• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2009.06a
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• pp.260-260
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• 2009

초박형 절연막은 현재 다양한 전자소자의 제작과 향상을 위하여 활용되고 있으며, 일반적인 화학 기상 증착 방법으로는 균일도를 확보하기 어려운 문제점을 가지고 있다. 본 논문에서는 디스플레이의 구동소자로 활용되는 박막 트랜지스터의 특성 향상과 비휘발성 메모리 소자의 터널링 박막에 응용하기 위하여 초박형 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 증착과 이의 특성을 분석하였다. 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 실리콘 산화막에 질소가 주입되어 있는 형태로 실리콘 산화막과 실리콘 계면상에 존재하는 질소는 터널링 전류와 결함 형성을 감소시키며, bulk 내에 존재하는 질소는 단일 실리콘 산화막에 비해 더 두꺼운 박막을 커패시턴스의 감소없이 이용할 수 있는 장점이 있다. 플라즈마 처리 기법을 이용하였을 경우에는 초박형의 균일한 박막을 얻을 수 있으며, 본 연구에서는 이산화질소 플라즈마를 이용하여 활성화된 질소 및 산소 라디칼들이 실리콘 계면을 개질하여 초박형 실리콘 옥시나이트라이드 박막을 형성활 수 있다. 플라즈마 처리 시간과 RF power의 변화에 따라 형성된 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 두께 및 광학적 특성은 엘립소미터를 통하여 분석하였으며, 전기적인 특성은 금속-절연막-실리콘의 MIS 구조를 형성하여 커패시턴스-전압 곡선과 전류-전압 곡선을 사용하여 평가하였다. 이산화질소 플라즈마 처리 방법을 사용한 실리콘 옥시나이트라이드 박막을 log-log 스케일로 시간과 박막 두께의 함수로 전환해보면 선형적인 증가를 나타내며, 이는 초기적으로 증착률이 높고 시간이 지남에 따라 두께 증가가 포화상태에 도달함을 확인할 수 있다. 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 초기적으로 산소의 함유량이 많은 형태의 박막으로 구성되며, 시간의 증가에 따라서 질소의 함유량이 증가하여 굴절률이 높고 더욱 치밀한 형태의 박막이 형성되었으며, 이는 시간의 증가에 따라 플라즈마 챔버 내에 존재하는 활성종들은 실리콘 박막의 개질을 통한 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 두께 증가에 기여하기 보다는 형성된 박막의 내부적인 성분 변화에 기여하게 된다. 이산화질소 플라즈마 처리 시간의 변화에 따라 형성된 박막의 정기적인 특성의 경우, 2.3 nm 이상의 실리콘 옥시나이트라이드 박막을 가진 MIS 구조에서 accumulation과 inversion의 특성이 명확하게 나타남을 확인할 수 있다. 아산화질소 플라즈마 처리 시간이 짧은 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 경우 전압의 변화에 따라 공핍영역에서의 기울기가 현저히 감소하며 이는 플라즈마에 의한 계면 손상으로 계면결합 전하량이 증가에 기인한 것으로 판단된다. 또한, 전류-전압 곡선을 활용하여 측정한 터널링 메카니즘은 2.3 nm 이하의 두께를 가진 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 직접 터널링이 주도하며, 2.7 nm 이상의 두께를 가진 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 F-N 터널링이 주도하고 있음을 확인할 수 있다. 즉, 2.5 nm 두께를 경계로 하여 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 터널링 메카니즘이 변화함을 확인할 수 있다. 결론적으로 2.3 nm 이상의 두께를 가진 실리콘 옥시나이트라이드 박막에서 전기적인 안정성을 확보할수 있어 박막트랜지스터의 절연막으로 활용이 가능하며 2.5 nm 두께를 경계로 터널링 메커니즘이 변화하는 특성을 이용하여 비휘발성 메모리 소자 제작시 전하 주입 및 기억 유지 특성을 확보를 위한 실리콘 옥시나이트라이드 터널링 박막을 효과적으로 선택하여 활용할 수 있다.

• Journal of the Korean earth science society
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• v.32 no.2
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• pp.161-169
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• 2011

Focal mechanism solutions in the central and western areas of the Korean Peninsula (36-37.8$^{\circ}N$, 126-128$^{\circ}E$) were obtained from the analysis of the recent seventeen earthquakes (M${\geq}$2.2) which occurred from January, 2005 to May, 2010. The spatial differences between the epicenters recalculated by this study and those announced by the Korea Meteorological Administration are less than $0.03^{\circ}$, indicating a small deviation. Focal mechanism solutions were obtained from the analysis of P wave polarities, SH wave polarities and SH/P amplitude ratios. The focal mechanism solutions show dominant strike-slip faulting or oblique slip faulting with strike-slip components. The P-axes trends are mainly ENE-WSW or E-W directions. The direction of fault plane and auxillary fault plane with NNE-SSW and WNW-ESE are almost parallel to the general trends of lineaments in the study area. The results also show that focal mechanism solutions and the main axis of stress field in the Kyonggi massif and Okchon belt are almost same.

• Journal of Korea Water Resources Association
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• v.44 no.2
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• pp.97-107
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• 2011

For the purpose of enhancing usability of NWP (Numerical Weather Prediction), the quantitative precipitation prediction scheme was suggested. In this research, precipitation by leading time was predicted using 3-hour rainfall accumulation by meso-scale numerical weather model and AWS (Automatic Weather Station), precipitation water and relative humidity observed by atmospheric sounding station, probability of rainfall occurrence by leading time in June and July, 2001 and August, 2002. Considering the nonlinear process of ranfall producing mechanism, the ANN (Artificial Neural Network) that is useful in nonlinear fitting between rainfall and the other atmospheric variables. The feedforward multi-layer perceptron was used for neural network structure, and the nonlinear bipolaractivation function was used for neural network training for converting negative rainfall into no rain value. The ANN simulated rainfall was validated by leading time using Nash-Sutcliffe Coefficient of Efficiency (COE) and Coefficient of Correlation (CORR). As a result, the 3 hour rainfall accumulation basis shows that the COE of the areal mean of the Korean peninsula was improved from -0.04 to 0.31 for the 12 hr leading time, -0.04 to 0.38 for the 24 hr leading time, -0.03 to 0.33 for the 36 hr leading time, and -0.05 to 0.27 for the 48 hr leading time.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2009.05a
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• pp.337-341
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• 2009

지구의 평균기온이 지속적으로 상승함에 따라 지구온난화로 인한 기후변화는 지구에 분포되어 있는 극지방의 빙하들을 녹임으로써 지구의 물 순환시스템을 교란시켜 집중호우와 태풍, 가뭄, 낙뢰 등 예측을 불허하는 극한 기상변화를 발생시키고 있다. 기후변화로 인해 바다의 수온이 상승함에 따라 빙하가 녹거나 바닷물이 팽창하여 해수면이 상승하게 되는 바, 1990년 대비 2000년대에 동해바다에서는 상승률이 0.07cm/yr이던것이 0.20cm/yr로 나타났으며, 서해바다에서는 0.14cm/yr이던 것이 0.18cm/yr로 나타났고, 남해바다에서는 0.32cm/yr이던 것이 0.34cm/yr 로 평균상승률이 1990년대에 비해 증가하는 것으로 관측되었다. 본 연구에서는 기후변화로 인한 자연재해 피해를 최소화하기 위해 소방방재청의 현행 업무를 중심으로 재해를 예방하기 위한 풍수해 업무별 추진해야할 연구과제들을 조사 제시하고자 하였다. 기후변화에 따른 재난분야의 정책과 관련된 연구적인 측면의 분야를 제시하기 위하여 최근에 나타난 자연재난 피해현상에 대한 원인 및 대책을 기초로 하여, 재난관리분야에서 추진하고 있는 업무를 계승 발전시킴으로써 기후변화로 인한 피해를 예방 또는 최소화 할 수 있는 방향으로 제시하고자 하였다. 기후변화에 따른 소방방재청의 풍수해 재난관리 분야 종합계획을 제시하기 위해 본 연구에서는 기후변화 관련 최근 국내 외의 동향을 먼저 살펴보았다. 1977년부터 2006년까지 우리나라 최근 30년간의 재해연보에 제시되어 있는 시설물별 피해액을 조사하여 시설물 중 피해액이 많은 순으로 주요피해 시설물을 파악하였다. 여기에서 주요피해 시설물로는 하천, 도로, 소하천, 수리, 농경지, 사방 등의 순으로 나타났다. 이러한 주요시설물에 대한 피해현황을 파악하기 위하여 대규모 풍수해 피해에 대한 현황, 원인분석 및 대책이 제시되어 있는 각종 피해조사 보고서, 연구보고서 및 전문 학술지 기사들을 수집 분석하였으며, 수집된 자료를 토대로 각각의 재해피해현상에 대하여 시설물의 피해현상, 원인 및 대책을 분류하여 분석하고자 한다. 재난관리 분야 중 우수유출저감시설 관련 제시된 업무방향을 보면 침투 저류를 위한 우수유출저감시설의 개발연구, 침수위험지구의 지정기준 등급별 방재대책 방안연구, 유역별 재해위험 저감능력의 평가기준 개발, 단위구역별 우수유출저감시설의 확보기준 연구, 우수유출저감시설의 국내 표준화 방안 연구, 우수유출저감시설 설치자에 대한 인센티브 도입방안 연구, 피해지역의 매입을 통한 저류지화 방안 연구, 우수유출저감시설 설치효과의 교육 홍보 및 우수유출저감시설의 국제 표준화 기준 제정 추진 등이 필요할 것으로 조사되었다. 여기에서 제시된 재난관리 업무분야별 많은 연구과제들이 향후 연구할 수 있는 재원확보로 이어져 재난관리의 업무발전에 도움이 될 수 있도록 하여야 하겠으며, 주요 결론으로는 다음과 같다. 첫째, 우리나라는 기후변화에 대해서는 기존에 소극적으로 대응하였으나 기후변화대책기획단을 만들어 적극적으로 대처하고 있으므로 기후변화와 관련된 여러분야가 활성화 될 것으로 판단된다. 둘째, 국외의 기후변화 대응사례에서 보면 시설물의 규모를 볼 때 큰 규모의 예산을 투입하는 것으로 판단되는바, 이는 향후의 불확실한 기후변화에 대비하는 선진적인 판단으로 검토되어야 할 것이다. 셋째, 풍수해 관련 주요업무 8가지에 대하여 추진해야할 업무방향 48개를 선정 제시하였다.

• The Korean Journal of Air & Space Law and Policy
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• v.25 no.2
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• pp.201-230
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• 2010

With starting the industry of automobiles, railroads and mining, the legal principle of "erlaubtes Risiko" that began as a means of maintaining the revitalized world for the cause of social utility has interpreted as a system of negligence theory in the precedent while it has gained academic recognition. Yet in aircraft operation, which is one area of high technology, CAT which can be the cause of some accidents or events or thunderstorm with turbulence is an abnormal meteorological phenomenon with frequent change that cannot be monitored perfectly just as some patient with unstable condition and that cannot be ascertained about not only the possibility of its happening but also the degree of how big the accident is. Yet the use of jet current which has the possibility of CAT can be an act of high social utility where we not only drastically cut down on time fuel also guarantee the arrival and departure on schedule when landing in airports that have thunderstorm which does not appear as fatal risk. Although we could take some measures where we can predict and avoid the potential risk, easing the regular duty of care is necessary by applying the legal principles of permitted risk concerning the incidents and accidents caused by operating in areas with the risk of turbulence or CAT with the low probability by the reason of social utility.

• Journal of Plant Biotechnology
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• v.47 no.2
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• pp.157-163
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• 2020

Calmodulin (CaM) mediates cellular Ca²⁺ signals in the defense responses of plants. We previously reported that GmCaM-4 and 5 are involved in salicylic acid-independent activation of disease resistance responses in soybean (Glycine max). Here, we generated a GmCaM-4 cDNA construct under the control of the cauliflower mosaic virus (CaMV) 35S promoter and transformed this construct into potato (Solanum tuberosum L.). The constitutive over-expression of GmCaM-4 in potato induced high-level expression of pathogenesis-related (PR) genes, such as PR-2, PR-3, PR-5, phenylalanine ammonia-lyase (PAL), and proteinase inhibitorII (pinII). In addition, the transgenic potato plants exhibited enhanced resistance against a bacterial pathogen, Erwinia carotovora ssp. Carotovora (ECC), that causes soft rot disease and showed spontaneous lesion phenotypes on their leaves. These results strongly suggest that a CaM protein in soybean, GmCaM-4, plays an important role in the response of potato plants to pathogen defense signaling.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.84-84
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• 1999

최근 큰 잔류분극을 가진 강유전체 Pb(Zr, Ti)O3 박막을 이용한 비휘발성 기억소자의 연구가 활발히 진행되고 있다. 그러나 Pb(Zr, Ti)O3 박막을 비휘발성 기억소자로 응용하는 경우 분극피로(polarization fatigue), imprint, 누설전류 등의 문제점이 나타나는 것으로 알려져 있다. 특히 분극반전 횟수가 증가할수록 잔류분극이 감소하는 분극피로 현상은 비휘발성 기억소자의 응용에 있어서 치명적인 장애가 되므로 기억소자의 실용화를 위해서는 분극피로 현상의 개선이 무엇보다 중요하다. 본 연구에서는 Pb(Zr, Ti)O3 강유전체 박막의 분극피로 현상을 규명하고 개선하기 위해서 다음과 같은 세가 실험적 방법으로 접근하였다. 먼저 Pt와 금속산화물인 LaNiO3을 이용하여 상·하부 전극을 달리하여 제조한 축전기에 대해서 분극피로 특성을 관찰하고 이로부터 분극피로 현상에 대한 전극의 효과를 조사하였다. 여기서 금속산화물인 LaNiO3 박막과 Pt 박막은 r.f. 스퍼트 법으로 증가하였으며 Pb(Zr, Ti)O3 박막은 LaNiO3/Si(100)/와 Pt/Ti/SiO2/i(100) 기판위에 졸겔법으로 제조하였다. 다음으로 분극피로된 박막의 상부전극에 극성이 다른 직류전압을 인가해주었을 때 나타나는 분극회복 현상을 광범위하게 관찰하였으며, 특히 직류전압의 극성에 따라 비대칭적인 분극회복 특성을 보였다. 마지막으로 이와 같은 직류전압에 대한 비대칭적인 분극회복현상에 착안하여 양과 음의 방향으로 바이어스된 스윗칭 펄스를 인가하여 분극피로 특성을 조사한 결과 비대칭적인 분극피로 현상을 관찰할 수 있었다. 이와 같은 Pv(Zr, Ti)O3 박막의 분극피로와 회복의 비대칭적인 현상은 분극피로 현상의 기구를 밝히는 중요한 근거가 되었으며, 본 연구에서는 하부 계면에서의 산소빈자리의 역할로 분극피로 현상을 모형화하였다.식각하기 시작하였으며, 19.5J/cm2에서 유리기판의 rudraus(격벽 두께 130$\mu\textrm{m}$)까지 식각하였다. 대한 정보(RDF)는 명확하게 얻을 수 있었다.nospec과 SEM으로 관찰하였다. 또한 Ge 함량 변화에 따른 morphology 관찰과 변화 관찰을 위하여 AFM, SEM, XRD를 이용하였으며, 이온주입후 열처리 온도에 따른 활성화 정도의 관찰을 위하여 4-point probe와 Hall measurement를 이용하였다. 증착된 다결정 SiGe의 두게를 nanospec과 SEM으로 분석한 결과 Gem이 함량이 적을 때는 높은 온도에서의 증착이 더 빠른 증착속도를 나타내었지만, Ge의 함량이 30% 되었을 때는 온도에 관계없이 일정한 것으로 나타났다. XRD 분석을 한 결과 Peak의 위치가 순수한 Si과 순수한 Ge 사이에 존재하는 것으로 나타났으며, ge 함량이 많아짐에 따라 순수한 Ge쪽으로 옮겨가는 경향을 보였다. SEM, ASFM으로 증착한 다결정 SiGe의 morphology 관찰결과 Ge 함량이 높은 박막의 입계가 다결정 Si의 입계에 비해 훨씬 큰 것으로 나타났으며 근 값도 증가하는 것으로 나타났다. 포유동물 세포에 유전자 발현벡터로써 사용할 수 있음으로 post-genomics시대에 다양한 종류의 단백질 기능연구에 맡은 도움이 되리라 기대한다.다양한 기능을 가진 신소재 제조에 있다. 또한 경제적인 측면에서도 고부가 가치의 제품 개발에 따른 새로운 수요 창출과 수익률 향상, 기존의 기능성 안료를 나노(nano)화하여 나노 입자를 제조, 기존의 기능성 안료에 대한 비용 절감 효과등을 유도 할 수 있다. 역시 기술적인 측면에서도 특수소재 개발에 있어 최적의 나노 입자 제어기술 개발 및 나노입자를 기능성 소재로 사용하여 새로운 제품의 제조와 고압 기상 분사기술의 최적화에

• Resources Recycling
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• v.15 no.5 s.73
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• pp.17-25
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• 2006

Al-MCM-48 was used as a catalyst to decompose high density polyethylene(HDPE). Catalytic activity of Al-MCM-48 was compared with those of Al-MCM-41, Beta, and ZSM-5. Catalytic decomposition rate over Al-MCM-48 was much higher than at of non-catalytic pyrolysis only. Compared to other catalysts, Al-MCM-48 revealed the little higher activation energy value. The progressive deactivation behavior of the catalysts has also studied. ZSM-5 and Al-MCM-48 showed slower deactivation rates than Al-MCM-41 and Beta. Pyrolysis coupled with gas chromatographic separation and flame ionization detection (Py-GC/ FID) was also performed to assess the characteristics of pyrolysis products. ZSM-5 gave a higher fraction of gaseous products ($C_1-C_4$). Al-MCM-41 and Beta produced mainly $C_5-C_{12}$ products. The selectivity to oil product ($C_5-C_{22}$) obtained with Al- MCM-48 is higher an that with the other catalysts employed in this study.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.10 no.6
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• pp.385-391
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• 2000

A kinetic study on the preparation of iron powder by hydrogen reduction of ferrous chloride vapor has been carried out both experimentally and theoretically. For the preparation of iron powder, ferrous chloride was vaporized and transported to a reaction zone by Ar gas used as carrier. Ferrous chloride vapor and hydrogen were mixed and subject to a reduction reaction at high temperature to produce iron powder and HCI gas. Iron powder was collected with organic solvent at the end of reaction zone and HCI gas was also absorbed in a caustic soda solution to determine the conversion ratio of ferrous chloride. For the development of rate equations, a 1st-order reaction and equilibration of ferrous chloride vapor with Ar gas were assumed. According to the results, the rate constant, k could be expressed as $k=7,879exp(-53,840/RT)\textrm{dm}^3/mole.sec$ and the activation energy was found to be 53.84kJ/mole. From TEM observation, the particle size distribution of iron powder produced was found to be in the range of $0.1~1.0{\mu\textrm{m}}$ which was not significantly influenced by reaction temperature or gas flow rates.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.10 no.2
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• pp.252-258
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• 1999

Tetramethyl orthosilicate (TMOS) was obtained by the direct synthesis of methanol with metallic silicon including copper compound as a catalyst and zinc compound as a promoter. The effects of the preheating temperature and the preparation method of the contact mass on TMOS synthesis were investigated. The composition effects of the contact mass which was composed of metallic silicon with copper catalyst and various metallic halide promoters including Zn, Sn or Cd compound were studied also. The best performance on TMOS synthesis was observed on a mixed bed reactor containing metallic silicon preheated with CuCl as a catalyst and $ZnCl_2$ as a promoter. When Cu/Si = 7 wt %, Zn/Cu = 7 wt % was mixed in a slurry phase and activated into contact mass at $380^{\circ}C$, the average selectivity was 87.2% in the silicon consumption of 69.2% at $220^{\circ}C$.