• Title/Summary/Keyword: 기상활성화

Search Result 100, Processing Time 0.026 seconds

아산화질소 플라즈마 처리를 이용하여 형성한 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 특성과 어플리케이션

  • Jeong, Seong-Uk;Lee, Jun-Sin
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
    • /
    • 2010.02a
    • /
    • pp.142-142
    • /
    • 2010
  • 본 논문은 단결정 및 다결정 실리콘 기판 상에 아산화질소 플라즈마 처리를 통하여 형성한 초박형 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 특성과 이의 어플리케이션에 관한 것이다. 초박형 절연막은 현재 다양한 전자소자의 제작과 특성 향상을 위하여 활용되고 있으나 일반적인 화학 기상 증착 방법으로는 균일도를 확보하기 어려운 문제점을 가지고 있다. 디스플레이의 구동소자로 활용되는 박막 트랜지스터의 특성 향상과 비휘발성 메모리 소자의 터널링 박막에 응용하기 위하여 초박형 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 증착과 이의 특성을 분석하였고, 실제 어플리케이션에 적용하였다. 실리콘 산화막과 실리콘 계면상에 존재하는 질소는 터널링 전류와 결함 형성을 감소시키며, 벌크 내에 존재하는 질소는 단일 실리콘 산화막에 비해 더 두꺼운 박막을 커패시턴스의 감소없이 이용할 수 있는 장점이 있다. 아산화질소 플라즈마를 이용하여 활성화된 질소 및 산소 라디칼들이 실리콘 계면을 개질하여 초박형 실리콘 옥시나이트라이드 박막을 형성할 수 있다. 플라즈마 처리 시간과 RF power의 변화에 따라 형성된 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 두께 및 광학적, 전기적 특성을 분석하였다. 아산화질소 플라즈마 처리 방법을 사용한 실리콘 옥시나이트라이드 박막을 시간과 박막 두께의 함수로 전환해보면 초기적으로 증착률이 높고 시간이 지남에 따라 두께 증가가 포화상태에 도달함을 확인할 수 있다. 아산화질소 플라즈마 처리 시간의 변화에 따라 형성된 박막의 전기적인 특성의 경우, 플라즈마 처리 시간이 짧은 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 경우 전압의 변화에 따라 공핍영역에서의 기울기가 현저히 감소하며 이는 플라즈마에 의한 계면 손상으로 계면결합 전하량이 증가에 기인한 것으로 판단된다. 또한, 전류-전압 곡선을 활용하여 측정한 터널링 메카니즘은 2.3 nm 이하의 두께를 가진 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 직접 터널링이 주도하며, 2.7 nm 이상의 두께를 가진 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 F-N 터널링이 주도하고 있음을 확인할 수 있다. 결론적으로 실리콘 옥시나이트라이드 박막을 활용하여 전기적으로 안정한 박막트랜지스터를 제작할 수 있었으며, 2.5 nm 두께를 경계로 터널링 메커니즘이 변화하는 특성을 이용하여 전하 주입 및 기억 유지 특성이 효과적인 터널링 박막을 증착하였고, 이를 바탕으로 다결정 실리콘 비휘발성 메모리 소자를 제작하였다.

  • PDF

The recognition of e-Learning formiddle school teachers and students (중학교 교사${\cdot}$학생들의 e-Learning에 대한 인식 연구)

  • Jeong, Sang-Mok;Oh, Pill-Woo;Song, Ki-Sang
    • Journal of the Korea Computer Industry Society
    • /
    • v.6 no.3
    • /
    • pp.519-528
    • /
    • 2005
  • Computers have been increasingly recognized as tools for teaming, in addition to supporting industrial works. Such advantages e-Learning have as teaming at any time and place, distribution and management of standardized contents, mentoring with learners, immediate feed-backs, and dynamic learning have been applied in a variety of divisions. Despite of the researches and interests, the study on the different views between teachers who design and operate e-learning and students who receive lessons hasn't been enough. So it studied the recognition of middle school teachers and students on the e-Learning. <중략>The research result showed that there were similarity in the views between teachers and students on the concept of e-Learning. Many teachers and students have experienced the e-Learning directly or indirectly. Teachers and students showed similar opinions on the beforehand education and preferred subjects of the e-Learning. But the students required fast and immediate feedback of the teachers. Teachers and students showed similar opinions on the utilization of multimedia components to achieve the goal of education. But teachers thought that immediate feedback was important. The students thought it important to control the degree of difficulty. It suggests a way to activate the e-Learning of middle school efficiently with the research result.

  • PDF

Spatial Autocorrelation Characteristic Analysis on Bayesian ensemble Precipitation of Nakdong River Basin (낙동강유역 강우의 공간자기상관 특성분석을 통한 베이지안 앙상블 강우 검증)

  • Moon, Soo Jin;Sun, Ho Young;Kang, Boo Sik
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
    • /
    • 2017.05a
    • /
    • pp.411-411
    • /
    • 2017
  • 유역 내 발생하는 강우의 공간적인 분포는 인접성 및 거리에 따라 달라질 수 있다. 공간자기상관 분석은 공간단위(유역 또는 행정구역)의 변수(강수 등)가 주변지역과 갖는 관계를 통해 얼마나 분산되어 있는지 혹은 군집되어 있는지를 판별하는 기법으로 최근 많은 연구에서 활성화 되고 있다. 본 연구에서는 낙동강유역을 대상으로 1980~2000년까지 20개년의 기상청을 통해 수집한 강우자료와 CMIP5(Coupled Model Intercomparison Project Phase 5)에서 제공하는 기후변화 자료 중 가용할 수 있는 20개 모델의 강우를 수집하였다. 기후변화 자료는 정상성 분위사상법으로 지역오차보정을 실시하고 불확실성을 저감하고자 베이지안 모델 평균기법을 통해 새로운 시계열을 생성하였다. 생성된 시계열의 공간적인 분포를 정량적으로 평가하고자 중권역별 공간자기상관 분석을 수행하였다. 대부분의 연구에서는 GIS를 활용하여 정성적으로 강우의 분포를 나타내고 있지만 본 연구에서는 공간단위의 인접성 또는 거리에 따른 척도를 기반으로 공간자기상관을 탐색할 수 있는 Moran's I와 LISA(Local Indicators of Spatial Association)기법을 적용하였다. Moran's I는 전체 연구지역에 대한 관계를 하나의 값으로 보여주는 전역적인 기법이며, LISA는 상대적으로 넓은 지역을 국지적으로 구분하여 특정지역에 대한 Hot spot 및 Cold spot을 통해 공간자기상관 정도를 나타내는 국지적인 기법이다. 두 기법을 적용하기 위하여 인접성 기반의 공간매트릭스를 산정하고 계절별 관측값과 베이지안 앙상블 강우의 Moran's I 및 LISA 분석을 실시하였다. 관측자료와 베이지안 앙상블 강우의 분석결과가 매우 유사하게 나타남으로써 베이지안 앙상블 강우의 공간적인 분포가 관측강우를 충분히 재현하고 있다고 판단된다.

  • PDF

Application of Membranes for Biological Waste Gas Treatment Processes (생물학적 폐가스 처리공정 내 멤브레인 활용)

  • Lee, Sang-hun
    • Membrane Journal
    • /
    • v.31 no.5
    • /
    • pp.327-332
    • /
    • 2021
  • The use of membranes for MBRWG (Membrane Bioreactor for Waste Gas) treatment can provide highly selective separation of a waste gas stream followed by effective biological removal. MBRWG have several potential advantages, among which the most distinctive one is separation of gas and liquid phases at each side of membrane potentially allowing the optimal biomass control toward effective biodegradation of target gases as well as biofilm activation. This advantage becomes especially favorable for removal of hydrophobic toxic gases, such as xylene, by MBRWG systems, because the mass transfer, the toxicity, and thereby the biodegradation of hydrophobic gas treatment requires sensitive handling of liquid stream and water control near biofilm. Among various membranes for MBRWG treatment, PDMS-hollow fiber membranes provide the high gas mass transfer. Despite lower specific surface areas, capillary type membranes are also applied current MBRWG studies. In addition to the main application of membranes as biofilm supporter in MBRWG systems, there can be another application of membranes in a posterior process for removal of residual gases or dusts emitted from conventional biological waste gas treatment processes.

Study on Shared E-scooter Usage Characteristics and Influencing Factors (공유 전동킥보드 이용 특성 및 영향요인에 관한 연구)

  • Kim, Su jae;Lee, Gyeong jae;Choo, Sangho;Kim, Sang hun
    • The Journal of The Korea Institute of Intelligent Transport Systems
    • /
    • v.20 no.1
    • /
    • pp.40-53
    • /
    • 2021
  • Recently, shared dockless e-scooter usage has rapidly increased, rather than the station-based shared mobility service, because of convenience. This transition leads to new social problems in urban areas such as increased traffic accidents and hindrance of pedestrian environments. In this study, we analyze the usage characteristics of shared e-scooters in Seoul, and identify factors influencing demand for shared e-scooters by developing a negative binomial regression model. As a result, the usage characteristics show that the average trip distance, the average trip duration, and the average trip speed were 1.5km, 9.4min, and 10.3km/h, respectively. Demographic factor, transport facility factors, land use factors, and weather factors have statistically significant impacts on demand for shared e-scooters. The results of this study will be used as basic data for suggesting effective operation strategies for areas with higher shared e-scooter demand and for establishing transport policies for facilitating shared e-scooter usage.

Influence of Urban Built Environment on Severity of PM-Pedestrian Accidents in Seoul (서울시 PM 대 보행자 교통사고 심각도에 대한 도시건조환경의 영향)

  • Songhyeon Shin;Sangho Choo;Danbi Lim
    • The Journal of The Korea Institute of Intelligent Transport Systems
    • /
    • v.22 no.4
    • /
    • pp.114-131
    • /
    • 2023
  • Personal Mobility (PM)-related accidents have increased rapidly since PM use was activated. In response to the increase in these accidents, the government strengthened regulations for PM users on May 13, 2021. The number of the accidents in which the PM user was a victim decreased significantly. In contrast, the increasing number of accidents in which PM user was the offender did not decrease significantly. In most of these accidents, the PM user was the offender who crashed into pedestrians. Hence, the safety of pedestrians is threatened. Therefore, this study analyzed the factors, such as the regulations, urban built environment, and personal characteristics, affecting the severity of PM-pedestrian accidents by focusing on PM-pedestrian crashes. This study analyzed the PM-pedestrian accidents in Seoul from 2020 to 2021 using binary logistic regression model. Through these results, this study proposed the policy implications.

The Activation Plan of Variable Speed Control of Considering Urban Freeway Continuos Traffic Characteristics (In Busan Metropolitan City) (도시고속도로 연속류의 교통특성을 고려한 가변속도제어 활성화 방안 - 부산광역시를 중심으로 -)

  • Jeong, Yong-Hwa;Choi, Yang-Won;Lim, Chang-Sik
    • KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
    • /
    • v.34 no.2
    • /
    • pp.627-635
    • /
    • 2014
  • Currently the highest speed limit on the road traffic congestion or because you can not cope with climate change to cause a traffic accident may be a factor. According to the Road Traffic Act as well as 20% to 50% in case of inclement weather, but the driver must slow speed left to the judgment of the difficulties, and to slow the vehicle and the relative velocity between the vehicle does not run longer be a big influence on the environment and safety. Thus, variable speed control for drivers on the road, specify the appropriate maximum speed limit in bad weather It keeps motorists slowed the run rate to prevent accidents or reduce the severity of accident damage is expected to be possible. The purpose of this study is the frequent traffic accidents Continuous Busan (City Freeway) around the variable speed control in the appropriate sections so that it can be done by analyzing the characteristics of traffic accidents were the severity of the accident. Highway and urban environment, the geometry of the structure because it has a lot of Curved planar point compared to wet and dry road surfaces by simulated rain wet had bom the more the speed the greater the risk of an accident was the result. Based on these results, the primary section, first urban highway tunnel, near the lamp, near Toll Plaza, near binary Outlet after considering various factors such as speed reduction is needed in the first period by conducting awareness and recognize the need for the participation of the driver and the future city installation and operation of highways in all sectors is expected to be expanded.

Research Trends on Estimation of Soil Moisture and Hydrological Components Using Synthetic Aperture Radar (SAR를 이용한 토양수분 및 수문인자 산출 연구동향)

  • CHUNG, Jee-Hun;LEE, Yong-Gwan;KIM, Seong-Joon
    • Journal of the Korean Association of Geographic Information Studies
    • /
    • v.23 no.3
    • /
    • pp.26-67
    • /
    • 2020
  • Synthetic Aperture Radar(SAR) is able to photograph the earth's surface regardless of weather conditions, day and night. Because of its possibility to search for hydrological factors such as soil moisture and groundwater, and its importance is gradually increasing in the field of water resources. SAR began to be mounted on satellites in the 1970s, and about 15 or more satellites were launched as of 2020, which around 10 satellites will be launched within the next 5 years. Recently, various types of SAR technologies such as enhancement of observation width and resolution, multiple polarization and multiple frequencies, and diversification of observation angles were being developed and utilized. In this paper, a brief history of the SAR system, as well as studies for estimating soil moisture and hydrological components were investigated. Up to now hydrological components that can be estimated using SAR satellites include soil moisture, subsurface groundwater discharge, precipitation, snow cover area, leaf area index(LAI), and normalized difference vegetation index(NDVI) and among them, soil moisture is being studied in 17 countries in South Korea, North America, Europe, and India by using the physical model, the IEM(Integral Equation Model) and the artificial intelligence-based ANN(Artificial Neural Network). RADARSAT-1, ENVISAT, ASAR, and ERS-1/2 were the most widely used satellite, but the operation has ended, and utilization of RADARSAT-2, Sentinel-1, and SMAP, which are currently in operation, is gradually increasing. Since Korea is developing a medium-sized satellite for water resources and water disasters equipped with C-band SAR with the goal of launching in 2025, various hydrological components estimation researches using SAR are expected to be active.

Properties of ultra-thin silicon oxynitride films using plasma-assisted oxynitridation method (플라즈마 처리 기법을 이용한 초박형 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 특성)

  • Jung, Sung-Wook;Yi, Jun-Sin
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
    • /
    • 2009.06a
    • /
    • pp.260-260
    • /
    • 2009
  • 초박형 절연막은 현재 다양한 전자소자의 제작과 향상을 위하여 활용되고 있으며, 일반적인 화학 기상 증착 방법으로는 균일도를 확보하기 어려운 문제점을 가지고 있다. 본 논문에서는 디스플레이의 구동소자로 활용되는 박막 트랜지스터의 특성 향상과 비휘발성 메모리 소자의 터널링 박막에 응용하기 위하여 초박형 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 증착과 이의 특성을 분석하였다. 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 실리콘 산화막에 질소가 주입되어 있는 형태로 실리콘 산화막과 실리콘 계면상에 존재하는 질소는 터널링 전류와 결함 형성을 감소시키며, bulk 내에 존재하는 질소는 단일 실리콘 산화막에 비해 더 두꺼운 박막을 커패시턴스의 감소없이 이용할 수 있는 장점이 있다. 플라즈마 처리 기법을 이용하였을 경우에는 초박형의 균일한 박막을 얻을 수 있으며, 본 연구에서는 이산화질소 플라즈마를 이용하여 활성화된 질소 및 산소 라디칼들이 실리콘 계면을 개질하여 초박형 실리콘 옥시나이트라이드 박막을 형성활 수 있다. 플라즈마 처리 시간과 RF power의 변화에 따라 형성된 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 두께 및 광학적 특성은 엘립소미터를 통하여 분석하였으며, 전기적인 특성은 금속-절연막-실리콘의 MIS 구조를 형성하여 커패시턴스-전압 곡선과 전류-전압 곡선을 사용하여 평가하였다. 이산화질소 플라즈마 처리 방법을 사용한 실리콘 옥시나이트라이드 박막을 log-log 스케일로 시간과 박막 두께의 함수로 전환해보면 선형적인 증가를 나타내며, 이는 초기적으로 증착률이 높고 시간이 지남에 따라 두께 증가가 포화상태에 도달함을 확인할 수 있다. 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 초기적으로 산소의 함유량이 많은 형태의 박막으로 구성되며, 시간의 증가에 따라서 질소의 함유량이 증가하여 굴절률이 높고 더욱 치밀한 형태의 박막이 형성되었으며, 이는 시간의 증가에 따라 플라즈마 챔버 내에 존재하는 활성종들은 실리콘 박막의 개질을 통한 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 두께 증가에 기여하기 보다는 형성된 박막의 내부적인 성분 변화에 기여하게 된다. 이산화질소 플라즈마 처리 시간의 변화에 따라 형성된 박막의 정기적인 특성의 경우, 2.3 nm 이상의 실리콘 옥시나이트라이드 박막을 가진 MIS 구조에서 accumulation과 inversion의 특성이 명확하게 나타남을 확인할 수 있다. 아산화질소 플라즈마 처리 시간이 짧은 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 경우 전압의 변화에 따라 공핍영역에서의 기울기가 현저히 감소하며 이는 플라즈마에 의한 계면 손상으로 계면결합 전하량이 증가에 기인한 것으로 판단된다. 또한, 전류-전압 곡선을 활용하여 측정한 터널링 메카니즘은 2.3 nm 이하의 두께를 가진 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 직접 터널링이 주도하며, 2.7 nm 이상의 두께를 가진 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 F-N 터널링이 주도하고 있음을 확인할 수 있다. 즉, 2.5 nm 두께를 경계로 하여 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 터널링 메카니즘이 변화함을 확인할 수 있다. 결론적으로 2.3 nm 이상의 두께를 가진 실리콘 옥시나이트라이드 박막에서 전기적인 안정성을 확보할수 있어 박막트랜지스터의 절연막으로 활용이 가능하며 2.5 nm 두께를 경계로 터널링 메커니즘이 변화하는 특성을 이용하여 비휘발성 메모리 소자 제작시 전하 주입 및 기억 유지 특성을 확보를 위한 실리콘 옥시나이트라이드 터널링 박막을 효과적으로 선택하여 활용할 수 있다.

  • PDF

Analysis on the Source Characteristics of the Recent Five-year Earthquakes Occurred in the Central and Western Areas of the Korean Peninsula (최근 5년간 한반도 중서부 지역에서 발생한 지진의 진원 특성 분석)

  • Back, Jin-Ju;Kyung, Jai-Bok;Choi, Ho-Seon
    • Journal of the Korean earth science society
    • /
    • v.32 no.2
    • /
    • pp.161-169
    • /
    • 2011
  • Focal mechanism solutions in the central and western areas of the Korean Peninsula (36-37.8$^{\circ}N$, 126-128$^{\circ}E$) were obtained from the analysis of the recent seventeen earthquakes (M${\geq}$2.2) which occurred from January, 2005 to May, 2010. The spatial differences between the epicenters recalculated by this study and those announced by the Korea Meteorological Administration are less than $0.03^{\circ}$, indicating a small deviation. Focal mechanism solutions were obtained from the analysis of P wave polarities, SH wave polarities and SH/P amplitude ratios. The focal mechanism solutions show dominant strike-slip faulting or oblique slip faulting with strike-slip components. The P-axes trends are mainly ENE-WSW or E-W directions. The direction of fault plane and auxillary fault plane with NNE-SSW and WNW-ESE are almost parallel to the general trends of lineaments in the study area. The results also show that focal mechanism solutions and the main axis of stress field in the Kyonggi massif and Okchon belt are almost same.