• Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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• v.17 no.2
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• pp.73-80
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• 2012

It has been highly required to develope an automatic metal surface inspection system, specifically using image processing techniques, which can replace the visual inspection method in the steel industry. In this paper, we propose a precisional surface measurement system using the moving average image processing technique. When the surface patterns which are generated in the rolling process of metal plates are recognized as defects, the proposed system can measure the actual number of defects. It has been proved that our system shows better results than the conventional FFT method.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1996.04a
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• pp.227-231
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• 1996

기계가공 생산시스템에서 대량생산라인의 경우에는 측정 및 검사공정을 별도로 두고 있으나, 금형과 같은 다품종 소량 생산품의 경우에는 이러한 방식이 적합하지않다. 이러한 경우에는 유연성이 높은 3차원 측정기(CMM)를 설치하여 운용하고 있으나 운용비용이 많이 들고 관리하기가 쉽지 않으며 Setup 및 측정시간이 길어져 비경제적일 수가 있다. 또한 3차원 측정기의 한정된 크기때문에 대형가공물이라든지 탈착이 어려운 생산품의 경우에는 마땅한 특정 방법이 없는 실정이다. 본 연구에서는 개발된 OMM 시스템을 3종류의 TV Shadow Mask 금형의 측정에 적용한 결과를 소개한다. 측정된 결과는 CMM을 이용해 측정한 결과와 비교 했고, 비교된 결과를 이용해 개발된 시스템의 반복정밀도, 측정 정확도를 통계적 방법으로그리고 경제적 관점에서 CMM을 이용 한 기존의 방법과 개발된 시스템을 비교 평가했다.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2009.11a
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• pp.539-540
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• 2009

본 논문에서는 무선 메쉬 네트워크에 기반한 공정제어 시스템에서의 노드 고장에 따르는 통신 시스템의 특성을 파악하기 위하여 시뮬레이션 환경을 설정하고 노드의 고장 수와 그리드의 차원에 따르는 고립노드의 수를 측정하였다. 실험 환경에서 좌상단의 노드를 제어포인트로 설정하고 각 무선링크의 오류율이 주어졌을 때 노드들에 고장을 발생시켜 제어포인트로부터의 도달가능성을 측정하였다. 실험 결과는 25 % 보다 많은 노드들의 고장은 정상적인 노드를 고립시키기 시작하며 그리드의 차원이 클수록 동일한 비율의 노드 고장에도 더 영향을 받음을 보이고 있다. 이는 노드들의 고장율이 높은 시스템인 경우 노드 수리의 시간과 비용의 요구사항을 추정할 수 있도록 하며 그리드의 차원이 8 이상인 경우 또다른 제어포인트, 즉 싱크노드 도입의 필요성을 나타낸다.

• Journal of Digital Contents Society
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• v.3 no.1
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• pp.113-122
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• 2002

The flatness of a silicon wafer concerned with ULSI chip is one of the most critical parameters ensuring high yield of wafers. The polishing process that measures and controls the flatness of a silicon wafer is one of the important process in various processes for production silicon wafer, which are still being done today by manual. But engineers in polishing process are requested to have many experiences and to check silicon wafers one by one. In this paper, we propose an algorithm used interpolation that estimates wafer's shape and sorts wafers automatically, then we can control the flatness of wafers in polishing process by automatic system.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.21 no.9
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• pp.128-133
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• 2020

This study was conducted to demonstrate the manufacturing process for producing high-quality solar salt. The design criteria of the manufacturing process, which was studied in a previous study, was applied to an actual manufacturing system to evaluate its performance. The design factors applied were the drying air temperature and the temperature of the washing water. They were 100℃ or less and 10℃ or less, respectively. Two standards were applied to the process performance evaluation. Standard (I) was the international food standard for solar salt, and standard (II) was the quality standard for high-quality solar salt production. The main quality evaluation items were the moisture content and salinity, and the color characteristics were also measured (p<0.05). The manufacturing process of solar salt consisted of five steps, and the quality change was measured for each step. The measured quality was appropriate to the standard (I) from the third-step process. In addition, the quality of the high-quality solar salt was suitable for the standard (II) from the fourth-step process. Therefore, the performance of the proposed solar salt production process met international standards. The improvements in the production of high-quality solar salt will improve international competitiveness in the future.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.145.2-145.2
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• 2014

최근 반도체 산업의 급속한 발전으로 반도체 생산 설비 시설 또한 꾸준히 증설되어가는 추세이다. 이에 따라 반도체 산업의 핵심기술로 부각되고 있는 진공 기술은 다양한 응용목적을 위한 진공시스템 설계와 운영을 필요로 한다. 진공시스템의 알맞은 설계는 시스템 구성에 따른 진공특성을 예측하는 것이 중요하며 목적에 부합한 진공펌프를 선택하고 운영하여 최소비용으로 시스템 활용효율성을 극대화할 수 있는 설계를 해야 한다. 또한 공정의 저전력, 대유량화 추세에 따라 고유량 영역의 드라이펌프 부하 내구성 대응 요구에 부응하는 객관적 내구성평가의 정립 및 표준 측정 시험평가 방법의 필요성이 점차 대두되고 있는 경향에 있다. 본 연구에서는 드라이펌프의 공정현장 적응능력 평가를 위하여 최소 1시간에서 3시간동안 압력별 가스부하에 따른 드라이펌프의 실시간 특성을 관찰하였다. 실험은 1 mbar에서 최대 300 mbar까지의 연속적인 부하 조건에서 유량, 진동, 소음, 소비전력과 Sudden Vent Test를 실시간으로 측정하였고 드라이펌프의 특성 분석은 각 용량별 압력에 따른 유량, DP BP 소비전력, 소음, 진동, DP Body Temperature 등의 데이터를 Type에 따라 비교 분석하였다. 이에 부응하는 평가 장치 구축 및 데이터분석은 한국표준과학연구원 진공펌프 평가실험실에서 수행되었다.

• Proceedings of the Korean Society for Quality Management Conference
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• 2007.04a
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• pp.229-234
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• 2007

반도체 산업에서 동일제품을 여러 라인에서 생산하는 것은 일반적이다. 모든 라인에서 생산된 제품의 품질수준의 동일 여부는 반도체 공정 계측데이터의 동일성 여부로 결정된다. 이러한 의사결정에 앞서 계측데이터를 생산하는 라인간 계측시스템의 동일성 검정은 필수적이다. 일반적인 두 집단의 동일성검정 방법은 동일시료를 두 집단에서 반복 측정하여 측정값의 차이를 비교하는 방법이다. 그러나, 반도체 계측특성은 동일시료를 반복 측정할 때, 물리적 영향 등에 의해 시료가 변화하여 반복측정이 난해한 특징을 가지고 있어 일반적인 반복측정 방식의 동일성 검정방법은 적합하지 않다. 본 연구에서는 반복측정이 난해한 반도체 계측 특성 하에서 가설검정을 이용한 라인간 계측 동일성 검정방법을 제시하고 실제 반도체 공정에 적용한 사례를 소개하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2013.10a
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• pp.383-385
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• 2013

반도체소자의 고속실현을 위해서 알루미늄배선에서 40% 가량 성능을 높이는 반면 제조비용은 30%까지 낮출 수 있는 구리를 선호하고 있으나, 식각이 잘 되지 않아 원하는 패턴으로 만들어 내기가 곤란한 공정기술의 어려움과 구리물질이 지닌 유독성문제를 가지고 있다. 기존의 식각기술로는 구리패턴을 얻을 수 없는 기술적 한계 때문에 화학.기계적 연마(CMP)를 이용한 평탄화와 연마를 통해서 구리배선을 얻는 다마스커스(Damascene)기술이 개발됐고 이를 이용한 구리배선기술이 현실적으로 가능하게 됐다. CMP를 이용한 평탄화 및 연마 공정에서 Wafer에 도포된 구리의 두께를 실시간으로 측정하여 정밀하게 제어할필요가 있는데, 본 논문에서는 와전류를 이용하여 옹고스트롬 단위의 두께를 실시간으로 측정하여 제어 하는 시스템구현에 대해 기술한다.

• Proceedings of the Korean Institute Of Construction Engineering and Management
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• 2006.11a
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• pp.722-726
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• 2006

Last Planner System (LPS) developed by Lean Construction Institute consists of four steps: Master Schedule, Phase Schedule, Lookahead Planning and Weekly Work Plan. This paper focuses on the process of measuring Percent of Plan Completed (PPC) at the Weekly Work Plan stage. PPC means the percentage of weekly assignments completed. According to the results of the researches that deal with PPC from many other countries, we can assure the benefits of using PPC. However, the concept of PPC is unfamiliar in Korea construction industry. This paper analyzes the cases in which PPC is applied in other countries and compares them with the production control system in Korean construction industry. The results of this research will provide the time management system for using PPC in Korea.

• Proceedings of the Korea Society for Simulation Conference
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• 2000.04a
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• pp.142-147
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• 2000

본 연구의 주안점을 실험용 CVD 장치의 CVD 반응기 내에 투입된 기체의 농도와 온도를 즉시 측정하여 새로운 소자 개발 시에 공정모델 수립과 정밀도를 요하는 공정에서 증착량과 속도에 대한 데이터를 구하므로써 효율적인 CVD 장치를 구성하는 것으로서 실험실이나 연구소에서 정확한 CVD 공정모델 실험을 할 수 있게 하여 새로운 소자의 시뮬레이션 모델을 만들 수 있는 효과적인 성장방법의 개발을 통하여 원료기체의 효율적인 사용이 이루어지도록 반응기내에서 가스 및 온도제어 시스템을 개발하였다.