• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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• pp.169-169
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• 2004

현미경을 이용한 자동화된 검사 공정에 있어서 무엇보다 중요한 과정은 초점조절이며, 피 측정물의 선명한 현미경 영상을 얻기 위한 빠르고 신뢰도가 높은 자동초점조절 방법들은 일련의 검사공정에 있어서 필수 불가결한 요소로 자리매김 하고 있다. 일반적으로 널리 사용되고 있는 수동형 자동초점조절 방법들은 측정물체 표면의 영상대비 정보를 이용하는 방법으로 구성이 비교적 간단하지만, 최대대비 위치를 찾기 위한 주사과정이 필요하므로 시간 소요가 크고, 시편에 대한 의존도가 높다는 단점이 있다.(중략)

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표 논문집
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• pp.5-9
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• 2006

공초점 주사 현미경(Confocal Scanning Microscope, CSM)은 Bio-cell 및 특정 형태를 가지는 object의 고분해능 3차원 영상복원이 가능하여 3차원 측정장비로 주로 사용된다. 특히 LCD 패널 및 반도체 웨이퍼의 불량 검사 장비로의 활용이 가능하여 3차원 영상으로부터 불량 여부와 원인을 알아낼 수 있다. 하지만 생산 공정에서 불량 검사를 하기 위해서는 고속, 고품질의 성능이 요구된다. 따라서 이 논문에서는 공초점 주사 현미경을 이용하여 고분해능으로 고속, 고품질의 3차원 영상복원을 할 때 어떠한 조건이 요구되는지 알아보고 시뮬레이션 하도록 하겠다.

• 대한소아치과학회지
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• 제35권1호
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• pp.57-64
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• 2008

본 연구의 목적은 인공적으로 형성한 법랑질 초기 우식 병소를 불소 바니쉬로 재광화하여 그에 따른 무기질의 변화를 공초점 레이저 주사 현미경을 사용하여 정량적으로 비교 평가 하는 것이다. 이 연구에서는 발거된 60개의 치아에 인공적으로 법랑질 초기 우식 부위를 형성한 후, 각 20개씩 3군으로 나누었다. 1군과 2군은 실험군으로 불소 바니쉬 도포후 각각 1주, 2주 동안 인공타액에 저장하여 재광화 했으며, 3군은 대조군으로 2주간 인공타액에 저장하였다. 그 후 공초점 레이저 주사 현미경을 사용하여 관찰한 결과 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 실험군에서 탈회 후 불소 바니쉬를 도포한(재광화) 부위의 형광강도는 탈회 부위보다 각각 통계적 유의성 있게 감소하였다(p<0.05). 2. 불소 바니쉬를 도포하고 인공타액에 2주간 보관한 군이 1주간 보관한 군보다 불소 바니쉬 도포 부위의 형광강도 감소가 통계적으로 유의성 있게 더 크게 나타났다(p<0.05). 3. 불소 바니쉬를 도포하고 2주간 인공타액에 보관한 군은 대조군에 비해 불소 바니쉬 도포 부위의 형광강도 감소가 통계적으로 유의성 있게 더 크게 나타났다(p<0.05). 4. 공초점 레이저 주사 현미경을 통해 불소 바니쉬를 이용한 재광화를 정량적으로 분석할 수 있었다.

• 한국가시화정보학회지
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• 제1권1호
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• pp.28-33
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• 2003

This paper presents the visualization method in which 3-dimensional(3D) microchannel flow can be detected using a confocal scanning microscope. By soft-lithography, we fabricated various Bio-MEMS(Micro Electro-Mechanical System) devices such as a disposable microchip for a flow cytometer and a micro-mixer, which have 3D structures. Injecting aqueous fluorescent solution in the microfluidic devices, we measured the flow in a steady state by the confocal scanning microscope. At first, we explain the principle of the confocal scanning microscope. And then we show the results from 3D visualization of microscopic flow structures using the confocal scanning microscope.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2002년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.187-190
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• 2002

Confocal microscopy is very popular technology in bio-medical inspection due to its ability to reject background signals and to measure very thin slide of thick specimens, which is called optical sectioning. But intensity of detected signal in fluorescence type confocal microscopy is so small that only 0.2% of emitted fluorescence light can be detected in the best case. In this paper, we proposed the reflecting optical system to improve the detection intensity and designed the optical system by optimal design method. At the end of the paper, we analyzed the characteristics of the proposed reflecting optical system.

• 한국광학회지
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• 제10권3호
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• pp.201-207
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• 1999

단일모드 광섬유와 결합기를 이용하여 간결한 구조의 광섬유 공초점 간섭 현미경을 구성하였으며, 위상 변위법을 응용한 표면 검색 방법을 제안하여 통신용의 반도체 레이저와 같이 비교적 긴 파장의 광원과, 낮은 NA의 대물렌즈를 사용하더라도 정밀한 시료 표면 검색이 가능함을 보였다. 이때 시료 표면의 높낮이는 시료로부터 반사된 빛의 위상으로부터 결정되며, 종래의 공초점 현미경에 비하여 주사시간을 크게 단축할 수 있었다. 끝으로 종래의 방법에 비해 제안된 방법은 시료의 반사율 변화에 덜 민감함을 확인할 수 있었다.

• 한국정밀공학회지
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• 제21권2호
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• pp.92-99
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• 2004

The errors can cause the serious loss of the performance of a precision machine system. In this paper, we proposed the method of allocating the alignment tolerances of the parts and applied this method to get the optimal tolerances of a Confocal Scanning Microscope. In general, tight tolerances are required to maintain the performance of a system, but a high cost of manufacturing and assembling is required to preserve the tight tolerances. The purpose of allocating the optimal tolerances is minimizing the cost while keeping the high performance of the system. In the optimal problem, we maximized the tolerances while maintaining the performance requirements. The Monte Carlo Method, a statistical simulation method, is used in tolerance analysis. Alignment tolerances of optical components of the confocal scanning microscope are optimized to minimize the cost and to maintain the observation performance of the microscope. We can also apply this method to the other precision machine system.

• 기계저널
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• 제45권3호
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• pp.49-51
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• 2005

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2005년도 하계학술발표회
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• pp.172-173
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• 2005

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2006년도 하계학술발표회 논문집
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• pp.221-222
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• 2006