• 제목/요약/키워드: 광축의 기울임각

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단축이방성 배향막이 코팅되어 있는 다층박막시료의 타원식 (Ellipsometric Expressions of Multilayered Substrate Coated with a Uniaxially Anisotropic Alignment Layer)

  • 김상열
    • 한국광학회지
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    • 제24권5호
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    • pp.271-278
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    • 2013
  • 다층박막이 있는 기층에 단축이방성 배향막이 코팅되어 있을 때 비스듬히 입사한 빛의 유효반사계수 표현들을 유도하였다. 유효반사계수들과 타원상수들을 다층박막의 미지상수들은 물론 단축이방성 배향막의 광학이방성의 크기와 광축의 방향 그리고 배향막의 두께로 표현하였다. 이를 바탕으로 배향막의 정상굴절률과 이상굴절률, 배향된 두께 그리고 광축의 방위각과 기울임각을 다층박막의 두께나 조성비 등과 함께 타원법이 가지고 있는 높은 수준의 측정 정밀도를 유지하며 기존의 모델링 분석방법으로 결정할 수 있도록 하였다.

두개의 단축이방성 박막이 있는 다층박막 시료의 타원식 (Ellipsometric Expressions for Two Uniaxially Anisotropic Layers Coated on a Multilayered Substrate)

  • 김상열
    • 한국광학회지
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    • 제26권2호
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    • pp.115-120
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    • 2015
  • 광축의 각도가 서로 다른 두 단축이방성 박막이 다층박막 기층시료 위에 코팅되어 있을 때 비스듬히 입사한 빛의 유효반사계수 표현들을 유도하였다. 유효반사계수로부터 타원상수 표현들을 구하고 이 타원상수의 단축이방성 박막 광축각도 의존성으로부터 단축이방성 박막의 표면 이방성에 의한 효과와 주층 이방성에 의한 효과를 구분하여 해석할 수 있도록 하였다.