• Title/Summary/Keyword: 기계진동

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건식 진공펌프의 상태진단을 위한 PMS 프로그램 개발

  • Jeong, Wan-Seop;Im, Jong-Yeon;Nam, Seung-Hwan;Kim, Hak-Seung;No, Myeong-Geun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.106.2-106.2
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    • 2013
  • 본 논문은 반도체 및 평판 디스플레이 생산공정에서 가동되고 있는 건식 진공펌프들의 정밀 상태진단 및 예지 보수를 위한 pump monitoring system (PMS)의 제품화에 필요한 프로그램의 개발 내용을 소개한다. 본 연구에서 소개하는 건식 진공펌프들의 정밀 상태진단 및 예지보수기법은 PCT 특허 2 건으로 이미 등록된 내용이며, 본 논문은 이들 기법의 실제 구현에서 직면하는 기술적 문제점과 극복 방안을 제시한다. 본 논문에서는 현재 반도체 공정에 사용되고 있는 건식 진공펌프들로부터 측정하는 다중 상태변수들의 조사 결과를 소개한다. 이들 상태변수 측정치들이 갖는 개략적 특성을 통계적 분포함수로 분석한 결과를 우선 보인다. 특히 펌프 구동모터들의 소비 전류신호는 두 평균값에 대한 분포 즉 두 종의 분포함수를, 그리고 온도, purge gas 유량, 배기구 압력 등은 정상적 평균값에 대한 한나의 분포를 보였다. 따라서 구동모터들의 소비전류의 분포 즉 두 상하 수준('low and high' current level)에 따라 batch data를 구분하는 방법의 개발이 필요하였다. 본 연구에서는 step 함수형 eigenvector를 적용하여 소비전류 신호의 상하수준 천이 영역과 방향을 동시에 인식할 수 있는 기법을 개발 적용하였으며, 3300회의 배출가스 부하에 변화에 대한 천이 영역과 방향을 인식에 하나의 실패도 보이지 않음을 확인하였다. 기존의 측정 상태변수에는 회전기계류의 정밀 상태진단 및 예지보수에 핵심적인 기계진동 측정용 진동센서를 포함하고 있지 않은 기술적 문제점이 발견되었다. 기존 진동센서들의 높은 가격 뿐 아니라 진동센서의 출력신호를 저/중/고역 주파수 대역의 실효치로 환산하는 기술적 한계 때문에 진공펌프 상태진단에 아직 사용하고 있지 않고 있다. 본 연구에서는 진동선서 비용의 저감화 방안뿐 아니라 로터 회전 대역(250Hz 이하 저주파 영역), 베어링 진동 대역(250 Hz~2.5 kHz의 중간 주파수 영역), 그리고 기어 진동 대역(2.5 kHz~10 kHz 주파수 영역)별 실효치를 실 시간 측정할 수 있는 진동측정 모듈의 제품화 모델을 개발하였다. 개발 제품의 성능 뿐 아니라 현장 시험결과를 소개한다. 마지막으로 본 연구팀이 개발한 PCT 특허 2 건에 포함된 건식 진공펌프들의 정밀 상태진단 및 예지보수기법에 대한 현장 시험결과를 간략히 소개한다.

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Deep-Learning based PHM Embedded System Using Noise·Vibration (소음·진동을 이용한 딥러닝 기반 기계 고장진단 임베디드 시스템)

  • Lee, Se-Hoon;Sin, Bo-Bae;Kim, Ye-Ji;Kim, Ji-Seong
    • Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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    • 2017.07a
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    • pp.9-10
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    • 2017
  • 본 논문에서 소음, 진동을 이용한 딥러닝 기반 기계 고장진단 임베디드 시스템을 제안하였다. 제안된 시스템은 기계로부터 취득된 소리와 진동을 바탕으로 학습한 DNN모델을 통해 실시간으로 기계 고장을 진단한다. 딥러닝 기술을 사용하여 학습에 따라 적용대상이 변경될 수 있도록 함으로써 특정 기계에 종속적이지 않고 가변적으로 다양한 기계에 대해 고장 예지 및 건전성 관리를 제공하도록 설계하였으며, 이를 증명하기 위해 액추에이터를 환풍기로 설정하여 정상상태와 4가지 비정상상태의 5가지상태를 학습하여 실험한 결과 93%의 정확도를 얻었다.

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Optimal Constant Feedback Control of Flow-Induced Vibration in Bluff Structures (유체의 흐름에 의해 야기되는 구조물 진동의 최적 제어)

  • Cho, H. S.
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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    • v.7 no.2
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    • pp.212-217
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    • 1983
  • 유동장에 구조물이 놓여 있을 때 유체의 운동과 구조물 진동의 상호작용으로 비선형 자려진동 (self-excited vibration)을 일으키는 경우가 많다. 본 논문에는 이러한 현상으로 야기되는 구조물 의 불안정한 진동을 없애기 위한 방법으로의 일환으로 최적 진동 제어기를 설계하였으며, 설계 방법과 시뮬레이션 결과를 자세히 언급하였다.

ISO/TC 108/WG 28 : Characterization of the Dynamic Mechanical Properties of Resilient Visco-Elastic Materials (ISO/TC 108/WG 28 : Characterization of the Dynamic Mechanical Properties of Resilient Visco-Elastic Materials 활동상황보고)

  • 김광준
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 2001.05a
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    • pp.799-810
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    • 2001
  • 필자는 소음진동공학회가 품질기술원으로부터 ISO/TC108 기계진동 및 충격(Mechanical Vibration and Shock) 간사기관업무를 위탁 받은 후부터 SC6 진동 및 충격 발생시스템(Vibration and Shock Generating Systems)에 대한 한국측 위원으로 일을 해왔다. (중략)

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Development of Vibration Diagnosis System for Rotating Machines (회전기계의 진동에 의한 이상진단 시스템의 개발)

  • 양보석;전순기;장우교;임동수;김호종
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 1995.04a
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    • pp.350-353
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    • 1995
  • 본 연구에서는 회전기계의 진동신호를 검출, 신호처리, 이상판별, 이상진단 및 경향 예측을 수행하는 이상진동진단 시스템을 개발하였다. 이 시스템의 특징은 GUI를 지원하고 풀다운 메뉴방식을 통한 일관된 환경을 제공하며, 키보드 사용이 거의 없이 마우스만으로 모든 처리가 가능하다. 또한 각 모듈을 하나의 통합환경 내에서 처리된다. 금후 이상진단부분을 보다 개선하여 정밀진단이 이루어지도록 확장하여 갈 예정이다.

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초음파 진동을 이용한 정밀절삭에 관한 연구

  • 김정두;곽윤근
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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    • v.14 no.4
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    • pp.818-829
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    • 1990
  • 본 연구에서는 공구의 진동에 사용되는 혼(hone)의 재료로 강성과 초음파진동 이 우수한 티타늄 합금을 사용하였으며, 이의 설계 및 진동절삭 기구의 구성과 공구형 상 및 이송에 의하여 결정되는 선삭의 이론적 표면조도를 근간으로 각종 절삭 조건 등 을 변화시키면서 실험을 행하여 초음파 진동 절삭시 나타나는 특성들 중 절삭저항, 다 듬질면 거칠기, 칩형태, 가공정도 등을 관찰하여 범용절삭과 비교 검토하여 초음파 진 동절삭이 정밀가공 및 생산성 향상에 적합한 가공방법임을 입증코져 한다.

발전소 급수펌프의 이상진동 원인 규명

  • 손영수
    • Journal of the KSME
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    • v.30 no.5
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    • pp.436-439
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    • 1990
  • 진동원인규명에 있어서 가장 중요한 것은 첫째, 발생경과, 운전기록 및 발생상황을 종합하여 진 동원인을 예측하는 것이라 말할 수 있다. 이것은 유사기기에서의 실례조사와 많은 경험이 필 요하게 되며 객관적인 자료에 근거한 판단이 되어야함은 물론이다. 둘째, 추정한 것이 맞는지 여부를 확인하기 위한 계측과 판단에 필요한 정보수집과 정리를 하는 것이다. 이를 위해서는 계측의 용이성, 운전계획 등을 고려하여 사전에 충분한 검토가 필요하다. 셋째, 판단과 확인작 업으로서 진동원인을 제거하지 않고 원인의 요소를 변화시켜 진동의 변화가 이론에 맞는지를 확인하며 예측한 진동원인과 모순되지 않는가를 검토하는 것이다. 마지막으로 대책과 대책실 시후의 확인작업이며 원인에 직결된 근본적인 대책이 되어야 할 것이다.

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A Design Method Suboptimal Control of Flexible Structure Vibration (유연한 구조물의 진동제어를 위한 부최적제어기의 설계방법에 관하여)

  • 조영준;조형석
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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    • v.9 no.2
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    • pp.222-231
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    • 1985
  • 유연한 구조물의 진동은 이론적으로는 무한개의 진동모우드를 포함하고 있기 때문에 진동을 감 소시키기 위한 제어시스탬을 설계할 때에는 유한개의 진동모우드로 진동하고 있다는 가정하에서 제어기를 설계하는 것이 보통이다. 그러나 이러한 방법으로 구조물 진동을 제어할 때에는 설계 시에 제외된 잔류 진동모우드에 의해서 오히려 구조물의 진동이 더욱 심하게 되어 안정성을 해 치는 결과를 낳는 수가 있다. 본 연구에서는 잔류 모우드에 의한 불안정성을 제거하기 위해 최 적제어 이론을 바탕으로 제어이론을 개발하였다. 구조물 진동이 안정화되기 위한 필요조건을 제시하였고 외팔보 진동의 예를 시뮬레이션하여 제어이론을 증명하였다.

회전기계의 진동원인 및 현상

  • 박영필;이상조
    • Journal of the KSME
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    • v.28 no.1
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    • pp.12-17
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    • 1988
  • 국내 회전기계의 수요증가 및 기계공업의 발전과 병행하여 이를 보다 안전하고 효과적으로 운 용할 필요성이 증대되고 있는 실정이다. 특히 회전기계의 이상의 주원인인 진동에 대해 그 원 인과 현상을 정확하게 분석함으로써 기계의 운영이나 보전관리에 유익할뿐더러 사고의 미연방 지에도 크게 기여할 것으로 판단된다. 특히 전자계측기 및 자료분석장치의 급속한 발전으로 인해 고속 및 고정도의 정보처리능력을 가진 장비를 용이하게 구할 수 있기 때문에 각종 이상 진단전문시스템의 국내 개발도 가능하리라고 생각된다.

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