플라스틱 기판 사용을 위해 기판을 가열하지 않고 증착한 $SiO_2$ 절연막의 플라즈마 처리 효과
(The effect of plasma treatment on the $SiO_2$ film fabricated without substrate heating for flexible electronics)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2008년도 제39회 하계학술대회
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- pp.1203-1204
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- 2008