초크랄스키 실리콘 기판의 뒷면에 형성된 기계적 손상이 미치는 효과에 대하여 고찰하였다. 기계적 손상의 정도는 레이저 여기/극초단파 반사 광전도 감쇠법에 의한 소수반송자 재결합 수명, 광열범위, X-선 단면 측정 및 습식산화/선택적 식각 방법으로 평가하였다. 그 결과, 웨이퍼 뒷면에 가해지는 기계적 손상의 세기가 강할수록 소수반송자 재결합 수명은 짧아지고, 광열 변위의 평균값은 비례적으로 증가하였으며, 손상된 웨이퍼에서 Grade 1의 과잉 광열 변위값을 1로 봤을 때 과잉 광열 변위의 정규화한 상대 정량 비는 Grade 1: Grade 2:Grade 3 = 1:19.6:41이다.
A new method of measuring the thermal diffusivity of solid material at room temperature with photothermal displacement method is proposed. The influence of the parameters on phase lag was studied. From the minimum position of phase of measured deflection with respect to the pump beam the thermal diffusivity of the materials can be obtained. The minimum position of phase is determined using multiparameter least-square regression fitting. The experimental values for different samples obtained by applying new method are in good agreement with the literature values.
고체재료의 열확산계수나 열전도계수와 같은 열물성을 비접촉식 방법으로 측정하기 위하여 광열변위법에 대한 이론적인 해석을 수행하였다. 가열빔의 파형을 코사인파, 삼각파 그리고 사각파로 가정하여 2차원 열전도 방정식과 열탄성 방정식의 엄밀해를 구하였고, 이를 가열빔으로부터 직접 구한 실제파의 결과와 비교하였다. 코사인파의 결과가 다른 파형에 비하여 실제파와 가장 유사한 것으로 보아 비교적 해석이 복잡한 실제파를 코사인파로 가정하여도 무방하다.
As the technology has developed and new materials have been produced, it is important to measure the thermal diffusivity of material and to predict the heat transfer in the solid subject to thermal processes. This measurement can be done in a non-contact way using photothermal displacenent spectroscopy. In this study, photothermal displacement method was used to measure the thermal diffusivity quantitatively. The specimens used in this study were the pure materials. The Ar-ion laser was used as an energy source and the periodical deformation induced by this pump laser was detected by the He-Ne laser. The magnitude and the phase angle of deformation gradient were measured. The thermal diffusivity was obtained by analyzing the phase angle of deformation gradient. As the result, comparing with the literature value, the thermal diffusivities of materials measured were showed about 2% error.
A new method of measuring the thermal diffusivity of solid material at room temperature using photothermal displacement is proposed. The influence of the parameters, such as radius and modulation frequency of the pump beam and the sample thickness, was studied. From the minimum position of phase of measured deflection with respect to the pump beam, the thermal diffusivity of the materials can be obtained. The position where phase has the minimum value is determined using multiparameter least-square regression fitting. The experimental values for different samples obtained by applying the new method are in good agreement with the literature values.
A complete theoretical treatment of the photothermal displacement technique has been performed for thermal diffusivity measurement in semi-infinite solid materials. The influence of the parameters, such as radius and modulation frequency of the heating beam and the thermal diffusivity, was studied. Usually, thermal diffusivity was determined by the deformation angle and phase angle as the relative position between the heating and probe beams. In this study, we proposed the simple analysis method based on the real part of deformation gradient as the relative position between two beams. It is independent in the parameters such as power of heating beam, absorption coefficient, reflectivity, Poisson's ratio, and thermal expansion coefficient.
A complete theoretical treatment of the photothermal displacement technique has been performed for thermal diffusivity measurement in solid materials. The influence of parameters - radius and modulation frequency of pump beam and thickness of material - on the phase lag was studied. The phase decreases up to a certain position, then starts to increase and does have an asymptotic value. The position, where phase has the minimum value, is a function of thermal diffusion length thickness of sample, and radius of pump beam. A new method based on minimum phase lag is described to determine the thermal diffusivity of solid material.
A new method of measuring the thermal diffusivity of solid material at room temperature using photothermal displacement is proposed. The influence of the parameters, such as radius and modulation frequency of the pump beam and the sample thickness, was studied. In previous works, thermal diffusivity was determined by the deformation angle and phase angle as the relative position between the heating and probe beams. In this study, however, we proposed the new analysis method based on the real part of deformation angle as the relative position between two beams. From the zero-crossing position of real part of deformation angle with respect to the pump beam, the thermal diffusivity of the materials can be obtained. The experimental values for different samples obtained by applying the new method are in good agreement with the literature values.
본 논문에서는 원하는 경로를 따라 자동비행 중인 무인 항공기가 전진비행이 어려울 만큼 강한 맞바람을 받게 되었을 때 지나온 경로를 다시 추종하며 후진 비행하는 방법을 제시한다. 본 연구에서 후진경로추종의 목적은 바람이 다시 약해졌을 경우 단시간에 정상임무에 복귀하기 위함이다. 비선형경로추종 유도법칙에 의해 경로 상에 두 개의 Reference points가 생성된다. 후진방향을 고려하여 적절한 것을 선택하고 그 점과 항공기까지의 변위벡터 $\vec{L}$을 이용하여 경로추종에 이용한다. 또한 바람이 발생한 시점에서 바람방향에 대한 초기 기수방향이 후진경로추종 가능여부를 결정한다. Matlab으로 수행된 시뮬레이션을 통하여 운동학 모델에 근거해 본 연구에서 제시된 방법의 결과를 확인했다.
부산지역은 낙동강 하구에 위치하여 퇴적층, 매립층 등이 매우 잘 발달되어 있어 지진이 발생한다면 이러한 지층 등에서 증폭현상이 나타나 모래층과 성토층 및 매립지반에 액상화 발생 가능성이 매우 커진다. 만약 액상화가 발생한다면 지진에 의한 피해는 크게 가중되어 막대한 피해를 야기 시키게 된다. 그러므로 본 연구는 지진 발생 시 항만시설의 1차 보호구조물인 부산항 신항 방파제의 안정성을 검토하기 위하여, 국내 내진설계기준과 항만 및 어항 설계기준을 바탕으로 인공지진과 국내에 널리 사용되는 장주기 지진파와 단주기 지진파인 포함하여 지진규모 5.6~7.9 수준의 지진 13개 등을 사용하여 첫 번째로 여러 제시된 액상화 평가방법을 이용하여 방파제 하부 치환모래층의 액상화 발생 가능성을 검토하여 안정성을 평가하고, 두 번째 지진규모에 따른 지진에너지와 가속도 응답스펙트럼에 대한 특성분석을 수행하여 설계기준에 근접하는 지진파 제시하며, 세 번째 제시된 지진파를 이용하여 방파제의 동적 안정성을 검토하기 위해 유한요소해석을 실시하여 구조물의 안정성을 확인하고, Geotextile에 발생하는 변위 및 인장력의 변화에 대하여 확인하였다. 따라서 본 연구결과 방파제 하부 치환모래층에 대한 액상화 발생가능성과 방파제의 동적수평변위 및 Geotextile의 변화는 하부지반(치환모래층)에 의해 매우 큰 영향을 받는 것으로 나타났다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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