Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2009.10a
- /
- Pages.235-236
- /
- 2009
Plasma monitoring using optical emission spectroscopy and expert system
광반사분광기와 전문가 시스템을 이용한 플라즈마 감시
Abstract
본 연구에서는 Optical emission spectroscopy (OES)에 CUSUM과 전문가 시스템을 이용하여 플라즈마를 감시하는 기법을 개발하였다. CUSUM과 Dempster-Shafer를 이용하여 고장에 민감한 OES파장을 추출하였으며, 추출된 파장은 플라즈마 감시에 이용될 것으로 기대된다.
Keywords