• Title/Summary/Keyword: 기계화학적 미세가공

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Slurry Particle behavior inside Pad Pore during Chemical Mechanical Polishing (기계화학적 연마공정중 패드내 미세공극에서의 연마입자의 거동)

  • Kwark, Haslomi;Yang, Woo-Yul;Sung, In-Ha
    • Tribology and Lubricants
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    • v.28 no.1
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    • pp.7-11
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    • 2012
  • In this paper, the results of finite element(FE) analysis of chemical mechanical polishing(CMP) process using 2-dimensional elements were discussed. The objective of this study is to find the generation mechanism of microscratches on a wafer surface during the process. Especially, a FE model with a particle inside pad pore was considered to observe how such a contact situation could contribute to microscratch generation. The results of the finite element simulations revealed that during CMP process the pad-particle mixture could be formed and this would be a major factor leading to microscratch generation.

A Comparative study of roughness of enamel surface to various interdental enamel stripping methods in vitro (치간 법랑질 삭제방법에 따른 치아표면 거칠기에 관한 비교연구)

  • Row, Joon;Chun, Youn-Sic
    • The korean journal of orthodontics
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    • v.29 no.4 s.75
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    • pp.483-490
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    • 1999
  • Interdental enamel stripping is an usual method for correction of abnormal tooth shape and tooth size discrepancy which is one of the etiologic factors of malocclusion. Clinically it Is useful to correct the minor crowding in anterior teeth and posterior occlusion during finishing stage of orthodontic treatment. But this procedure has risks such as irreversible tooth reduction and remaining roughness of enamel surface can accumulate plaque which can evoke periodontal problem. Even if various methods were introduced to minimize the enamel surface roughness, their evaluation was limited in morphologic differences by scanning electronic microscope(SEM). The purpose of this study was to compare the various interdental enamel stripping method by SEM and to quantify the difference of surface roughness by use of Surfcorder SEF-30D(Kosaka Lab. Ltd.) which can measure the roughness of surface. The stripping methods were divided into mechanical and mechanical-chemical method. Air-rotor stripping and separating strip were used for mechanical stripping and $37\%$ phosphoric acid was used for chemical stripping. The enamel surface roughness after mechanical or mechanical-chemical stripping of interproximal surfaces of premolars which were extracted for orthodontic purpose were measured and compared by means of SEM and $Surfcorder^{\circledR}$, the results were as follows. 1. Enamel surface of primary treated by coarse diamond bur and separating strip groups showed highest value of roughness. 2. To compare the primary treated groups between mechanical and mechanical-chemical method, the latter group showed lower value of roughness remarkably. 3. Mechanical stripping groups which were treated both coarse and fine instrument showed lower value of roughness as much as non treated group. 4. The use of Pumice for final polishing did not show significantly smoothening the stripped enamel surface any more.

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FeO, $TiH_2$, Carbon 원료분말을 이용한 Fe-TiC 나노 복합분말 제조 및 소결

  • An, Gi-Bong;Kim, Ji-Sun
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2011.10a
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    • pp.26-26
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    • 2011
  • Fe계 TiC 합금은 미량의 합금원소를 첨가시켜 경화능, 내식성, 내마모성 성질을 개선한 특수 공구용 재료로서 현재 절삭, 내마모성, 광산, 금형재료 등의 분야에 널리 사용되고 있다. 금속과 세라믹의 복합재료인 초경합금은 비열처리용 공구강으로 WC, TiC 등의 4, 5, 6족 금속탄화물에 Co, Ni, Fe등의 철족이 결합금속으로 소결한 복합재료로 WC-Co계 초경합금이 주종을 이루고 있으나, 전략 소재로서 고가인 Co 원료를 대체하기 위한 재료로서 초경재료의 고경도와 공구강의 경제성 및 가공성의 장점을 이용한 Fe-TiC계 초경합금의 연구가 다양하게 진행되고 있다. 본 연구에서는 Fe기지에 서브마이크론 크기의 미세한 TiC 입자가 균일하게 분산된 Fe-TiC 복합분말을 경제적으로 제조하기 위해 순수한 Fe, Ti 원료분말에 비해 단가가 낮고 미세 분쇄가 용이한 FeO, $TiH_2$ 분말을 고에너지 밀링 후 반응 열처리 시키는 유사 기계화학적 공정을 시도하였다. 조성비 Fe-30wt%TiC 복합분말을 제조하기위해 마이크론(micron) 크기의 FeO, $TiH_2$, C 분말을 사용하였고, 1단계로 FeO와 C을 고에너지 밀링으로 혼합 후 반응시켜 환원시키는 공정과 2단계로 이렇게 환원된 분말과 TiH2를 고에너지 밀링으로 다시 혼합, 분쇄한 후 반응열처리 하는 두 단계 공정을 사용하였다. FeO의 환원 단계에서는 $700{\sim}1,000^{\circ}C$ 온도 범위에서 1시간 유지하였고, 고에너지 밀링 시 밀링시간, 회전속도를 변수로 두고 실험하였다. 환원된 분말은 수평관상로를 이용해 아르곤분위기에서 $1,000{\sim}1300^{\circ}C$까지 1시간 유지하여 반응열처리시켜 Fe-TiC 복합분말을 제조하였다. 준비된 복합분말을 XRD와 FE-SEM, EDS, 입도분석기 (LPSA) 등을 이용해 분말의 형태와 특성, 상, 조성, 입도, 분산도 등을 조사하였다. 제조된 Fe-TiC 나노복합분말을 방전플라즈마소결(SPS) 과 상압소결 실험을 진행하였다. Fe-TiC 복합분말 제조공정의 첫 번째 단계인 FeO의 환원반응은 $800^{\circ}C$이상의 온도에서 Fe로 환원이 진행됨을 확인하였다. 두 번째 단계인 반응열처리공정에서는 $1,000^{\circ}C$ 이상에서 TiC가 형성됨을 XRD 상분석을 통해 확인할 수 있었고, $1,100^{\circ}C$ 이상의 온도에서 반응열처리를 했을 때 XRD 분석결과와 산소 조성 분석 결과로부터 반응의 완결성과 순도에서 최적 온도 조건임을 확인하였다. 온도를 $1,300^{\circ}C$로 증가시킬 경우 반응의 완결성에 큰 변화가 없는 반면 분말입자간의 목형성이 일어나 가소결 되는 것을 FE-SEM을 통해 관찰하였다. 또한 최적조건으로 제조된 Fe-TiC 복합분말의 입도분석과 FE-SEM/EDS 관찰/분석을 시행한 결과 평균 입도 0.6 ${\mu}m$의 미세한 Fe-TiC 복합분말 내에 Fe분말 주변과 내부에 나노크기의 TiC입자가 균일하게 분산되어 존재하는 것을 확인하였다.

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