• Title/Summary/Keyword: 광 검출기

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RF Magnetron Sputtering 및 Evaporation을 이용하여 증착한 CdTe 박막의 물성평가

  • Kim, Min-Je;Jo, Sang-Hyeon;Song, Pung-Geun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.345-345
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    • 2012
  • 최근 의료산업에서는 고해상도 및 동영상 구현이 가능한 직접 방식의 X-선 검측센서에서 X-ray 흡수효율이 좋은 반도체 센서(CdTe, CdZnTe 등)와 성숙된 기술, 집적효율이 뛰어난 CMOS 공정을 이용한 제품을 출시하여 대면적화 및 고집적화가 가능하게 되어 응용분야가 점차 확대되고 있는 추세이다. 하지만 이 역시 고 성능의 X-선 동영상 구현을 위해서는 고 해상도 문제, 검출효율 문제, 대면적화의 어려움이 있다. 기존의 X-선 광 도전층의 증착은 증착 속도와 박막 품질에서 우수한 Evaporation 법이 사용되고 있다. 한편, 대면적에 균일한 박막형성이 가능하기 때문에 양산성에서 우월성을 가지는 sputtering법의 경우, 밀도가 높은 소결체 타겟의 제조가 힘들뿐만 아니라 증착 속도가 낮아 장시간 증착 시 낮은 소결밀도로 인한 타겟 Particle 영향으로 인해서 대 면적에 고품질의 박막을 형성하기가 어렵다. 하지만 최근 소결체 타겟 제조기술 발달과 함께, 대면적화와 장시간 증착에 대한 어려움이 해결되고 있어 sputtering 법을 이용한 고품질 박막 제조 기술의 연구가 시급한 실정이다. 본 연구에서는 $50{\times}50$ mm 크기의 non-alkali 유리기판(Corning E2000) 위에 Evaporation과 RF magnetron sputtering을 사용하여 다양한 기판온도 (RT, 100, 200, 300, $350^{\circ}C$)에서 $1{\mu}m$의 두께로 CdTe 박막을 증착하였다. RF magnetron sputtering의 경우 CdTe 단일 타겟(50:50 at%)을 사용하였으며 Base pressure는 약 $5{\times}10^{-6}$ Torr 이하까지 배기하였고, Working pressure는 약 $7.5{\times}10^{-3}$ Torr에서 증착하였다. 시편과 기판 사이의 거리는 70 mm이며 RF 파워는 150 W로 유지하였다. CdTe 박막의 미세구조는 X-ray diffraction (XRD, BRUKER GADDS) 및 Field Emission Scanning Electron Microscopy (FE-SEM, Hitachi)를 사용하여 측정하였다. 또한, 조건별 박막의 조성은 Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS, Horiba, 7395-H)을 사용하여 평가하였다. X-선 동영상 장치의 구현을 위해서는 CdTe 다결정 박막의 높은 흡수효율, 전하수집효율 및 SNR (Signal to Noise Ratio) 등의 물성이 요구된다. 이러한 물성을 나타내기 위해서는 CdTe 박막의 높은 결정성이 중요하다. Evaporation과 RF magnetron sputtering로 제작된 CdTe 박막은 공정 온도가 증가함에 따라 기판상에 도달하는 스퍼터 원자의 에너지 증가로 인해서 결정립이 성장한 것을 확인할 수 있었다. 따라서 CdTe 박막이 직접변환방식 고감도 X-ray 검출기 광도 전층 역할을 수행할 수 있을 것으로 기대된다.

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Design and Implementation of Intelligent Digital Controllers with Self-Validating Sensors (Self-Validating 센서를 사용한 지능형 디지털 제어기의 설계 및 구현)

  • Na, Seung-You;Bae, Hee-Jong
    • The Transactions of the Korea Information Processing Society
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    • v.7 no.12
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    • pp.3848-3854
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    • 2000
  • For the satisfying performance of a control system, design of a controller for the system which meets the required specifications and its supporting hardware that keep their functioning is important. Among the hardware of a control system, sensors are most vulnerable to malfunction. Thus it is necessary to keep track of accurate and reliable sensor readings for good controller performance. In case of sensor faults. they are detected by examining the sensor output values and the major values of the system, and then the types of the faults are recognized by the analysis of symptoms of faults. If necessary self-validating sensor values are synthesized according to the types of faults, and then they are used for the controller instead of the raw data.In this paper, a self 'validating sensor is applied to the control of a flexible link system with the sensor fault problems in the light sensor module for exact IXlsitioning to show the applicahility. It is shown that the digital controller can provide a satisfactory loop performance even when the sensor faults occur.

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The effects of succinylacetone on synthesis of protoporphyrin IX and cell growth of Myxococcus xanthus (Myxococcus xanthus의 protoporphyrin IX의 합성과 세포 성장에 대한 succinylacetone의 영향)

  • 이병욱
    • Journal of Life Science
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    • v.13 no.6
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    • pp.814-821
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    • 2003
  • Protoporphyrin IX is an intermediate molecule in the heme biosynthetic pathway. Intra- and extracellular concentrations of protoporphyrin IX in the wild type strain, Myxococcus xanthus DK1622 were measured by reverse phase HPLC. The amount of intracellular protoporphyrin IX continuously increased and reached 6.4 picomoles/mg of protein at the stationary phase. Extracellular protoporphyrin IX began to be detected from the mid-exponential phase. The culture supernatant that was collected in the stationary phase contained approximately 3.0 picomoles of proto-porphyrin IX per mg of protein. Spores formed by nutrient depletion contained about 6.5 picomole protoporphyrin IX/mg of protein. The synthesis of protoporphyrin IX and cell growth were strongly inhibited by addition of succinylacetone to a final concentration of $500\muM$. Succinylacetone, however did not appear to interfere developmental processes. Normal developmental behaviors including aggregation and spore formation was achieved even if succinylacetone was added in a medium. Photolysis among cells grown on a starvation medium supplemented with succinylacetone was also observed. These results indicate that protoporphyrin IX may be important to M. ,xanthus vegetative growth, but not critical to development processes.

교류형 플라즈마 방전 표시기 방전유지 전압의 전압 상승 시간의 변화에 따른 방전 현상의 변화

  • 김중균;양진호;윤차근;황기웅
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.229-229
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    • 1999
  • 교류형 플라즈마 방전 표시기(AC Plasma Display Panel, AC PDP)의 구동에서의 방전 현상은 기입방전, 유지방전, 소거 방전이 있다. 이중 유지 방전은 표시장치로서의 휘도와 계조의 표현을 위한 방전으로 표시기로서의 효율을 결정하게 된다. 본 연구에서는 유지 방전 전압의 상승 시간의 변화에 따른 방전현상과 휘도, 효율의 변화를 살펴 보았다. 방전 현상에서의 가장 큰 변화는 교류형 플라즈마 방전 표시기의 방전 개시 전압과 방전 유지 전압의 변화이다. 유지 전압의 상승시간이 증가할수록 방전 개시 전압과 방전 유지 전압의 변화이다. 유지 전압의 상승 시간이 증가할수록 방전 개시 전압과 방전 유지 전압의 차(sustain margin)는 감소하여 상승 시간이 1$\mu$s/100V 이상의 영역에서는 방전 개시 전압과 방전 유지 전압이 차이가 없어지게 된다. 이는 방전 유지 전극 위의 유전체에 쌓이게 되는 벽전하(wall charge) 양의 감소에 의한 방전 약화의 영향을 보여질 수 있다. 그러나 방전 유지 전압의 형태와 전류의 시간적인 변화를 살펴보면 이러한 약한 방전은 벽전하의 감소에 의한 방전 시의 전계 감소보다는 방전 전류의 발생 시간이 방전 전압이 증가하여 최고점에 이르지 못한 시간에 위치하여 방전이 형성될 때의 전계가 강하지 못하기 때문인 것을 알 수 있다. 방전 전류를 측정한 결과에 의하면 방전 전류의 시작은 변위 전류가 흐르고 난 후부터 시작되며 그 결과 방전 전류가 최고점에 도달하는 시간은 방전 전압 상승 시간이 길어질수록 낮은 전압에서 형성되게 된다. 또한 방전 유지 전압의 상승 시간이 길어질수록 플라즈마 방전표시기의 휘도와 효율은 낮아지고 이 결과 또한 약한 전계에서의 방전에 의한 결과로 생각되어진다.플라즈마의 강도값을 입력하여 플라즈마의 radiation을 검출하고, 스퍼터링 공정중 실질적인 in-situ 정보로 이용하였다. PEM을 통하여 In/Sn의 플라즈마 강도변화를 조사하였다. 초기 In/Sn의 플라즈마 강도(intensity)는 강도를 100하여, 산소를 주입한 결과, plasma intensity가 35 줄어들었고, 이때 우수한 ITO 박막을 얻을 수 있었다. Pulsed DC power를 사용하여 아크 현상을 방지하였다. PET 상에 coating 된 ITO 박막의 표면저항과 광투과도는 4-point prove와 spectrophotometer를 이용하여 분석하였고, AES로 박막의 두께에 따른 성분비를 확인하였다. ITO 박막의 광투과도는 산소의 유량과 sputter 된 In/Sn ion의 plasma emission peak에 따라 72%-92%까지 변화하였으며, 저항은 37$\Omega$/$\square$ 이상을 나타내었다. 박막의 Sn/In atomic ratio는 0.12, O/In의 비율은 In2O3의 화학양론적 비율인 1.5보다 작은 1.3을 나타내었다.로 보인다.하면 수평축과 수직축의 분산 장벽의 비에 따라 cluster의 두께비가 달라지는 성장을 볼 수 있었고, 한 축 방향으로의 팔 넓이는 fcc(100) 표면의 경우 동일한 Ed+Ep값에 대응하는 팔 넓이와 거의 동일한 결과가 나타나는 것을 볼 수 있다. 따라서 이러한 비대칭적인 모양을 가지는 성장의 경우도 cluster 밀도, cluster 모양, cluster의 양 축 방향 길이 비, 양 축 방향의 평균 팔 넓이로부터 각 축 방향의 분산 장벽을 얻어낼 수 있을 것으로 보인다. 기대할 수 있는 여러 장점들을 보고하고자 한다.성이 우수한 시

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Fabrication of Label-Free Biochips Based on Localized Surface Plasmon Resonance (LSPR) and Its Application to Biosensors (국소 표면 플라즈몬 공명 (LSPR) 기반 비표지 바이오칩 제작 및 바이오센서로의 응용)

  • Kim, Do-Kyun;Park, Tae-Jung;Lee, Sang-Yup
    • KSBB Journal
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    • v.24 no.1
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    • pp.1-8
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    • 2009
  • In the past decade, we have observed rapid advances in the development of biochips in many fields including medical and environmental monitoring. Biochip experiments involve immobilizing a ligand on a solid substrate surface, and monitoring its interaction with an analyte in a sample solution. Metal nanoparticles can display extinction bands on their surfaces. These charge density oscillations are simply known as the localized surface plasmon resonance (LSPR). The high sensitivity of LSPR has been utilized to design biochips for the label-free detection of biomolecular interactions with various ligands. LSPR-based optical biochips and biosensors are easy to fabricate, and the apparatus cost for the evaluation of optical characteristics is lower than that for the conventional surface plasmon resonance apparatus. Furthermore, the operation procedure has become more convenient as it does not require labeling procedure. In this paper, we review the recent advances in LSPR research and also describe the LSPR-based optical biosensor constructed with a core-shell dielectric nanoparticle biochip for its application to label-free biomolecular detections such as antigen-antibody interaction.

A Study on the Synthetic Aperture Radar Processor using AOD/CCD (AOD/CCD를 이용한 합성개구면 레이다 처리기에 관한 연구)

  • 박기환;이영훈;이영국;은재정;박한규
    • The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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    • v.19 no.10
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    • pp.1957-1964
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    • 1994
  • In this thesis, a Synthetic Aperture Rarar Processor that is possible real-time handling is implemented using CW(Continuose Wave) laser as a light source, CCD(charge Coupled Device) as a time integrator, and AOD(Acousto-Optic Device) as the space integrator. One of the advantages of the proposed system is that it does not require driving circuits of the light source. To implement the system, the linear frequency modulation(chirp) technique has been used for radar signal. The received data for the unit target was processed using 7.80 board and accompanying electronic circuits. In order to reduce the smear effect of the focused chirp signal which occurs Bragg diffrection angle of the AOD has been utilized to make sharp pulses of the laser source, and the pulse made synchronized with the chirp signal. Experiment and analysis results of the data and images detected from CCD of the proposed SAR system demonstrated that detection effect is degrated as the unit target distance increases, and the resolving power is improved as the bandwidth of the chirp signal increases. Also, as the pulse width of the light source decreases, the smear effect has been reduced. The experimental results assured that the proposed system in this papre can be used as a real time SAR processor.

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Evaluation of Fatty Acids in Dunaliela tertiolecta, in Various Culture Conditions (배양 조건을 달리한 Dunaliela tertiolecta의 조체내 지방산 분석)

  • Yoon Duk-Hyun;Jeon Joong-Kyun;Park Chul-Won
    • Journal of Aquaculture
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    • v.2 no.1
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    • pp.43-51
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    • 1989
  • Fatty acid contents were measured in the cultures of the flagellate green algae Dunaliella tertiolecta Butcher under different conditions of light intensity, duration of light, and temperature. Duration of light and temperature, in particular, affected the growth rate of D. tertiolecta. The maximun cell number reached $2.32{\times}10^6$ cells/ml. The division rate per day was 1.97 in the exponential phase. The analysis of fatty acids obtained from various conditions showed that the lipid mainly contained C16, C18:3$\omega$3 fatty acids and there was no significant level of polyunsaturated fatty acids such as EPA and DHA. Polyene fatty acid increased with decreasing temperature and light intensity did not influence on fatty acid composition. The increasing duration of light enhanced the growth of D. tertiolecta, whereas polyene($\omega$3) slightly increased with decreasing the light period.

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A Study on the Attenuation of Surface Acoustic Waves by Optical Measurement Method (광학적 측정방법에 의한 표면 탄성파의 감쇠에 관한 연구)

  • You, I.H.;Kim, D.I.
    • Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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    • v.14 no.4
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    • pp.237-243
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    • 1995
  • We have studied methods of detecting attenuation of solid materials such as silicon wafer and piezoelectric $LiTaO_3$ by means of optical probing techniques. We have performed measurements of surface acoustic waves(SAW) generated from 90 degree wedge type transducer and also from inter-digital transducers(IDT). SAW of 20.0 MHz was generated on a silicon wafer from the 90 degree wedge type transducer and those of 20.8 and 14.5 MHz are generated on a $LiTaO_3$ from the IDT. Then any surface-corrugation resulted from the above SAW was investigated by He-Ne laser beams. We projected laser beams, which were modulated by an optical chopper, on the SAW of the same frequency and then measured the scattered beam by the lock-in amplifier. We modulated and synchronized both SAW and the incident laser beam as well as the phase sensitive detector(PSD) to the same frequency in order to simplify our measurement system. We obtained the attenuation coefficients of SAW to be $0.62{\sim}0.75dB/mm$(from IDT1, 20.8 MHz), and $0.60{\sim}0.72dB/mm$(from IDT2, 14.5 MHz), $0.83{\sim}1.28dB/mm$(from the wedge type), respectively.

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Vehicle Headlight and Taillight Recognition in Nighttime using Low-Exposure Camera and Wavelet-based Random Forest (저노출 카메라와 웨이블릿 기반 랜덤 포레스트를 이용한 야간 자동차 전조등 및 후미등 인식)

  • Heo, Duyoung;Kim, Sang Jun;Kwak, Choong Sub;Nam, Jae-Yeal;Ko, Byoung Chul
    • Journal of Broadcast Engineering
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    • v.22 no.3
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    • pp.282-294
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    • 2017
  • In this paper, we propose a novel intelligent headlight control (IHC) system which is durable to various road lights and camera movement caused by vehicle driving. For detecting candidate light blobs, the region of interest (ROI) is decided as front ROI (FROI) and back ROI (BROI) by considering the camera geometry based on perspective range estimation model. Then, light blobs such as headlights, taillights of vehicles, reflection light as well as the surrounding road lighting are segmented using two different adaptive thresholding. From the number of segmented blobs, taillights are first detected using the redness checking and random forest classifier based on Haar-like feature. For the headlight and taillight classification, we use the random forest instead of popular support vector machine or convolutional neural networks for supporting fast learning and testing in real-life applications. Pairing is performed by using the predefined geometric rules, such as vertical coordinate similarity and association check between blobs. The proposed algorithm was successfully applied to various driving sequences in night-time, and the results show that the performance of the proposed algorithms is better than that of recent related works.

Analysis of 766 keV Gamma Peak from NPP Environmental Samples (원전주변 환경시료의 766 keV 감마선에너지 피크에 대한 해석)

  • Kim, Wan;Lee, Hae-Young;Yang, He-Sun;Park, Hae-Soo;Kim, Bong-Kuk;Park, Hwan-Bae;Kim, Hong-Joo;Lee, Sang-Hoon
    • Journal of Radiation Protection and Research
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    • v.34 no.4
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    • pp.190-194
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    • 2009
  • Gamma spectral results for macroalgae samples taken from the environment of Ulchin nuclear power plants in Korea (east coast), showed 766 keV peaks, which were identified as $^{95}Nb$ by several research institutes. After the enhancement of liquid radioactive waste disposal facility at Ulchin NPP site, the $^{95}Nb$ amount in the liquid radioactive waste outflow has drastically reduced, but the expected reduction in $^{95}Nb$ specific activity from environmental samples did not actually show up on gamma spectroscopy. Detailed re-investigation revealed that along with 766 keV peak, other peaks (63, 92 and 1001 keV) from $^{234}Th-^{234}mPa$ decay series were also detected on spectroscopy, and that the measured half lives of the four peaks were very close to known half life of $^{234}Th-^{234}mPa$ decay series, which is 24.1 day. The measured gamma yield ratios of 766 keV peak to 1001 peak were very close to known ratio 0.35 for $^{234}mPa$. It is concluded that 766 keV peaks on gamma spectroscopy of Ulchin NPP environmental samples were mainly from $^{234}mPa$, which is one of naturally occurring radionuclides.