• 한국결정성장학회지
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• 제5권4호
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• pp.408-413
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• 1995

초크랄스키 실리콘 기판의 뒷면에 형성된 기계적 손상이 레이저 여기/극초단파 반사 광전도 감쇠법에 의한 소수반송자 재결합 수명 측정에 미치는 영향을 고찰하였다. 기계적손상의 정도는 X-선 이중결정 회절법과 X-선 단면 측정법 및 습식산화/선택적 식각 방법으로 평가하였다. 그 결과, 웨이퍼 뒷면에 가해지는 기계적 손상의 세기가 강할수록 소수반송자 재결합 수명은 짧아지고, 소수반송자 재결합 수명 측정에 영향을 미치는 반치전폭의 임계값은 약13초임을 알 수 있다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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• pp.155-155
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• 2004

최근 집중 육성산업으로 분류되어 연구 및 투자가 되고 있는 반도체, 정보통신, 바이오산업, 디스플레이 등에서 초정밀화와 저비용, 대량생산을 하기 위해서 기존의 공정을 대체할 수 있는 새로운 나노공정기술의 요구가 급증하고 있다 최근에는 극초단파 특성으로 인하여 극미세 형상을 가공할 수 있는 펨토초 레이저(femto second laser)를 나노공정에 적용하는 다양한 연구가 진행되고 있다. 특히, 기존의 쾌속조형공정을 응용하여 다른 공정으로는 제작이 불가능한 나노 스케일에서 3차원 자유곡면을 가지는 구조물을 제작할 수 있는 공정개발에 대하여 다양한 연구가 진행되고 있다.(중략)

• Journal of Oral Medicine and Pain
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• 제32권3호
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• pp.319-328
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• 2007

본 연구는 근육의 경도와 탄성도를 측정하여 교근 피로에 대한 물리치료의 효과를 정량적으로 평가하고자 하였으며, 측두하악장애 치료에 가장 흔히 사용되는 물리치료이면서 작용기전은 서로 다른 세 가지 치료법인 전기침자극치료(EAST), 극초단파(Microwave diathermy), 저수준레이저치료(LLLT)의 효과를 비교하였다. 실험을 위하여 건강한 20대 지원자 10명을 선정하여, 교근의 전부와 하부의 근육 경도와 탄성도를 촉각센서로 측정하였다. 실험적으로 교근 피로를 유발하기 위해 피검자가 VAS (0 to 10) 5 이상의 통증을 느낄 때까지 껌을 씹게 하여 근육 변화를 조사하였으며 치료 없이 15분간의 휴식을 준 다음 다시 검사하여 물리치료 후의 효과 비교를 위한 대조군으로 사용하였다. 하루 간격으로 사흘에 걸쳐 동일한 시간 동안 껌을 씹게 한 다음, 물리치료 한 가지씩을 매일 시행하였으며 3가지 물리치료법의 적용 순서는 무작위로 하였다. 껌 저작 전, 직후, 15분 후, 각각의 물리치료 시행 후에 근육 경도와 탄성도 측정과 함께 피검자들이 느끼는 근육의 피로도를 VAS로 평가 하도록 조사하였다. 실험 결과, 저작측에서만 껌 저작 직후와 15분 후에 근육경도의 증가와 탄성도의 감소가 관찰되었으며 (p<0.05) 비저작측에서는 유의한 차이가 없었으나 VAS는 저작측과 비저작측 모두에서 증가하였다(p<0.05). 껌 저작으로 인해 변화되었던 근육경도와 탄성도는 전기침자극치료나 극초단파 치료 후에 효과적으로 회복되고 VAS가 감소했으나(p<0.05) 저수준레이저 치료 후에는 유의한 변화를 보여주지 않았다. 이상의 결과로 보아, 편측 저작은 저작측 근육의 경도를 증가시키고 탄성도는 감소시키는 반면, 비저작측에서는 변화가 없는 것을 알 수 있다. 또한 전기침자극치료와 극초단파치료는 모두 근육의 경도를 감소시키고 탄성도를 증가시켜 근육의 피로를 감소시키는데 효과적인 치료법인데 반해 저수준레이저치료의 효과는 미약한 것으로 판단된다.

• 기계와재료
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• 제22권1호
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• pp.14-21
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• 2010

초미세 레이저 가공기술은 미세화, 대면적화, 고속화의 방향으로 발전되고 있다. 이에 따라 이를 대응한 레이저의 사양도 파장의 단파장화 또는 펄스폭의 극초단화, 펄스 반복률의 고반복률화, 출력의 고출력화가 요구되고 있다. 극초단 펄스레이저는 사용자 편의성, 안정성 측면에서 산업체의 요구에 미흡하다. 이에 따라 산업용 초미세 레이저 가공을 위한 광원으로 고품질, 고출력의 단파장 자외선 레이저 활용에 집중하고 있다. 현재 고품질 자외선 레이지는 DPSSL 형태로 구성되어 출시되고 있고, 거의 대부분 수입에 의존하고 있다. 국내외 자외선 UV 현황을 간단히 기술하고, 광주과기원 고등광기술연구소에서 산업원천기술개발사업의 일환으로 개발중인 복합형 자외선 DPSSL에 대한 개발 계획 레이저 특성과 현재의 개발 진행 상황을 소개한다.

• 광학세계
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• 통권142호
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• pp.17-22
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• 2012

인공위성 레이저 추적(SLR, Satellite Laser Ranging) 시스템은 레이저를 이용하여 위성까지 거리를 측정하는 가장 정밀한 인공위성 추적 시스템이다. SLR 시스템의 원리는 극초단파의 레이저 빔을 광학 망원경을 통해 발사하여 인공위성에 장착된 레이저 반사경에 의해 반사되어 되돌아오는 레이저 빔의 왕복 비행 시간을 측정함으로써 거리를 구한다. 1964년 발사된 Beacon Explorer-B 위성의 궤도결정을 위해 SLR 기술이 NASA에 의해 처음 사용되었는데, 당시에는 거리측정 오차가 50m 수준이었다. 현재는 전자, 광학 및 제어 기술의 발달에 힘입어 그 오차가 mm 수준으로 크게 향상되어 인공위성 운영, 지구물리, 우주측지 및 우주감시 등 다양한 분야에 활용되고 있다. 미국을 비롯한 우주 선진국은 이미 다수의 SLR 시스템을 구축하여 운영하고 있으며, 현재 전 세계적으로 약 40여 개의 SLR 관측소가 국제레이저추적기구(ILRS, International Laser Ranging Service)에 가입하여 활동하고 있다. 또한 인공위성의 정밀한 거리측정을 위해 레이저 반사경이 장착된 위성 50여 개가 운영중에 있다. 고정밀 지구관측 위성 대부분에 레이저 반사경이 장착돼 있으며 러시아의 GLONASS 항법체계를 구성하는 모든 항법위성에도 레이저 반사경이 장착돼 있다. 또한 유럽우주기구에서 추진하는 갈릴레오 및 중국의 Compass 항법위성도 레이저 반사경이 장착될 예정이다. 최근에는 행성탐사 및 달탐사 우주선에 SLR 시스템의 활용 범위가 확대됨에 따라 SLR 시스템의 국제적 수요가 꾸준히 증가하고 있다. 우리나라의 나로과학위성 및 다목적실용위성 5호에도 레이저 반사경이 장착돼 발사되기 때문에 국내 독자적 레이저추적을 위해서 SLR 시스템 구축이 꾸준히 요구되어 왔다. 한국천문연구원은 2008년부터 SLR 시스템 개발을 추진했다. 2012년 9월에 40cm 크기의 망원경을 지닌 이동형 SLR 시스템 개발을 완료했으며 오는 2015년에는 1m급 고정형 SLR 시스템 개발을 완료할 예정이다.

• 한국산업융합학회 논문집
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• 제20권4호
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• pp.307-311
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• 2017

Ultra short pulse laser processing with the PI (polyimide) substrate is conducted to increase flexibility and radius of curvatures. A femtosecond laser is used to perform micro machining by minimizing the heat effect in PI substrate. The laser processing according to the parameters, such as fabricated line width, depth, laser power, distance between lines, is carried out to understand the characteristics of fabricated lines. A bending test is carried out to evaluate bending shapes and the radius of curvature after bending and spreading it 1000 times. The results demonstrates that the radius of curvature decreases in deepen lines and increases with the augment of the number of the fabricated lines, and distance between lines.

• 전자통신동향분석
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• 제34권5호
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• pp.91-98
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• 2019

Optical frequency comb generators have been investigated as a signal source capable of generating highly stabilized ultrafast pulse lasers. The precise control of the optical frequency comb spacing by RF clock signals has led to a revolutionary paradigm shift in the precise measurement of time and frequency. Optical frequency combs also have advantages such as stable frequency spacing, stable number of lines, and robustness. Owing to these characteristics, optical frequency combs have been applied to the fields of high precision optical clock, communication, spectroscopy, waveform generation, and astronomy. In this article, we introduce the properties (i.e., generation methods, advantages, and so on) of various optical frequency combs, and discuss the expected future technological trends and applications.

• 한국결정성장학회지
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• 제9권2호
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• pp.157-161
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• 1999

초크랄스키 실리콘 기판의 뒷면에 형성된 기계적 손상이 미치는 효과에 대하여 고찰하였다. 기계적 손상의 정도는 레이저 여기/극초단파 반사 광전도 감쇠법에 의한 소수반송자 재결합 수명, 습식산화/선택적 식각 방법, 표면 부위 미소 결함 및 X-선 단면 측정 분석으로 평가하였다. 그 결과, 웨이퍼 뒷면에 가해지는 기계적 손상의 세기가 강할수 록 소수반송자 재결합 수명은 짧아지고, 표면 부위 미소 결함 밀도는 비례적으로 증가하였으며, 산화 유기 적충 결함 밀 도와도 상호 일치하였다. 그래서, 표면 부위 미소 결함 기술은 산화 유기 적층 결함을 측정하는데 있어서 통상적인 부식 방법과는 별도로 사용될 수 있다.

• 한국결정성장학회지
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• 제8권1호
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• pp.117-123
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• 1998

초크랄스키 실리콘 기판의 뒷면에 형성된 기계적 손상이 미치는 효과에 대하여 고찰하였다. 기계적 손상의 정도는 레이저 여기/극초단파 반사 광전도 감쇠법에 의한 소수반송자 재결합 수명, 광열범위, X-선 단면 측정 및 습식산화/선택적 식각 방법으로 평가하였다. 그 결과, 웨이퍼 뒷면에 가해지는 기계적 손상의 세기가 강할수록 소수반송자 재결합 수명은 짧아지고, 광열 변위의 평균값은 비례적으로 증가하였으며, 손상된 웨이퍼에서 Grade 1의 과잉 광열 변위값을 1로 봤을 때 과잉 광열 변위의 정규화한 상대 정량 비는 Grade 1: Grade 2:Grade 3 = 1:19.6:41이다.

• 한국결정성장학회지
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• 제8권4호
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• pp.581-586
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• 1998

초크랄스키 실리콘 기판의 뒷면에 형성된 기계적 손상이 미치는 효과에 대하여 고찰하였다. 기계적 손상의 정도는 레이저 여기/극초단파 반사 광전도 감쇠법에 의한 소수반송자 재결합 수명, X-선 단면 측정 및 습식 산화/선택적 식긱 방법으로 평가하였다. 그 결과, 웨이퍼 뒷면에 가해지는 기계적 손상의 세기가 강할수록 소수반송자 재결합 수명은 짧아지고, 산만 산란 정도와 X-선 과잉 강도의 적분값은 비례적으로 증가하였으며, 그 값을 Grade 1의 손상된 웨이퍼에서의 과잉 강도로 정규화하면 과잉 강도의 상대 정량비는 Geade 1:Grade 2:Grade 3 = 1:7:18.4이다.