• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2000.07d
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• pp.2548-2550
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• 2000

RTP(Rapid Thermal Processing)은 IC제조 공정과 관련된 열처리 과정에 사용되는 단일 웨이퍼프로세스 기술이다. 반도체 웨이퍼를 고속 열처리할 때 웨이퍼별로 작은 반응실에서 가열, 가공, 냉각된다. 현재 사용되는 반도체 열처리장비는 고온로(furnace)에의해 대부분 이루어지지만, 시간이 많이 걸려서 주문형반도체 생산과 같은 다양한 종류의 웨이퍼를 소량 생산하는데는 부적절하다. 이에 매우 적은 시간이 소요되는 RTP장비가 많이 연구되고 있다. 그러나 RTP는 예기치 못한 몇 가지의 문제점을 일으킨다. 그중 하나는 웨이퍼 표면에 분포된 온도의 불 균일성이다. 이러한 불 균일성은 웨이퍼의 표면에 심각한 왜곡(distortion)을 일으켜 좋지 못한 결과를 가져오게 한다. 이번 논문의 목적은 RTP시스템을 수학적으로 모델링하고, 이를 이용하여 멀티 램프 시스템의 입력값을 조절하여 이미 배치된 램프에 대한 최적의 온도 균일도에 알맞은 각 램프입력을 구하여 램프 입력 프로파일을 만들고 또한 이를 이용하여 외란에 대한 PID 제어기 설계를 목표로 한다.

• Proceedings of the Korean Society of Disaster Information Conference
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• 2017.11a
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• pp.271-272
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• 2017

자외선 에너지는 미생물의 DNA를 파괴함으로써 살균 효과를 일으킨다. 자외선 방사로 공기 중 미생물에 대하여 높은 살균력을 얻기 위해선 강한 자외선 강도와, 흐르는 공기가 충분한 시간 동안 강한 자외선에 노출되어야 하므로 균일한 자외선 방사는 매우 중요하다. 기존 UV살균 시스템은 강한 자외선 에너지와 공기의 빠른 이동에 필요한 UV방사의 균일성을 제공하지 않았다. 하지만 HDS의 BioProtector 제품에 사용된 Advanced UV System(AUVS) 반사 캐비티 기술은 매우 높은 수준의 균일성을 생성함으로써 이 문제에 대한 해결책을 제공하며, 미생물 살균에 가장 효과적인 UV파장을 사용하여 6 LOG KILL (100만마리의 미생물 투입시 1마리 이하생존) 수준의 살균 효과를 만들었다.

• Water for future
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• v.26 no.4
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• pp.97-105
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• 1993

This paper presents the results of a study conducted to improve the understanding of the characteristics of cylindrical capsule flow in a pipeline by taking into account of the effect of capsule density uniformity. The effect of capsule density variation in the axial direction was studied both experimentally and anaytically. The experiments were conducted in a 190mm diameter straight pipe 17m long. The velocity, gap and tilt of capsules were measured under various conditions, In order to interpret the data on various capsule density conditions, the stability index given in the dimensionless number was introduced. The motion of capsules in pipelines is strongly affected by the stability of the capsules characterized by the stability index. The experiments conducted prover that the stability index is a valid criterion for explaining and correlating data on the capsule motion and the capsule density uniformity.

• Polymer Science and Technology
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• v.15 no.4
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• pp.430-437
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• 2004

인간 게놈 프로젝트 완성 및 간세포 (Stem cell) 발견으로 미래에는 현재 의학적 치료의 한계를 극복하는 의학적 혁명이 예상되고 있다. 간세포를 이용한 치료기술 개발을 위하여서는 균일한 간세포의 대량배양, 원하는 세포로의 균일한 분화, 면역학적 안전성 등이 매우 중요한 이슈가 되고 있으며 이의 해결을 위하여서는 생체적합성이 우수한 지지체의 개발이 기본이 되고 있다. (중략)

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.412-412
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• 2010

플라즈마는 미세 전기 소자 제작에 있어 박막의 증착, 식각, 세정등 여러 가지 공정에서 널리 사용되고 있다. 미세 소자의 선폭의 감소와 높은 생산성을 위한 웨이퍼 면적의 대형화가 진행됨에 따라 플라즈마의 균일도는 공정 수율 향상의 관점에서 중요한 요소로 그것의 계측과 공정 중 실시간 감시에 필요성이 부각되고 있다. 플라즈마에 존재하는 라디칼의 밀도, 이온의 밀도, 전자 온도 등의 웨이퍼 상에서의 공간 분포와 공정 결과물과의 상관관계에 대한 연구는 현재까지 다양하게 진행 되었으며 특히, 라디칼의 공간 분포가 공정 결과물의 균일도와 큰 상관 관계가 있는 것으로 알려져 있다. 라디칼의 농도 분포를 계측은 레이저 유도 형광법, 발광 분광법, 흡수 분광법 등을 통하여 이루어져 왔으며, 특히 발광 분광법의 경우 계측의 민감성, 편의성등을 이유로 가장 널리 사용되고 있다. 그러나 현재 까지 진행된 발광 분광법을 이용한 라디칼의 공간 분포 계측은 그 자체로 공간 분포를 계측하는 것이 아닌 플라즈마 밀도의 축 대칭성을 가정하여 Abel inversion을 적용하거나, 광섬유를 플라즈마에 직접 삽입하는 방식을 사용하기 때문에 실제 반도체 제작공정을 비롯한 미세소자 공정 플라즈마의 라디칼 밀도 분포를 실시간, 비 접촉 방식으로 계측 하는데 한계가 있다. 본 연구에서는 반도체 공정 플라즈마의 밀도 균일성 분석을 위한 공간 분해 발광 분광기를 제안한다. 기존의 발광 분광법과 비교하여 공간 분해능 향상을 위하여 직렬로 설치된 다수의 렌즈, 개구, 그리고 핀홀을 이용하였다. 공간 분해 발광 분광기의 공간 분해능을 계산하였으며, 실험을 통하여 검증 하였다. 또, HDP CVD를 이용한 $SiO_2$ 박막 증착 공정에서 산소 라디칼의 농도와 증착된 박막의 두께 분포의 상관 관계를 계측 함으로써 공간 분해 발광 분광기의 플라즈마 공정 적용 가능성 입증 하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2009.11a
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• pp.271-271
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• 2009

AAO(Anodic Aluminum Oxide)는 전형적인 자기정렬 되는 물질로 이루어진 나노 다공성 구조이며 많은 나노 기술적으로 응용이 되고 있다. 양극산화 알루미나 기술은 간단한 공정으로 경제적이며 규칙적인 배열의 나노 크기의 육각형의 셀 형태의 hole구조를 형성할 수 있는 장점을 가지고 있다. 이런 나노 다공성 구조는 나노 단위의 물질을 형성하는 Template로 유용하게 쓰인다. 균일한 대면적 AAO의 형성을 위한 공정 step의 개선, 공정변수의 영향에 대하여 연구 중이며 공정변수의 조절에 따라 hole의 직경, 길이, 균일성을 제어 가능하며 제작된 AAO의 특성은 FE-SEM, AFM을 이용하여 분석한다.

• KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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• v.26 no.2D
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• pp.219-223
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• 2006

Variable Message Sign(VMS) is one of the most popular travel information system. In this study, the evaluation categories, each category's datum value and evaluation procedure for enhancing the visibility of VMS are studied and the physical evaluation system is developed. The evaluation categories have been developed based on the analysis of previous guidelines used in Korea, Europe and the United States. The evaluation categories include luminance, luminance ratio, beam width, color, and uniformity. The physical evaluation system consists of goniometer, solar simulator, luminance meter, sensor and rack system. As a result of this study, the quantitative and effective evaluation of VMS visibility would become possible.

• Proceedings of the IEEK Conference
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• 2000.09a
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• pp.337-340
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• 2000

비디오객체 추출 기법은 MPEG-4 및 MPEG-7의 응용을 목표로 최근 활발하게 연구되고 있다. 이들 연구는 객체 추출의 전체적인 구조와 정확한 윤곽선 검출 알고리즘의 개발에 초점을 맞추고 있으며 제한적인 조건하에서 만족할 만한 성능을 내고 있다 그러나, 카메라 움직임, 객체의 빠른 움직임, 비강체 운동 등 보다 일반적인 상황에서는 객체 추출의 안정성이 떨어진다. 본 논문에서는 객체 추출의 안정성을 높이기 위해 칼라, 움직임 정보 등의 특징정보(feature)가 균일한 영역으로 사전분할하고, 분할된 균일영역을 추적하는 알고리즘을 제안한다. 추적된 균일 영역간의 경계는 각 영역의 통계적 분포와 영역경계의 윤곽선으로 정의된 에너지를 레벨셑 방법으로 최소화함으로 조정된다.

• Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference
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• 1998.06e
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• pp.137-140
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• 1998

본 논문은 비균일 분포 수동형 견인 배열 센서를 사용하여 입사각 추정은 물론, 도플러 주파수를 동시에 추정해내기 위한 기법을 제안한다. 균일 선형 센서 배열을 사용하는 전통적인 수동형 견인 센서 배열 처리기법은 센서간의 등 간격구조 및 단순한 표본 과정에 기인하여 활용 분야의 한계성을 가지며, 주된 응용 분야가 방사된 음향신호의 입사각을 추정하는 데만 국한되어 사용될 수 있다는 문제점을 내포하고 있다. 본 논문은 이러한 제한성을 극복하고 방사 신호들의 개별적인 입사각 및 도플러 주파수의 동시 추정이 가능한 새로운 형태의 수동형 견인 배열 센서 처리 기법을 제안한다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2009.05a
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• pp.119-120
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• 2009

시뮬레이션을 활용하여 ABS 수지상의 전해도금에서 음극 보조물에 의한 도금 두께 변화를 관찰하였다. 분극 실험 및 효율 측정실험을 통하여 시뮬레이션 입력 데이터를 산출하였으며, 음극 보조물은 제품형상에 따라 최적으로 설계되어야 도금 두께 균일화가 가장 높은 것을 시뮬레이션을 통하여 알 수 있었다. 시뮬레이션을 활용하여 설계되어진 음극 보조물을 실제 제품에 적용한 결과 음극 보조물을 적용하기 전에 비하여 도금 두께균일성이 증가하였고, 그로 인하여 표면 크랙현상이 개선되었다.