회전운동에 의한 MRI 아티팩트의 제거 (Cancellation of MRI Artifact due to Rotation Motion)

  • 김응규
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 D
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    • pp.2746-2748
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    • 2002
  • MRI 스캔중 촬상 대상물의 화상평면내에서의 회전은 MRI 신호에 위상오차와 불균일 표본화를 일으킨다. 따라서, 아티팩트가 포함된 MR 화상의 화질열화를 개선하기 위하여 다음과 같은 방법들을 제안한다. 우선, 미리 주어진 회전파라메타로서 쌍일차 보간과 중첩특성을 이용해서 k공간 불균일 표본화 데이터를 수정하는 알고리즘과, 2차원 회전운동의 회전각은 이미 알려져 있고, 회전중심 위치가 미지인 경우에 대해 아티팩트를 보정하는 알고리즘을 제안한다. 이 때, 미지운동 파라메타를 예측하기 위해 촬상대상물의 경계바깥쪽에서 이상적인 MR 화상의 에너지는 최소가 되고, 촬상 대상물의 회전이 존재할 때 측정된 에너지가 증가한다는 성질을 이용했다. 이러한 성질을 이용해서 시뮬레이션 화상에 적용한 결과 제안한 방법에 대한 유효성을 확인하였다.

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