• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.18 no.6
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• pp.55-62
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• 2004

Even though FOPDT(First-Order Plus Dead-Time) process is most widely applied in the industrial control field, it is difficult to figure out a in precise process model because of the long dead-time problem. Also, control performance may be deteriorated due to the mismatch problem of plant and model. Thus, the accuracy of process identification is the most important problem in FOPDT process control. In this paper, the proposed method using real-coded genetic algorithm outperforms the existing estimation methods that use step-test responses. The proposed strategy obtained useful result through a number of simulation examples.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SC
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• v.44 no.4 s.316
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• pp.61-66
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• 2007

PID control is windely used to control stable processes, however, its application to integrating processes is less common. In this paper we proposed a simple PID controller tuning method for integrating processes with time delay to meet a stable specification. With the proposed PID tuning method, we can obtain stable integrating processes using PD controller in inner feedback loop and a loop transfer function with desired stable specification. This guarantees bout robustness and performance. Simulation examples are given to show the good performance of the proposed tuning method to other methods.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.10 no.7
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• pp.1725-1728
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• 2009

This research developed process control device and FGV pattern generating device essential for full gate visual inspection to improve process so that defect detection capability may be maximized in specified environment. The devices developed in this research, which can be swiftly replaced in case loss or error occurs, are anticipated to improve module yield as well as maintain tact loss near '0'. In addition, as a result of mounting H/W and S/W system to control detailed operation sequence in production line and executing performance check and verification, detection rates were 98.1% and 99.1% respectively for pixel defect by tact and line defect, and yield of the entire module process including gate and visual level test increased up to 98.3%.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2001.02a
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• pp.76-77
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• 2001

리소그래피 공정은 반도체 공정에 있어서 그 선폭과 집적도를 결정짓는 핵심 공정이다 이러한 리소그래피 공정 중 만들고자 하는 패턴을 사진전사에 의해서 형성해주는 도구인 노광장비는 광학계, 스테이지계, 제어계로 구성되는 데, 여기에서는 이 중에서 광학계를 중심으로 노광장비를 설명한다. 노광장비의 기본적인 형태는 그 사용되는 광학계에 파라서 결정되는데, 크게 나누어서 밀착 노광 방식과 투영 노광 방식이 있다. (중략)

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.58 no.2
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• pp.190-196
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• 2020

The step to obtain a process dynamic model through process experiments is very important because it needs times and expenditures. Step response method is one of the standard methods to have long been used for understanding process dynamics, obtaining dynamical models and designing control systems. For the step response, it is usually required to measure process output for a step input change in the open-loop manner. Its disadvantage criticized is the long open-loop operation. For this, a method based on the time-optimal control technique to minimize the test time for obtaining the step response has been recently presented. However, the method requires iterative computations for the minimization of test times. Here, a method where iterative computations are not required is proposed. Simulation results are presented to show that test times to obtain step responses are reduced considerably and an autotuning method based on the proposed method is compared with the relay feedback autotuning method accepted widely for the autotuning of controllers.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.94-94
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• 2011

본 논문은 "차세대 반도체용 진공공정의 실시간 측정/진단/제어 기술개발"과제의 제 3 세부과제 "스마트형 진공 배기 진단 제어 시스템 개발"의 주요 연구 실적을 소개한다. 본 세부과제는 (1)진공펌프 및 배기 시스템의 다중 상태변수 측정 장치 개발, (2)공정별 펌프 상태 및 공정 조건 data base 구축 및 진단 알고리즘 개발(e-Diagnostics Level 2 FDC 수준), (3)공정별 펌프 상태 변수 측정을 통한 자기 진단 기술 개발(e-Diagnostics Level 2 FDC 수준), 그리고 (4)측정/통신 PMS (Pump Monitoring System) 개발(통신속도 56k bps 이상, e-Diagnostics Level 0~1)을 최종 목표로 추진되어 왔다. 첫 번째 주요실적은 진공배기시스템의 다중 상태변수 측정 및 평가 장치를 성공적으로 개발하였다. 본 장치는 현장에서 진공펌프의 배기속도를 3% 이내로 정밀하게 측정할 수 있는 소닉 노즐을 이용한 배기속도 측정 장치 및 기술을 성공적으로 개발 완료하였다. 그리고 측정 가능한 상태변수는 20종에 달하며 이들을 이용하여 진공펌프의 성능인자 15종과 특성치 9종을 종합적으로 평가할 수 있는 능력을 갖추었다. 두 번째 주요실적은 공정별 진공배기시스템의 자기진단 및 예지보수 기수 개발이다. 연구에서 개발된 적응형 인자모델을 이용한 상태진단 기술은 이미 학회 논문으로 소개되었으며 본 기법은 기존의 시계열 상태변수를 이용한 기존의 상태진단 기법보다 메모리 소요량을 100배로 줄였으며 그리고 연산양은 10% 이하로 줄인 획기적인 기법이라 할 수 있다. 세 번째 주요실적은 상태변수 측정, 통신, 제어 및 공정적응 기능 통합형(smart) PMS(pumper monitoring system) 개발이다. 본 장치는 CAN통신 기법을 새로이 채택하였으며 한 대의 PC로 64대의 단위 진공펌프들의 운전 상태변수를 실시간으로 수집할 수 있도록 하였다. 그리고 운전 중인 개별 진공펌프들의 운전 상태진단은 적응형 인자모델을 이용한 상태진단 기술을 응적용함으로써 매우 정확한 상태진단을 매 batch마다 수행할 수 있는 기능을 제공한다.

• ICROS
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• v.4 no.4
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• pp.25-30
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• 1998

본 고에서는 반도체 생산 장비의 하나인 고속 열처리 공정기를 소개하고, 현재의 기술 동향과 그에 따른 기술발전의 추이를 논의 하였다. 고속 열처리 공정기는 단일 웨이퍼 가공기로서 각각의 웨이퍼가 동일한 환경하에서 가공될 수 있다는 장점 때문에 앞으로 웨이퍼가 대형화되고 다품종 소량생산이 요구되면서 더욱더 주목받게 되고 또한 반도체 생산에 있어서 핵심이 될 장비이다. 따라서 현재 고속 열처리 공정기를 실제 현장에서 널리 사용하지 못하고 있는 큰 이유 중의 하나인 웨이퍼의 온도 균일성 문제를 해결하는 것이 현 시점에서 매우 중요하다. 그리고 여러 챔버를 연결하여 다양한 작업을 일괄적으로 처리할 수 있는 다 챔버 과정으로의 발전도 필요하다고 할 수 있다. 반도체 생산장비의 대다수를 수입에 의존하고 있는 국내 현실을 고려할 때 반도체 생산기술의 국산화는 매우 중요하다. 따라서 차세대 반도체 생산장비로 주목받고 있는 고속 열처리 공정기의 생산기술을 국산화하는 것은 그 의미가 크다고 할 수 있다. 이를 위하여 산업계와 학계의 지속적인 관심과 좋은 연구결과를 기대한다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2002.07d
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• pp.2469-2471
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• 2002

MMI 시스템은 제철 공정에서 발생되는 다양한 데이터를 조업자에게 쉽고 빠르게 전달하기 위해, real time operating system에서 동작하는 제철공정의 주된 제어 프로세스와 인터페이스 한다. 따라서 MMI 시스템은 제철 공정의 주된 제어 프로세스와 ethernet network을 통해 공유 데이터들을 통신하도록 개발되고, MMI 시스템은 M/S window operating system과 DDE(Dynamic Data Exchange) 라이브러리 환경을 기반으로 개발된다. 수 개의 MMI client PC와 1 개의 MMI server로 구성되는 MMI 시스템은 MMI client들 사이의 공유 데이터가 동기화될 수 있도록 최적 packet 양을 도출하고, 신뢰성 높은 데이터 전송을 위한 특별한 데이터 핸들링 방법을 사용한다. MMI 시스템은 GUI(Graphic User Interface)를 사용하여 조업자에게 친숙한 window 화면을 제공하므로, MMI 시스템의 화면 수정, 첨가 및 삭제가 비용 부담없이 용이하게 진행되므로, 기존 제철 공정에서 사용하던 OCP(Operating Control Panel)들이 MMI 시스템으로 대체되고 있다.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2013.10a
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• pp.876-877
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• 2013

기존 식품건조 공정방법인 냉동보관, 자연건조에 의한 건조방식은 상품의 품질을 저하시켜 경쟁력이 낮고, 열풍건조 등 자동화된 건조공정의 경우에도 열에 의한 건조대상물의 탈색 및 변형 등의 특성변화로 인하여 고부가가치 상품의 제조하기 어려움의 한계로 인한 보관 및 상품성 저하 문제점 대두되고 있다. 따라서 이러한 문제점들을 해결하기 위하여 마이크로웨이브 건조기술 도입을 통한 건조방식 개선이 필요하다. 마이크로웨이브 건조기술은 표면 가열방식의 기존 건조방식에 비해 가열대상 물질의 표면 손상이 적고 전력효율이 우수하다는 특징으로 인하여 건조분야에서 점차 해당 건조기술이 확대되고 있다. 본 논문에서는 마이크로웨이브 건조에서 공정관리 요소들의 상태를 실시간으로 수집하고 이를 기반으로 숙련자의 작업공정 환경을 습득하여 데이터 베이스화하여 자동화된 작업공정을 제공하기 위한 모니터링 제어시스템을 제안하였다.

• 대한공업교육학회지
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• v.45 no.2
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• pp.1-20
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• 2020

The purpose of this study is to develop an assembly-type liquid level control experimental equipment and a hands-on activity task that can be applied to the class so that students studying the chemical industry can easily understand the liquid level control. For this purpose, the content elements related to liquid level control in the chemical industry practice course of the 2015 revised curriculum was analyzed, a hands-on activity task with an assembly-type liquid level control experimental equipment was and developed. And then, expert verification was also performed and the hands-on activity task was applied to 19 students of S meister high school. The results obtained through this are as follows. First, the existing completion-type liquid level control experimental equipment was explored, and based on this, a new assembly-type liquid level control experimental equipment that can be assembled by students and used for practices was designed and manufactured. Second. by analyzing the contents of the NCS-based 'Chemical Process Maintenance Operation' practical course of the 2015 revised curriculum, learning contents related to level control were extracted. Among the contents related to the level control, the practice with understanding the process flow chart, manufacturing the level control experimental equipment, measuring the flow rate, and checking the level control phenomenon were conducted with the assembly-type liquid level control experimental equipment to systematically learn the level control.