한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

광반사분광기와 전문가 시스템을 이용한 플라즈마 감시

Plasma monitoring using optical emission spectroscopy and expert system

  • 김대현 (세종대학교 전자공학과) ;
  • 김병환 (세종대학교 전자공학과)
  • 발행 : 2009.10.14
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초록

본 연구에서는 Optical emission spectroscopy (OES)에 CUSUM과 전문가 시스템을 이용하여 플라즈마를 감시하는 기법을 개발하였다. CUSUM과 Dempster-Shafer를 이용하여 고장에 민감한 OES파장을 추출하였으며, 추출된 파장은 플라즈마 감시에 이용될 것으로 기대된다.

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