• Title/Summary/Keyword: 김대현

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Plasma monitoring using optical emission spectroscopy and expert system (광반사분광기와 전문가 시스템을 이용한 플라즈마 감시)

  • Kim, Dae-Hyeon;Kim, Byeong-Hwan
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2009.10a
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    • pp.235-236
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    • 2009
  • 본 연구에서는 Optical emission spectroscopy (OES)에 CUSUM과 전문가 시스템을 이용하여 플라즈마를 감시하는 기법을 개발하였다. CUSUM과 Dempster-Shafer를 이용하여 고장에 민감한 OES파장을 추출하였으며, 추출된 파장은 플라즈마 감시에 이용될 것으로 기대된다.

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