본 논문에서는 뇌압을 측정하기 위해 LC 공진을 이용한 압력센서를 제작하고 그 성능을 시험하였다. 원격 측정용 압력센서는 움직이는 전극역할을 하는 p+ 박막이 있는 실리콘 기판과 고정된 평면 코일이 있는 유리 기판으로 구성되어 있다. 압력에 따라 두 전극 간의 간격이 달라지고 이에 따른 캐피시턴스가 변화하여 공진주파수가 변화하게 된다. 원격 측정용 외부 안테나를 이용하여 측정회로의 공진 주파수에서 위상의 변화를 측정하여 압력을 측정한다. 상부기판은 실리콘 기판을 도핑하여 p+ 막을 형성하고 금속막을 증착하여 전극을 형성한 후 실리콘을 식각하여 완성하고. 하부기판은 유리 기판 위에 금속막을 증착한 후. 전기도금으로 평면 코일을 형성하고 다시 금속막을 증착하여 전극을 형성하여 제작한다. 압력을 변화시킬 때 전극간의 간격의 변화에 따른 공진주파수에서의 위상의 변화를 외부 안테나에 연결된 측정회로를 통해 측정한다. 측정결과 공진주파수인 160 Mhz에서 -0.08 $deg/mmH_2O$의 감도를 얻을 수 있었다.
We have developed the detection method of the resonance frequency of micro/nano mechanical resonator using optical method. The optical interferometery method enabled us to detect the displacement change of resonators within several nm scale. The micro mechanical resonator was produced by attaching a micro mechanical cantilever to a piezo ceramic. The mass of cantilever was increased by evaporating Au using electron beam evaporator and the mass variation was estimated by detecting the resonance frequency changes.
Several methods of aligning ring type cavities have been investigated for long time. The measurement of cavity transmission spectrum control is somewhat effective due to aligning cavity with measuring cavity loss at the same time. In this research, four mirrors are aligned and attached by the measurement of pulse width of the transmitted light. The intracavity loss is optimized to about 0.98%, giving the calculated total reflection coefficient of about 99.02%.
Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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v.22
no.7
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pp.1015-1020
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2018
The cavity resonator is one of the widely used components in the microwave applications. The unloaded Q, the resonant frequency, and the coupling factor are basic parameters of a cavity. A simple unloaded Q factor measurement procedure of a cavity is proposed in a lossy coupling. The equivalent circuit of a cavity with coupling loss at near the resonant frequency is presented. The coupling loss resistance was found by the measurement of a cavity impedance. The cavity impedance compensated coupling loss was redrawn on the Smith Chart. The loaded Q and coupling factor were obtained based on the compensated impedance locus and then the unloaded Q factor was calculated. To verify the proposed procedure, the cavity with lossless coupling was measured. The two measurement results in the lossy and lossless coupling agree well. The results confirm the proposed procedure is valid.
본 논문에서는 NE6510179A 트랜지스터를 사용하고, 나선형 공진기를 이용하여 단일 고출력 발진기를 설계 측정하였다. 발진기의 출력과 주파수 선택을 공진기가 결정하므로, 공진기중에 Q값이 높은 나선형 공진기를 선택하였다. 이를 ADS Momentum을 이용하여 설계하여 제작 및 측정을 하였다. 이 때 측정된 단일 고출력 발진기의 성능은 22.61dBm @ 1.74GHz로 측정되었고, 위상잡음은 -146.76dBc/Hz @ 1MHz offset으로 측정 되었다.
The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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v.19
no.10
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pp.1115-1121
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2008
In this paper, dielectric slab loaded cylindrical cavity resonator measurement technique is presented to determine the dielectric constant of a dielectric material. The dielectric constant is measured by the resonant frequency deviation of empty and dielectric slab loaded cavity. Characteristic equations are derived by th exact field analysis. The measurement configurations are formed using HP8719A vector network analyzer and an experimental cylindrical metallic cavity with circular cross-section. The validity of the theory is confirmed by experiments and CST MWS 4.0(3D simulator). The results were in the whole satisfactory. The measured dielectric constant of teflon and bakelite are 2.03 and 4.44, respectively.
세라믹재료의 동탄성계수 측정을 위한 공진주파수 측정장치를 구성하였다. 구조용 세라믹 재료로 이용되는 $Al_{2}$O_{3}$, SiC, $Si_{3}$N_{4}$의 온도를 120$0^{\circ}C$까지 5$0^{\circ}C$의 온도간격으로 올리면서 torsional resonant frequency와 flexural resonant frequency를 측정하고, 측정된 공진주파수로부터 각 재료의 탄성계수를 구하였다. SiC의 경우는 120$0^{\circ}C$의 온도까지 탄성계수가 선형적으로 감소하였으나, $Al_{2}$O_{3}$와 $Si_{3}$N_{4}$의 경우에는 각각 100$0^{\circ}C$와 80$0^{\circ}C$까지는 선형적으로 감소하나, 그 이상의 온도에서는 탄성게수의 감소폭이 증가하는 현상을 보였다. 이러한 현상은 다결정재료에서의 grain boundary sliding에 의한 것으로 알려져 있다. 상온에서 공진법으로 측정된 동탄성계수의 측정결과는 초음파법으로 측정한 결과와 비교하였는데, 4% 내에서 서로 일치하는 결과를 보였다.
It is observed that the mode spacing of an cxternal cavity semiconducror laser can be altered dramatically by the insertion of an intracavity etalon. 111e mode spacing is decreased as a function of etalon's reflectivity and this effect is quantitatively explained by an analysis of resonant modes. We abo show that this effect provides a precise and convenient alternative for determining the coating reflectivity of a high reflectivity etalon. talon.
The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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v.24
no.2
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pp.214-217
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2013
In this paper, a waveguide-type resonator with a slot is proposed to measure permittivity of thin film from resonant frequency shifting by an attached MUT(Material Under Test). The MUT on the slot shifts resonant frequency by perturbation of electromagnetic field. Amount of shifting resonance frequency is dependent on the permittivity of MUT, and that relation is obtained from numerical simulation. The measured relative permittivity of a thin film with thickness of $65{\mu}m$ is 3.3492 with standard error of ${\pm}0.0605$ in the frequency range of 2 GHz to 3 GHz. Also the proposed method is compared with other measuring methods such as dielectric resonator and waveguide probe systems.
본 논문은 무선전력전송을 위한 자기공진코일의 최적 설계에 관한 내용이다. 공진코일의 턴수, 공진코일 사이의 거리, 코일을 형성하는 도선의 두께, 공진코일의 구조에 따라 공진시스템의 공진주파수와 전송효율 등의 공진특성에 영향을 준다. 이때 소스코일과 수신코일은 턴수가 1인 단일원형루프코일을 사용한다. 공진시스템의 공진특성은 상용툴인 HFSS를 이용한 시뮬레이션으로 분석하였고, 측정을 통해 성능을 검중하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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