• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.93-93
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• 2012

반도체 생산 공정은 고청정 환경을 요구하며, 이를 위해 반도체 생산 장비에서 고진공 펌프는 핵심 장비이다. 크라이오 펌프는 극저온 냉동기에 의해 냉각되는 냉각판에서의 응축 또는 흡착에 의해 기체를 제거하여 고진공 환경을 조성하는 고진공 펌프의 일종이다. 특히, 기존의 상용화된 크라이오 펌프에 적용되어온 GM 극저온 냉동기에 비해 본 연구에서 개발하는 맥동관 냉동기는 저진동 및 고신뢰성의 장점을 갖기 때문에 반도체 생산 장비의 공정 정밀도 및 유지보수 주기 향상에 도움이 될 것으로 기대된다. 하지만, 맥동관 냉동기는 저온부에 움직이는 부분이 없어 많은 장점을 갖지만, GM 극저온 냉동기에 비해 성능이 낮은 단점이 있다. 때문에, 맥동관 냉동기 적용 크라이오 펌프가 기존의 상용 제품에 대해 경쟁력을 갖기 위해서는 맥동관 냉동기의 성능 향상이 요구된다. 본 연구에서는 형상 설계 및 작동 조건 최적화 등을 포함하여 크라이오 펌프용 GM 맥동관 냉동기의 성능 향상 방안에 대한 연구를 수행한다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.19 no.11
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• pp.9-17
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• 2002

최근에 초전도 산업과 저온 작동 정밀 센서 기술의 발전으로 극저온 냉동기 또는 극저온 한제에 의해 냉각된 저온 용기의 저온 유지 기술이 필요하게 되었다. 또한 의료용 MRI, 야간 투시경용 적외선 센서, 이동통신무선기지국용 초전도 필터 등과 같이 일반인들도 극저온을 이용하게 되어 보다 사용하기 쉽고 안정적인 저온용기가 요구되고 있다. 저온용기의 저온 유지 기술은 진공 및 복사 단열 기술 뿐만 아니라 극저온 발생기술과 진공 발생 기술이 같이 고려되어야 하는 복합기술로서 앞으로 전자, 정보 통신, 나노, 바이오 산업 등에도 널리 활용될 수 있는 기반 기술로 자리 매김 할 것으로 보여 관련 연구자들의 많은 노력과 관심이 요구된다.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2007.04a
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• pp.309-312
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• 2007

The cryogenic fluid is the propellant for the liquid rocket engine. The design of space launcher vehicle is guided by minimum size and weight criteria, so the turbo pump solicits high impeller speed. Such high speed results in a zone of pressure drop below vapor pressure causing caivtation around inducer blades. The cryogenic fluid has different characters from isothermal fluid like water. The cryogenic fluid has very sensible thermodynamic properties and the phase change undergoes evaporative cooling. So, the developed code has to be modified cavitation modeling and it is added the energy equation for temperature sensitivity.

• Superconductivity and Cryogenics
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• v.9 no.1
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• pp.39-42
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• 2007

• Superconductivity and Cryogenics
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• v.7 no.1
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• pp.34-38
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• 2005

• Superconductivity and Cryogenics
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• v.14 no.1
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• pp.10-14
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• 2012

• 기계와재료
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• v.10 no.2 s.36
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• pp.92-102
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• 1998

• Superconductivity and Cryogenics
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• v.17 no.2
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• pp.2-6
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• 2015

• 기계와재료
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• v.16 no.2 s.60
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• pp.104-117
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• 2004

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2003.10a
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• pp.141-144
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• 2003

In this paper, to satisfy the temperature requirement of turbopump-inlet condition, the cooling of cryogenic propellant is performed at the simulated suction-line of the Launch Vehicle. The cooling method is by using Gas helium injection. This study investigates the effect of helium injection on the liquid nitrogen which simulates the liquid oxygen. By using helium injection, the subcooling of liquid nitrogen can be achieved within four minute when the ratio of gas volume flowrate to the volume of L$N_2$ is approximately v/v$_{L}$≒0.8min$^{-1}$ . .