• Title/Summary/Keyword: 기구학 해석

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Parametric study of diamond/Ti thin film deposition in microwave plasma CVD (공정변수에 따른 microwave plasma CVD 다이아몬드/Ti 박막 증착 양상 조사)

  • Cho Hyun;Kim Jin Kon
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.15 no.1
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    • pp.10-15
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    • 2005
  • Effects of CH₄/H₂ flow rate ratio, chuck bias and microwave power on the structural properties and particle densities of diamond thin films deposited on Ti substrates in microwave plasma CVD were examined. High quality diamond thin films were deposited on Ti substrates in 2∼3 CH₄ Vol.% conditions due to the preferential formation of sp³-bonus ana selective removal of sp²-bonus in the CH₄/H₂ mixtures, and the mechanism for the formation of diamond particles on Ti was analysed. Diamond particle density increased with increasing negative chuck bias to Ti substrate due to bias-enhanced nucleation of diamond and the threshold voltage was found at ∼-50 V. With increasing microwave power the evolution from micro-crystalline graphite layer to diamond layer was observed.

ZnS thermal CVD's solution of phenomenon of roughing exhaust line blockage for increasing continous process time

  • Jo, Yong-Beom;Kim, Jin-Cheol;Choe, U-Seong;Jeong, Won-Ho;U, Si-Gwan
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.117-117
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    • 2016
  • 일반적인 박막 성장용 CVD는 막 성장 시간이 짧게는 수분에서 수시간 정도 소요하기 때문에 장비에 문제가 발생 할 시 조치를 취하고 다음 현상을 개선하기에 용이 하였다. 그리고 대분분의 장비가 국산화되어 있을 만큼 많은 경험치가 축척되어 있다. 그러나 2, 4 족 화합물 성장용 CVD는 고아학 렌즈 생산용 장비로 국내에서는 아직 생소하고 공정 경험이 없는 새로운 장비이다. 2,4 족 화합물의 특징은 다음과 같다. 2,4 족 화합물은 M, N 이라는 두가 물질이 결합하여 형성한다. 2,4 족 화합물은 높은 융점과 낮은 증기압을 갖니다. 이런 물질들은 고온에서 아래와 같이 평형적으로 반응한다. $$nMN_{(s)}=nM_{(g)}+Nn_{(g)}$$ 화합물인 $MN_{(g)}$의 상태로 존재할 수 있으나 일바적으로 n=2인 4족 원소의 2원자 분자로된 기체가 지배적이다. 증기상을 이용한 성장 공정에서는 구성 원자나 분자를 만들어내는 단계, 이들을 공급원에서 기판까지 수송하는 단계, 기판 위에 흡착하는 단계, 핵의 생성과 단결정을 생성하는 단계, 필요치 않는 구성물을 제거하는 단계를 거쳐 공정이 진행 된다. 각 공정은 성장 물질에 충분한 자유도를 주어야하고 자유도를 주기 위해서는 많은 열에너지가 공급 되어야 한다. 따라서 기존의 박막 성장 공정 보다 성장 속도가 느리고 증착하는 양보다는 버리는 양이 많으며 버려지는 성장물질들은 급격한 온도 변화가 생기는 곳에서 급격히 증착하기 시작한다. 본 성장 공정이 진행되는 압력은 30 torr 부근이며 공정 온도는 $1000^{\circ}C$ 부근이다. 30 torr 영역에서는 열전달이 대기압과 같은 속도로 진행되기 때문에 지속적으로 온도에의해 손상을 받는 부위가 있을 수 있다. 높은 공정 온도와 높은 공정 압력은 내부 구조물로 발생된 열을 빠르게 장비 표면으로 수송하게 되고 그 결과 장비의 연결 부분에 장착된 오링에 손상을 주게 된다. 오링 손상을 방지 하기위해 냉각수 라인을 형성하여 오링을 보호하게 되면 열역학적 기울기가 급격히 발생하는 부분이므로 CVD의 반응 부산물들이 빠른 시간동안 증착하게 되고 막히는 현상이 발생하게 된다. 목표한 두게까지 박막을 성장시키기 위해서는 장시간 공정이 필수이며 장시간 공정을 안정적으로 가져가지 위해서는 배기 라인의 막힘 현상을 해결하여야 한다. 본 논문에서는 막힘 현상의 진행을 시간에 따라 해석하였으며 장시간 공정을 진행하기위해 필요한 요소와 기구적으로 조치가 가능한 방법에 대해 작성하였다.

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Effects of Vessel on the Quality Changes during Fermentation of Kochujang (고추장의 숙성 중 발효 용기가 품질변화에 미치는 영향)

  • Chung Sun-Kyung;Kim Young-Sook;Lee Dong Sun
    • Food Science and Preservation
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    • v.12 no.3
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    • pp.292-298
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    • 2005
  • Kochujang(Korean red pepper paste) of 600 g was fermented in the different types of vessels (glass, polypropylene(PP), polyethylene terephthalate(PET), stainless steel and Korean porcelain called onggi) with 627 mL of volume during 4 months. The quality changes were monitored for physical, chemical and microbiological attributes. Onggi which had high porosity in the micro-structure provided kochujang with higher microbial counts of aerobic bacteria, lactic acid bacteria and yeasts than those of the other containers. Compared to kochujang fermented in the other containers, kochujang in Onggi showed higher protease activity, amino type nitrogen, and free amino acid content. The kochujang in Onggi also attained higher acidity, lower pH and higher reducing sugar concentration than those in the other containers. All changes were completed 2 or 3 months. Onggi showed water loss and salt increase of the kochujang comparable to those in the other vessels, which was from gradual clogging of the micropores during storage. All physical, chemical and microbiological changes made the kochujang in Onggi attain the sensory quality significantly better than those fermented in the other vessels.

Dielectric Properties in Bi2O3-PbO-SiO2 Glass containing B2O3 (B2O3를 함유한 Bi2O3-PbO-SiO2계 유리의 유전적 특성)

  • Joung, Maeng-Sig;Lee, Su-Dae
    • Journal of Korean Ophthalmic Optics Society
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    • v.6 no.2
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    • pp.23-29
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    • 2001
  • In the SP series of glasses, the formation of droplet is well done with increasing PbO. But in the case SP-1, droplet could not be observed in low concentration PbO. These results are considered that PbO does the role of a network modifier, so the crosslinking break down by $SiO_2$. But, in the glasses contained PbO above 50 mol%, glasses are formeddue to $Pb^{4+}$ ion does the role of a network former. As a result of electrical conductivity analysis for SP series of glasses, the electrical conduction is due to bipolaron at high temperature, and it is due to single polaron hopping at low temperature. In the SP series of glasses, electrical conduction mechanism coincide with the correlated-barrier hopping(CBH) model.

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Torque Curve Shapes of Simple Uniaxial Magnetic Materials (단순 일축 비등방성 자성체의 돌림힘 곡선의 개형)

  • Hur, Jeen;Shin, Sung-Chul
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.8 no.1
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    • pp.34-41
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    • 1998
  • We have theoretically investigated torque curve shapes of simple uniaxial magnetic materials by considering conditions for round peaks to exist. These conditions are functions of an applied field, anisotropy field, ans lowest critical field $h_0$ for a domain wall to move or nucleate. The peak having a height of 2h appears when h is lower than h$_1$, the peak having a height of 1 appears when h is higher than h$_2$, ans two peaks having heights of 1 and -1 appear when h is higher than h$_3$. It was found that torque curves of simple uniaxial magnetic materials could be classified into 8 distinct types depending on the existence of hysteresis, the number of the round peaks, and the reversal mechanisms. Simple uniaxial magnetic materials also found to be classifed into the 5 groups depending on $h_0$.

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Dynamic Characteristics of Helicopter Bearingless Main Rotor (헬리콥터 무베어링 주로터의 동특성 시험)

  • Yun, Chul Yong;Song, Keun Woong;Kim, Deog-Kwan
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.44 no.5
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    • pp.439-446
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    • 2016
  • The characteristics of bearingless main rotor of helicopter are investigated through non-rotating tests and rotating tests. The stiffness and natural frequencies of rotor blades, flexbeam, and torque tube which are core components of baearingless rotor are measured to obtain input material properties for rotor analysis. The functional test on ground for assembly of one hub with damper, snubber, and no blade is carried out to check interfaces between components, kinematics of components, and pitch motion ranges under applied loads including centrifugal load. The 4-bladed bearingless rotor with 5.82m of rotor radius is tested on the whirl tower with rotation plane of 9.65m height. The thrust and power are measured to obtain hover performance and the frequencies and dampings of the rotor are obtained by excitation of cyclic pitch by hydraulic actuators.

A Study on the Design Technique of Linear Actuator by using CAE System (전산응용설계 시스템을 이용한 리니어 액츄에이터의 설계기법 고찰)

  • 이권헌;조제황;조경재;오금곤;김영동
    • The Proceedings of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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    • v.11 no.1
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    • pp.106-113
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    • 1997
  • In this paper, we introduce the design method using CAE(Computer Aided Engineering) which is profitable in the compatibility and standardization of the developed product and in the reduction of construction time and price to develop and design a machine equipment. Particularly, we select the standard model to design ot develop from the large machinery to the super precision one, extract the peculiar characters of the model by the close analysis of the physical and technical part, can predict the previous result of experimental characteristics on objective dimensions through the analogical mathematical analysis, and can induce the design model demanded by user investigating optimal data in advance. We present the analogical algorithms and process method of design factors and restriction factors in the systematization design with computer. Then we analyze step functions for each systematization equipment and induce the process of technical data with actuator model.

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Effects of Substrate Temperature on the Morphology of Diamond Thin Films Deposited by Hot Filament CVD (Hot Filament CVD에 의해서 증착된 다이아몬드 박막의 표면형상에 미치는 기판온도의 영향)

  • 형준호;조해석
    • Korean Journal of Crystallography
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    • v.6 no.1
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    • pp.14-26
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    • 1995
  • The growth mechanism of diamond thin films, deposited by Hot Filament CVD, was investigated through observation of changes in their surface morphology as a function of the substance temperature and deposition time. Amorphous carbon or DLC thin films were deposited at low substrate temperature. Diamond films consisting of square-shaped particles, whose surfaces are (100) planes, were deposited at an intermedate temperature. At high substrate temperatures, diamond films consisting of the particles showing both (100) and (111) plane were deposited. The (100) proferred orientation of the diamond films are believed to be due to a relatively high supersaturation during deposition, and the growth condition for the diamond films having (100) preferred orientation can be applied to the single crystal growth since no twins are generated on the (100) plane. The grain size of the diamond films did not change with increasing temperature and its increasing rate with increasing deposition time was the same irrespective of the substrate temperature. However, the nucleation density increased with substrate temperature and its increasing rate with deposition time was much higher for the films deposited at higher substrate temperature.

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Governance-Based Measures to Solve the Conflicts in Pyeongtaek-Dangjin Port (평택당진항의 갈등 원인과 거버넌스 접근을 통한 해결방안)

  • Lee, Dong-Hyon
    • Journal of Korea Port Economic Association
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    • v.29 no.3
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    • pp.135-158
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    • 2013
  • There have been many conflicts in Pyeongtaek-Dangjin Port among central government, metropolitan council, and cities over the jurisdiction of reclaimed port area, an international passenger terminal construction and a bridge between the port and Dangjin area. This study found out two causes for the conflicts in terms of governance. First, the current governance structure of Pyeongtaek-Dangjin port has high levels of conflict and disputes among stakeholder. Second, there is no leading agency which is responsible for the future development of the port. It is very important to decrease the possibility of conflict and to establish leading agency. Measures to decrease the likelihood of conflict include establishment of conflict resolution mechanism, the clarification of the facts and applicable law, mutual exchanges between stakeholder. Measures to establish a leading agency include the introduction of a single governance, establishment of Pyeongtaek-Dangjin Port Authority, central-local combined governance, and empowering PA to do all port management.

Analysis of the soil moisture data on interannual variation in mountain area (산지 토양수분 관측자료 경년변화 특성 분석)

  • Kim, Kiyoung;Lee, Yeonkil;Jung, Sungwon
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2018.05a
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    • pp.192-192
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    • 2018
  • 토양수분량은 가뭄, 홍수 및 갈수 예보, 유출 해석, 작물의 소비수량 산정과 같이 국가 물 관리 및 수자원 계획 및 개발 등의 목적으로 활용되고 있다. 또한, 생태수문학의 중요한 인자로써 식생의 성장 및 변동의 원인과 결과를 동시에 제공한다. 이는 대기의 상호작용 및 총체적인 물 수지와 관련되며 지표면의 침투, 증발산, 오염물의 이송 및 생태계에도 중요한 인자로 활용된다. 토양수분량은 수자원 부존량에 차지하는 비중은 매우 적지만 대상유역의 유출기구 특성을 지배하는 주요인자로 작용하여 홍수량의 규모에 크게 영향을 미친다. 미국 등 여러 선진 외국에서는 오래 전부터 토양수분에 대한 이론적인 개념을 정립하여 토양수분량을 정기적으로 관측해 오고 있다. 우리나라 또한 토양수분량 관측을 하고 있으며, 주로 농업목적으로 토양수분량 관측소가 운영되고 있다. 그 중 기상청에서는 주로 농업기상관측 항목에 포함하여 농업기상관측소를 운영하고 있으며, 농촌진흥청에서는 농작물의 생육 목적으로 토양수분량 자료를 관측하고 있다. 하지만, 유역 단위의 가뭄과 물 순환을 규명하기 위한 연구가 부족하여 최근 국토교통부에서는 유역 단위의 토양수분량 자료생산 연구를 계획하고 있다. 유역 단위의 토양수분관측의 어려움은 주로 산지에서 발생하는 토양수분의 변동이다. 이는 사면의 유출과 식생의 영향 및 기반암의 영향을 받기 때문이다. 본 연구에서는 청미천(수레의산)과 설마천(감악산) 산지 사면에 설치된 유전율식(TDR, Time Domain Reflectometer)장비로 관측된 최근 3년간(2015~2017)의 데이터를 이용하여 경년변화특성을 분석하였다. 분석 결과는 유역의 물 순환을 규명하는데 가장 중요한 연구로써 활용될 것으로 기대된다.

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