Preparation of High Quality Cu Thin Film using Linear Ion Source and Plasma Assisted Magnetron Sputtering Method (선형이온소스 및 플라즈마 보조 마그네트론 스퍼터링을 통한 고품위 Cu 박막 형성 기술)
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- Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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- 2015.05a
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- pp.41-42
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- 2015