광경화성 수지의 국부적 점성 신장을 이용한 고세장비 마이크로 구조물 제작에 관한 기초공정 연구 (A Study on the basic process for fabrication of high aspect ratio micro structure using partial viscous extension of photoresist)
-
- 한국정밀공학회:학술대회논문집
- /
- 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
- /
- pp.645-646
- /
- 2011