• Title/Summary/Keyword: 기체 방전

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Glow discharge cleaning 법에 의한 stainless steel의 outgassing rate 감소

  • 임종연;이상균;서인용;최상철;홍승수;신용현;정광화
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.40-40
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    • 1999
  • 가속기나 토카막과 같은 거대한 진공 장치의 용기 내벽을 청정화 하기 위해서는 용기 전체의 열처리(굽기, Baking)와 글로우 방전(Glow discharge) 법을 병행하여 사용한다. Baking은 일반 기체(N2, O2, 그리고 CO2)와 물(H2O)의 탈착에 효과적이고, Glow discharge cleaning은 탄소(Carbon-based)와 산소(Oxygen-based) 화합물의 탈착에 효과적이다. 특히 Glow discharge cleaning의 경우에는 전극의 모양, 진공 용기의 재질과 모양, 전극간의 거리, 사용되는 반응 기체의 압력 등에 따라 그 효과에 큰 차이가 있으므로 다각적인 연구가 필요하다. 본 연구에서는 그림 1과 같이 시험용 스테인레스(AISI 304와 AISI 316LN) 진공 용기를 설치하고, 시험 용기의 한쪽은 배기 용기와 oriffice로, 다른 편은 불순물의 정성.정량 분석을 위해 RGA(Residual gas analyser) 용기와 oriffice로 연결하였다. 전체 시스템 중에서 배기 부분과 분석 부분은 15$0^{\circ}C$에서 24시간 가열하여 전체의 기저 진공도를 1$\times$10-8Torr로 하였다. 기저 진공도의 용기에 고순도의 반응기체 (He, Ar, Ar+He, Ar+H2, Ar+N2 등)를 주입한후, DC 전압(0.8~1.5kV)을 변화하며 글로우 방전의 최적조건을 찾았다. 방전 동안 시험용 용기에서 방출되는 반응 기체 이외의 기체를 RGA로 측정하였고 외부에 Thermocouple을 여러곳에 장착하여 온도 변화를 측정하였다. 이상의 결과로부터 진공 용기 표면적으로부터의 불순물 탈착(desorption)과 불순물 분석, 플라즈마와 내벽의 상호작용등에 대한 결론을 얻을 수 있었다. 또한 Baking과 Glow discharge cleaning을 동시에 수행하여 Baking 온도의 낮춤에 따른 영향 평가도 수행하였다.

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Capacitively Coupled Radio Frequency Discharge System for Excitation of Gas Laser (기체레이저의 여기를 위한 용량결합고주파(ccrf) 방전시스템)

  • Choi, Sang-Tae
    • Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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    • v.20 no.1
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    • pp.19-26
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    • 2006
  • The ccrf-discharge has in comparison with the hollow-cathode discharge and DC-discharge some advantages: Simple design of the tube and homogeneous plasma. The ccrf-discharge was researched with the goal, to use on the excitation of the gas laser. In this work a rf-exciting system was planned and developed. With it a homogeneous discharge was produced in the cw operation. To supply the rf-power with the frequency 13.56[MHz] effectively in the discharge, laser tube were used with inner diameter of 5[mm] and the specially developed rf-electrodes. A matching circuit was composed also. Thereby the impedance of the discharge tube was adjusted to the 50[$\Omega$] output resistance of the rf-source.

A Study on the Characteristics of AC Floating Discharge in the PDPs (PDP의 AC Floating 방전특성에 관한 연구)

  • 이재희;손현성;염정덕
    • Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.49-53
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    • 2003
  • 본, 연구는 새로운 기체방전 AND gate를 AC 3전극 면방전 PDP에 적용하기 위한 AC-DC floating 방전을 사용한 어드레스 구동특성을 해석한 것이다. 실험결과 floating 방전을 이용하여 어드레스 방전을 개시시킬 수 있었으며 표시방전까지 용이하게 동작시킬 수가 있었다. 또한 floating 방전과 타이밍을 동기시켜 보조전극에 프라이밍 방전을 일으켜 줌으로써 floating 방전 공간에 공간전하를 충분히 공급해 줌으로써 데이터 전압을 100V 정도까지 낮출 수 있었으며 어드레스 동작 마진도 100V 정도까지 얻을 수가 있었다.

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Properties of Longitudinal & Transverse Discharge in a Tubular Fluorescent Lamp (직관형 형광램프의 종단방전과 횡단방전의 특성)

  • Chung, J.Y.;Kim, J.H.;Jeong, J.M.;Jin, D.J.;Kim, H.C.;Bong, J.H.;Hwang, H.C.;Lee, M.S.;Koo, J.H.;Cho, G.S.
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.17 no.4
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    • pp.322-330
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    • 2008
  • The properties of discharge, luminance, and spectroscopy are investigated in a longitudinal and transverse discharge fluorescent lamps with tube of outer diameter 4 mm. The sample lamps are prepared to be three kinds of gas composition such as mercury lamps of Ne(95%)+Ar(5%)+Hg(2 mg), the mercury-free lamps of Xe 100% and Ne+Xe(4%). The gas pressure is in the range of $5{\sim}300\;Torr$. In the mercury lamps, the longitudinal discharge having a positive column is high in luminance and efficiency, while the transverse discharge is no luminance at all. In the Xe-lamps, the transverse discharge shows relatively good in efficiency as compared with the longitudinal discharge which has a high discharge voltage and a low luminance and efficiency. In the transverse discharge of relatively high efficiency, a pure Xe(100%) gas discharge has a higher efficiency than the mixture gas of Ne+Xe(4%). Through these experiments, the properties of mercury and xenon lamps are verified. In the mercury lamps, the longitudinal discharge of tubular fluorescent lamps is high in luminance and efficiency, while the transverse discharge of flat panel fluorescent lamps are low in luminance efficiency. In the mercury-free lamps, the flat fluorescent lamps of transverse discharge having a high pressure ${\sim}100\;Torr$ with the pure Xe-gas are verified to be suggestable.

A Study on the Discharge Characteristics with New Penning Gas Mixture for AC plasma display panel (AC plasma display panel의 페닝 방전가스 혼합비 변화에 따른 방전특성 연구)

  • 박문필;이승준;이재경;황호정
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.11 no.2
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    • pp.127-134
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    • 2002
  • Recently, Plasma display panel(PDP) has been in the spotlight as one of the next generation flat-panel-display device. The luminance and luminous efficiency improvement is the hot issues for making a plasma display into a large flat panel device. In this paper, We suggest a new penning gas mixture, in order to find the optimum mixture gas in plasma display panel. The optimum gas composition has been found by the partial pressure of inert gases(such as Af and Kr added to matrix of He(70%)-Ne(27%)Xe(3%) and Ne(96%)-Xe(4%)). The influences of Ar or Kr addition to Ne(96%)-Xe(4%) and He(70%)-Ne(27%)-Xe(3%) mixture gases are experimentally investigated for AC Plasma Display Panel. When rare As(0.01%-0.03%) or Kr(0.01%-0.03%) is added Ne-Xe and He-Ne-Xe mixture gases, the luminance increases over 10%-20% and luminous efficiency increases over 10%-20% at 200 Torr. It is sure that luminance and efficiency are improved by Penning effect. Also, This influence of Penning effect is shown by increased wall charge(10%-25%). In addition to the result, firing voltage and minimum sustain voltage was approximately decreased by 2V-3V.

Analysis of Corona Discharge Characteristics according to Flue Gas Composition (배기가스 조성에 따른 코로나 방전특성의 해석)

  • 정재우;조무현;남궁원
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 2000.11a
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    • pp.249-250
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    • 2000
  • 최근에 환경 오염물질의 제거를 위한 코로나 방전기술이 큰 관심을 끌고 있으며 재래적인 기술들을 능가하는 여러 가지 장점으로 인해 강도 높은 연구들이 이루어지고 있다. 전기방전을 이용하는 공정에서 방전특성은 공정의 효율과 에너지 소모량에 중요한 영향을 미친다. 공정에 따라서 요구되는 방전특성이 다르며, 효율적인 공정이 되기 위해서는 최적의 방전특성에 대한 규명이 이루어져야 한다. 방전에 의해 생성되는 플라즈마 상태는 공정의 전기적 변수들, 반응기의 기하학적 형태, 유입기체의 조성 등 다양한 요소들에 의해 영향을 받으므로 특성에 대한 규명이 매우 어렵다. (중략)

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Spectroscopy of Visible Light Emitted from Plasma Occurred by Pulse Discharge (펄스형 방전플라스마에서 발생하는 가시광선의 분광특성 연구)

  • Choi, Woon Sang
    • Journal of Korean Ophthalmic Optics Society
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    • v.3 no.1
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    • pp.27-31
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    • 1998
  • We investigated visible light radiated from Plasma focus device by time-resolved analyzed method and time-integrated analyzed method. Plasma focus consisted of two coaxial electrodes is a device that translated from electric energy of maximum 40 kV/20 kJ in capacitor banks into visible light by electric discharge. Spectral analysis is using Monochromator(f =0.5m). Time-resolved spectrum is analyzed with a oscilloscope the light pulse of constant wavelength and time-integrated spectrum does with densitometer the film which developed a constant range of wavelength. The optimum condition of visible emission was that the discharging voltage was 17kV and the gas pressure 0.5 torr Ar.

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A Quasi Two-Dimensional Model for Gas Discharge Simulation Using FE-FCT Method (기체 방전의 시뮬레이션을 위한 FE-FCT를 이용한 준 2차원적 수치 모델)

  • Koh, Wook-Hee;Park, In-Ho
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.17 no.6
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    • pp.511-517
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    • 2008
  • A quasi two-dimensional model for numerical simulation of gas discharge is presented, based on the finite-element flux-corrected transport method. A one-dimensional continuity convection-diffusion equation coupled Poisson's equation is solved to calculate the charge density variation and the electric field is evaluated by the classical disk method. Results calculated for various benchmark problems verify the accuracy of the proposed model and illustrate its performance. This model has been applied to a streamer simulation, and the results are shown to agree well with previously published results.

Radial Density Distributions in the Positive Column of a Strongly Modulated Mercury-rare gas AC Discharge (변조된 수은-희유기체 교류방전의 양광주 내의 반경방향 입자분포)

  • 이진우;여인선
    • The Proceedings of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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    • v.7 no.2
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    • pp.31-35
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    • 1993
  • The radial density distributions of the positive column of strongly modulated low -pressure gas discharges in mercury - rare gas mixtures at 10 tom pressure have been studied theoretically. The current was modulated inusoidally with a modulation depth of 50%. Calculations have shown that the radial profile of the excited atoms is ditferent form 0th Bessel function $J_0$(2.4r/R) and the invertion of the radial distribution of the excited atom can occur at some frequency. The hybrid method of FDM and 2nd order Runge-Kutta meth od is used for solving differenzial equations.

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A Study of the relationship between Discharge Characteristic and Xe gas contents (방전특성과 Xe gas와의 관계 분석 연구)

  • Lee, Young-Min;Lee, Don-Kyu
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2011.07a
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    • pp.1542-1543
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    • 2011
  • 휘도와 효율을 증가시키기 위해 Xe의 함유량을 높이는 연구가 계속해서 수행되고 있지만, Xe이 증가함에 따라 방전전압 또한 높아지는 문제는 여전히 해결하지 못하고 있는 실정이다. 본 논문 에서는 Xe gas 가 첨가됨에 따른 기체 방전의 특성을 실험 및 이차원 시뮬레이션을 통해 분석해 보았다. 방전 셀 내부에 Xe 가스가 첨가됨에 따라 방전의 휘도와 효율이 증가하게 되는 메커니즘을 분석하고 그에 따라 야기되는 방전전압의 증가 원인들을 고찰해 보았다.

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