• 제목/요약/키워드: 나노 개구

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나노 탐침 슬라이드에 대한 FDTD 시뮬레이션 (FDTD Simulation of Integrated Nano-probe Slide)

  • 채규민;이현호;임상엽;박승한
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2003년도 하계학술발표회
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    • pp.184-185
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    • 2003
  • 근접장 광학 현미경에 사용되는 다양한 탐침 중 가장 널리 사용되는 근접장 탐침은 잡아끌거나 식각하는 방식으로 첨단부를 뽀족하게 한 후 수십 내지 수백 나노미터 직경의 개구 만을 남겨두고 금속 코팅한 광섬유 탐침이다. 하지만 이렇게 제작되는 광섬유 탐침에는 뽀족한 기하학적인 모양과 깨지기 쉬운 재질 특성으로 인하여 내구성이 떨어지고 작은 개구 각도로 인하여 광 전달율이 매우낮으며 탐침을 근접장 영역에 진입시킨 후 시료와 탐침 간의 거리를 유지시키기 위해서 매우 복잡한 거리 유지 장치가 필요하다는 단점들이 있다. (중략)

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고 투과 C 형 개구를 이용한 나노 크기 패턴 구현 (Nano-size Patterning with a High Transmission C-shaped Aperture)

  • 박신증;김용우;이응만;한재원
    • 한국정밀공학회지
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    • 제24권11호
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    • pp.108-115
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    • 2007
  • We have designed a high transmission C-shaped aperture using finite differential time domain (FDTD) technique. The C-shaped aperture was fabricated in the aluminum thin film on a glass substrate using a focused ion beam (FIB) milling. Nano-size patterning was demonstrated with a vacuum contact device to keep tight contact between the Al mask and the photoresist. Using 405 nm laser, we recorded a 50 nm-size dot pattern on the photoresist with the aperture and analyzed the spot size dependent on the dose illuminated on the aperture.

GA 및 ON/OFF 방법 기반의 초고주파수 영역의 나노개구 격자의 구조설계 (Nano-Aperture Grating Structure Design in Ultra-High Frequency Range Based on the GA and the ON/OFF Method)

  • 송성문;유정훈
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제36권7호
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    • pp.739-744
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    • 2012
  • 유전 알고리즘은 전역 최적해(global optimum)를 찾는 좋은 방법 중에 하나로 변화율(gradient)을 기반으로 하는 방법들과 달리 민감도 해석이 요구되지 않으므로 민감도 해석이 어려운 초고주파 영역에서의 설계 문제에 적합하다. 본 연구에서는 나노개구 격자의 위상화적화를 유전 알고리즘과 ON/OFF 방법에 기반하여 수행하였다. 연구의 목적을 나노개구 격자의 측정영역에서 투과효율을 최대화 하는 것으로 하고, 모든 해석 및 최적화 과정은 COMSOL 프로그램과 Matlab 프로그램의 연동에 의하여 수행되었다. 최종 제시된 설계는 기본 모델 대비 약 21%의 성능 향상을 나타내었다.

유전알고리즘 및 ON/OFF 방법을 이용한 가시광선 영역의 나노개구 형상의 위상최적설계 (Nanoaperture Design in Visible Frequency Range Using Genetic Algorithm and ON/OFF Method Based Topology Optimization Scheme)

  • 신현도;유정훈
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제37권12호
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    • pp.1513-1519
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    • 2013
  • 유전 알고리즘은 자연의 진화 과정에 기초한 계산 모델로서 전역 최적화 결과를 제공할 수 있다. 변화율(gradient)을 기반으로 하는 방법들과는 달리, 민감도 해석이 요구되지 않으므로 민감도 해석이 어려운 전계(electric field)에서의 나노 단위 구조물의 형상 설계에 적합하다. 본 연구는 유전 알고리즘과 ON/OFF 방법을 기반으로 위상최적화를 수행하여 가시광선 영역에서 새로운 형태의 나노개구 설계를 목표로 하였다. 연구의 목적은 나노개구 아래10nm에 위치한 측정영역에서의 전계 투과효율(transmission rate)을 최대화하며, 동시에 다른 영역에서의 전계 분포를 최소화하는 것이다. 유한요소해석 및 최적화 과정은 상용 프로그램 COMSOl과 Matlab 프로그램의 연동에 의하여 수행되었다. 최적화 모델의 결과는 초기 모델과의 전계 강도 (electric field intensity) 및 근접장의 초점치수(spot size)를 비교하여 분석하였다.

H-형태 소형 개구를 가진 직사각형 도파관 탐침의 공진 투과 (Resonant Transmission of a Rectangular Waveguide Probe with H-type Small Aperture)

  • 고지환;조영기
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제24권12호
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    • pp.1198-1204
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    • 2013
  • 근접장 마이크로파 현미경에 사용되는 도파관 탐침 구조에 대해 기존의 폭이 좁은 사각형 개구를 대신하여 H-형태 개구 구조를 제안하였고, 두 구조의 성능 평가지표로서 투과 효율과 스팟 크기를 비교 분석하였다. 비교결과로 투과 효율은 비슷하였지만, 스팟 크기 면에서는 H-형태 개구 구조가 훨씬 작아서 해상도 측면에서 개선된 형태의 탐침 구조로 사용될 수 있음을 확인하였다. 이런 H-형태 개구의 이점을 이용하면 광 정보 저장, 나노리소그래픽, 나노 현미경과 같은 근접장 광학 장치가 상당히 성능 개선될 것이다. 또한, 도파관 탐침에 공진기가 부착된 구조에서 투과 효율이 향상됨을 확인하였다.

근접장 측정을 위한 나노 슬라이드 결합 나노 탐침의 제작 (Fabrication of Nano-slide Integrated Nano-probe for Near-field Optical Measurement)

  • 임상엽;최문구;박승한
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2002년도 하계학술발표회
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    • pp.124-125
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    • 2002
  • 근접장 광학 탐침은 근접장 광학 현미경의 핵심요소이다. 매우 다양한 탐침이 제작되어 사용되고 있지만 이 가운데에서 실제로 널리 사용되는 근접장 탐침은 잡아끌거나 식각하는 방식으로 첨단부를 뽀족하게 한 후 수십 내지 수백 나노미터 직경의 개구 만을 남겨두고 금속 코팅한 광섬유 탐침이다. 그러나 광섬유 근접장 탐침은 잘 알려져 있는 몇가지 단점이 있다. 우선 20~30$^{\circ}$ 의 각도로 뽀족해지는 기하학적인 모양과, 깨지기 쉬운 유리 재질로 제작된 데 기인하여 내구성이 떨어진다. (중략)

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완전도체 박막에서 고 투과율 C형 나노 개구 설계 (Design of a High-Transmission C-Shaped Nano-Aperture in a Perfectly Electric Conductor Film)

  • 박신증;한재원
    • 한국정밀공학회지
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    • 제23권6호
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    • pp.160-165
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    • 2006
  • We have designed a high-transmission nano aperture in a perfect electric conductor film with the incident beam of 532 nm wavelength. The aperture basically has a C-shape and is known to produce a bright spot nearby the aperture in small size less than diffraction limit. The bright spot is strongly coupled with the local plasmon excited through the aperture hole. The characteristics of transmission and peak power of the aperture output were calculated using finite differential time domain (FDTD) technique, and the geometry of the aperture was determined to get a maximum transmission and peak power. To find the effect of the surface plasmon induced near by the aperture, we calculated the variations of the transmittance and the beam sizes by changing the size of the input beam irradiated on the aperture.