• Title/Summary/Keyword: 기하광학

Search Result 198, Processing Time 0.041 seconds

Mechanical Property Measurement in Nano Imprint Process (나노 임프린트 공정에서의 기계적 물성 측정)

  • 김재현;이학주;최병익;강재윤;오충석
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
    • /
    • v.21 no.6
    • /
    • pp.7-14
    • /
    • 2004
  • 나노 임프린트 기술은 기존의 광학적 리소그라피 (optical lithography) 기술보다 저렴한 비용으로 나노 구조물을 대량으로 제조할 수 있을 것으로 기대되고 있는 기술이다. 현재까지 반도체 공정기술의 주류를 이루고 있는 광학적인 리소그라피 기술은, 100nm이상의 CD(Critical Dimension)를 가지는 구조물들을 정밀하게 제조하여, 미소전자공학 (microelectronics) 소자, MEMS/MEMS, 광학소자 등의 제품들을 대량으로 생산하는 데에 널리 활용되고 있다. 반도체 소자의 고집적화 경향에 따라 100 nm 이하의 CD를 가지는 나노 구조물들을 제조할 필요성이 높아지고 있지만, 광학적인 방법으로는 광원의 파장보다 작은 구조물들을 제조하기가 어렵다. 보다 짧은 파장을 가지는 광원을 이용하는 리소그라피 장비가 계속적으로 개발되고 있으나, 그에 따른 장비 비용 및 제조 단가가 기하급수적으로 증가하고 있다.(중략)

Dimensional Measurement of Radiometric Aperture by Optical Edge Detection (가장자리의 광학적 검출방법에 의한 복사계용 개구 크기의 정 밀 측정)

  • 강창호;박승남;김석원;이동훈;고득현
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
    • /
    • 2003.07a
    • /
    • pp.278-279
    • /
    • 2003
  • 광도의 기본 단위인 칸델라(Candela) 눈금은 물론 복사조도(irradiance), 조명도(illuminance)와 같은 유도 단위를 실현하기 위해서는 검출기의 시야를 한정하는 개구면적의 정밀한 측정이 필요하다. 여기에서는 가장자리의 광학적 검출방법에 의한 개구면적의 산출방식을 소개하고, 가우시안광에 의한 면적 측정법의 측정값과도 비교하여 그 결과를 보여준다. 기존의 개구 면적 측정방식으로 한가지 방법은 탐촉자를 물리적으로 접촉시켜서 개구의 가장자리를 결정하고, 개구의 기하학적 모양을 원으로 가정하여 면적을 산출하는 방식이 있는데, 이 방법을 사용하면 기계적인 접촉에 의하여 칼날과 같았던 개구의 가장자리가 손상을 입게 되기 때문에 측정이 잘못되는 것은 물론이고, 이렇게 측정된 개구를 사용하게되면 손상된 부위에 의한 면적의 변화와 이로 인한 산란이 증가하게 된다. (중략)

  • PDF

Geometrical Analysis and Implementation of the Real-Time Tuning Structure Using Spatial Light Modulator in Photorefractive Tunable Filter (광굴절 가변 필터에서 공간광학변조기를 이용한 실시간 튜닝 구조의 기하학적 해석 및 구현)

  • An, Jun-Won;Kim, Seong-Goo;Kim, Nam
    • Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
    • /
    • v.36D no.12
    • /
    • pp.43-52
    • /
    • 1999
  • We propose a new method for tuning of center wavelength in photorefractive filter using $LiNbO_3$ crystal doped with 0.015Wt.% Fe. through the filter bandwidth property analysis using the geometrical method, a new wavelength selectivity theory was presented. In this scheme, the tuning of the center wavelength can be achieved by the real time incident angle control of the received heam, which was gotten by the spatial light modulator. So, tuning time depend on the response time of the SLM and results in the high speed turing. Because the use of thermally fixed grating in our filter, it has uniform diffraction property to the all filtering wavelength. Designed tunable filter has 4nm bandwidth and composed of the three channel with 10nm space. From the optical experiment, we get the 4.5nm, 4.25nm, 4nm bandwidth and 1530.5nm, 1540.5nm, 1549.5nm center wavelength respectively.

  • PDF

EXB 하전입자빔 에너지 필터의 광학 특성

  • Jo, Bok-Rae;Heo, In-Hye;Park, In-Yong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
    • /
    • 2013.02a
    • /
    • pp.608-608
    • /
    • 2013
  • 직선운동하는 하전입자의 진행방향에 수직한 평면상에 서로 직교하는 전기장과 자기장을 걸어주면, 하전입자에는 전기장에 의한 힘 $F_E$와 자기장과 속도 v에 의한 로렌츠력 $F_B=q(v{\times}B)$가 동시에 작용하게 된다. 이때 Wien 조건 $F_B=-F_E$를 만족하는 질량 $m_A$과, 에너지 $E_A$를 가지는 하전입자 A는 휘지 않고 직선운동을 계속하나, 하전입자 A와 다른 에너지 $E_B(=E_A+{\delta}E)$나 질량 $m_B$ $(=m_A+{\delta}m)$을 가지는 하전입자는 휘게 되며, 그 휘는 정도는 ${\delta}E$${\delta}m$에 비례하게 된다. 이 현상을 이용하여 다양한 종류의 에너지 또는 질량 분석기가 독일, 미국, 일본 등의 분석기기 선진국에서 개발되어 왔고, 전자현미경의 이미지 필터로도 활용되고 있으며, 통상 EXB 필터 또는 발명자의 이름을 딴 Wien 필터로 불리어지고 있다. $E{\times}B$ 필터는 일반적인 하전입자빔 렌즈와 다른 광학특성을 가진다. 예를 들면 3차 이상의 기하 수차만 가지는 일반 렌즈와는 달리 $F_B$, $F_E$ 전자기력에 의해 다양한 2차 기하 수차를 가지게 되며, 초점거리 등의 1차 광학 특성도 일반 렌즈와는 다른 경향을 보여준다. 본 발표에서는 $E{\times}B$ 필터의 전후로 각각 6극자+4극자를 조합시킨 보정기를 배치시켜 필터의 에너지 분해능의 성능을 향상시킬 수 있음을 빔 궤도 방정식을 분석적으로 계산하여 보여준다. 위 에너지 필터 구성에서 4극자는 1차 광학 특성을 조정하는 역할을 하며 6극자는 2차 수차를 줄여주는 역할을 한다. 수치해석을 통해서는 6극자+4극자를 조합시킨 보정기와 $E{\times}B$ 필터의 좀더 정확한 전극 전압 등의 제어 수치를 추출하고, 빔 궤도 방정식 분석을 통한 수차 보정 알고리즘이 유효함을 보여준다.

  • PDF

Optical Analysis for Designing a Planar Solar Concentrator Based on Light Guide System (광도파 원리의 평면형 태양광 집광기 설계를 위한 광학해석)

  • Han, Jong-Ho;Kim, Jong-Sun;Hwang, Chul-Jin;Yoon, Kyung-Hwan;Kang, Jeong-Jin
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
    • /
    • v.36 no.1
    • /
    • pp.9-16
    • /
    • 2012
  • Recently, an optics-based concentrator for solar concentration has been a key issue in development of photovoltaic systems. In the present study, a new, simple, easily producible planar concentrator based on a light guide system is proposed. In this device, solar light is concentrated by microprism optical patterns guiding the light, mainly through total reflection and refraction. The main design variables of the concentrator are the geometric concentration ratio ($R_c$) and the ${\Theta}_1$ and ${\Theta}_2$ of the microprism pattern. Ray tracing was simulated using commercial software, SPEOS, and the optical efficiencies of the light guide solar concentrator were predicted in each case. The predicted maximum optical efficiencies are 65.60%, 54.78%, and 46.78%, respectively, for $R_c$ values of 4, 5, and 6. The variation of the optical efficiencies according to ${\Theta}_1$, ${\Theta}_2$, and the incline angle of the incident light were predicted.

E-Polarized Reflection Coefficient by a Tapered Resistive Strip Grating with Zero Resistivity at Strip-Edges (저항띠의 양 끝에서 0으로 변하는 저항률을 갖는 주기격자에 의한 E-분극 반사계수)

  • 윤의중;양승인
    • The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
    • /
    • v.19 no.2
    • /
    • pp.331-337
    • /
    • 1994
  • The scatting problem by E-polarized plane wave with obique incidence on a tapered resistive strip grating with zero resistivity(perfectly conducting) at strip-edges is analyzed by the method of moments in the spectral domain. Then the induced surface current density on the strip is expanded in a series of Chebyshev polynomials of the second kind. The expasion coefficients are calculated numerically in the spectral domain, the numerical results of the geometric-optical reflection coefficient for the tapered resistivity in this paper are compared with those for the existing uniform resistivity. And the position of sharp variation points in the magnitude of the geometric-optical reflection coefficient can be moved by varying the incident angle and the strip spacing, It is found out that these sparp variation points are due to the transition of higher mode between the propagation mode and the evanescent mode.

  • PDF

Vergence control of parallel stereoscopic camera using the binocular disparity information (시차정보를 이용한 수평이동방식 입체영상 카메라의 주시각제어)

  • Kwon, Ki-Chul;Kim, Nam
    • Korean Journal of Optics and Photonics
    • /
    • v.15 no.2
    • /
    • pp.123-129
    • /
    • 2004
  • This paper concerns auto vergence control of a parallel stereoscopic camera through geometrical analysis. In the construction of a parallel stereoscopic camera, we experimentally demonstrated linear relationship between the key object distance and the amount of vergence control. And we proposed a vergence control system for the stereoscopic camera using binocular disparity information. For the real-time calculation of disparity information, the Hybrid Cepstral filter algorithm, with input data acquired from the vertical projection data and from the down sampling data from the source images, was proposed for precision and high speed processing. With the disparity information algorithm and the vergence control of the parallel stereoscopic camera system, the stereoscopic images become more like those of the human eye.

Advanced shape from focus (SFF) method by usng curved window (곡면 윈도우를 이용한 shape from focus(SFF) 방법의 개선)

  • 윤정일;최태선
    • Proceedings of the IEEK Conference
    • /
    • 1998.06a
    • /
    • pp.777-780
    • /
    • 1998
  • 물체의 3차원적인 정보를 복원하는 일은 그 정보의 일련된 이용에 있어서 중요한 문제이다. 이를 위해 여러가지 방법들이 연구되고 있으며, 그 중 shape from focus(SFF) 방법은 영상의 초점이 맞는 렌즈의 위치를 찾아내어 렌즈 공식에 의해 초점이 맞는 부분의 거리 정보를 구할 수 있다. 기존의 이 방법은 초점이 맞았는지의 정도를 계산하기 위한 focus measure 값들을 카메라의 광학축에 수직인 단순한 평면으로 가정하여 그 합이 최대가 되는 위치를 찾아내었다. 이를 개선하기 위해서 focused image surface(FIS) 개념이 연구되었고 그로 인해 더욱 나아진 결과를 얻었다. 물체의 FIS는 카메라 렌즈에 의해 초점이 맞게된 물체의 점들의 집합으로 이루어진 공간상의 면이다. 기하광학에 의해 물체의 모양과 FIS 상이에는 일대일 대응 관계가 있고 FIS의 형태를 구하는것이 결국은 물체의 모양을 복원하는것이다. FIS 개념을 처음 적용할 때는 물체의 모양이 부분적으로 영상 탐지기(image detector)와 같은 평면으로 가정하여 3차원 공간상에서 가능한 모든 방향의 평면에 대한 focus measure를 구하여 그 값이 최대가 되는 렌즈의 위치를 구하였다. 그러나 이러한 방법은 focus measure의 합이 정사각형의 윈도우에서 계산되기 때문에 곡면으로 이루어진 실제 물체에서는 오차르 ㄹ가지게 된다. 본 논문에서는 이와는 달이 평면이 아닌 곡면에 대한 focus measure의 합이 최대가 되는 렌즈의 위치를 구하여 이전의 방법들 보다 정확한 복원이 가능함을 보인다.

  • PDF

Underwater Acoustic Image Classification of a Cylindrical object using the Hough Transformation and Nth Degree Polynomial Interpolation (N차 다항식 보간법과 허프 변환을 이용한 원통형 수중 물체 영상 식별)

  • Jeong, Euicheol;Shim, Taebo;Kim, Jangeun
    • Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers
    • /
    • v.50 no.2
    • /
    • pp.193-200
    • /
    • 2013
  • In this paper, underwater acoustic image classification of a cylindrical object using the Hough transformation is proposed. Hough transformation is often used to classify a cylindrical object in the optical systems. However, it is difficult to apply to the underwater acoustic image system because of lower resolution and noisier underwater environments. Thus, the cylindrical object was modeled and its geometric depth(GD) pixels were restored in order to make them suitable for the Hough transformation by using moving average filter and a polynomial interpolation method. As a result, restored GD pixels are similar to original ones and test results show high performance in classification.