• 제목/요약/키워드: 공정 자동생성

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노치형 웨이퍼 정렬기 개발에 관한 연구 (A Study on the Development of Wafer Notch Aligner)

  • 나원식
    • 한국항행학회논문지
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    • 제13권3호
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    • pp.412-418
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    • 2009
  • 본 논문에서는 노치형 웨이퍼 20~25개를 일련번호가 같은 위치에 자동으로 정렬이 되도록 하여 반도체 공정 전, 후 감지기에 의해 웨이퍼의 공정상태 파악을 용이하게 하는 시스템 개발 및 정확하게 노치를 정렬하는 보정 알고리즘, 스테핑 모터 제어 알고리즘을 제안하였다. 웨이퍼 회전 시 표면 재질이 적당한 마찰 계수를 가지며 웨이퍼의 회전으로 파티클(Particle)이 발생하지 않는 소재를 사용하여 발생을 최소화 시킬 수 있었다. 또한 미끄럼 방지를 위한 기구설계 기술을 개발하였고, 수학적 검증을 통한 성능평가를 실시하였다. 본 연구 개발 시스템은 반도체 공정 진행 중 웨이퍼의 오염 방지로 반도체 수율을 향상 시킬 수 있으며, 향후 450mm 이상의 대형 웨이퍼 생성 시에도 탄력적으로 적용 할 수 있다.

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스테인리스강 TIG 맞대기 용접 루트 패스에서 단차 극복을 위한 공정 개발 (Development of welding process to overcome misalignment in root pass at butt joint TIG welding of Stainless Steel)

  • 임성빈;함효식;하종문;서지석;조상명
    • 대한용접접합학회:학술대회논문집
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    • 대한용접접합학회 2009년 추계학술발표대회
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    • pp.26-26
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    • 2009
  • TIG 용접은 고품질이고 용접인자의 제어가 쉽고 정확하다는 장점이 있지만, 얕은 용입과 낮은 생산성과 같은 단점이 있다. TIG 오비탈 용접에서는 용입의 한계 때문에 작은 루트면과 넓은 그루브를 가공하여 다층 용접을 하며, 루트패스에서는 파이프 진원도에 의한 핏업 시 단차의 문제가 자주 발생하여 많은 현장에서 루트갭을 만들어 수동 용접하는 실정이다. 따라서 생산성이 낮으며 생산 단가가 높고 용접 품질이 작업자에 따라 다르게 된다. 이러한 문제점을 해결하여 자동 오비탈 용접을 위해 단차를 흡수 할 수 있는 용접 공정 개발이 필요하다. 본 연구의 목적은 TIG 용접에서 단차에 따른 용접성을 검토하여 이를 맞대기 용접에 적용했을 때 균일한 이면비드를 얻는 공정을 개발하는 것이다. 따라서 본 연구는 아래보기 자세에서 단차에 따른 용입 특성을 이면비드 및 단면으로 비교 분석하였다. 단차 없이 아크길이만 1mm, 2mm, 3mm로 변경하여 실험한 결과 아크길이가 짧아질수록 표면비드 폭은 좁아졌고 이면비드 폭은 증가하는 경향을 나타내어 아크길이가 짧아질수록 용융효율이 증가하는 것을 확인하였다. 단차 1mm에서 아크길이 3mm를 제외하고 표면비드 및 이면비드가 미려하였다. 하지만 단차 2mm에서는 아크길이 1mm, 2mm, 3mm 전부 이면비드가 생성되지 않았다. 이는 단차로 인해 아크길이가 증가하여 용융효율이 낮아졌기 때문이라 판단된다. 이면비드가 생성되지 못한 시험편을 백 베벨링(0.5mm, 1.0mm, 1.5mm, 2.0mm)하여 실험한 결과 단차 2mm, 아크길이 1-3mm 백 베벨링 2.0mm 적용한 시험편에서 양호한 이면비드를 얻을 수 있었다.

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규소 기판 접합에 있어서 FT-IR을 이용한 수산화기의 영향에 관한 해석 (ANALYSIS OF THE EFFECT OF HYDROXYL GROUPS IN SILICON DIRECT BONDING USING FT-IR)

  • 박세광;권기진
    • 센서학회지
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    • 제3권2호
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    • pp.74-80
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    • 1994
  • Silicon direct bonding 기술은 잔류 응력이 없고, 안정한 특성을 가진 센서의 제작과 silicon-on-insulator 소자의 제조에 널리 이용되고 있다. SDB의 공정 절차는 크게 실리콘 웨이퍼의 수산화 공정 과정과 wet oxidation fumace에서 고온의 열처리 공정 과정을 거치게 된다. 수산화 공정을 행한 후, Fourier transformation-infrared spectroscopy를 사용하여 실리콘 웨이퍼 표면을 분석하여 보면, 실리콘 웨이퍼의 표면에서는 수산화기가 생성됨을 알 수 있다. 실험 결과, $H_{2}O_{2}\;:\; H_{2}SO_{4}$ 용액을 사용한 친수성 용액 처리의 경우에 있어서는 수산화기가 3474 $cm^{-1}$ 주위의 넓은 영역에서 관찰되었다. 그러나, diluted HF 용액의 경우에 있어서는 수산화기가 관찰되지 않았다. 접합된 실리콘웨이퍼를 tetramethylammonium hydroxide 식각 용액을 사용하여 식각 공정을 수행하였다. 식각 공정은 자동 식각 중지가 수행되었으며, 식각된 표면은 평탄하고 균일하였다. 그러므로, 이러한 SDB 기술은 우수한 특성을 가진 압력, 유속, 가속도 센서 등과 같은 센서의 제작 및 센서 응용 분야에 이용될 수 있을 것이다.

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하나로 냉중성자원 시설계통 배기수집탱크 내 수소가스 분석

  • 손우정;최정운;정창용;우상익;김영기
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.337-337
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    • 2010
  • 하나로 반사체의 수직공 안에 설치된 냉중성자원 시설계통의 수조내기기는 원자로에서 생성되는 열중성자를 약 22K의 감속재로 감속시켜 0.1~10 meV 범위에서 높은 선속을 갖는 냉중성자를 생산한다. 냉중성자를 생산하기 위한 냉중성자원 시설계통의 구성은 감속재인 수소를 포함하고 있는 수소계통, 수소의 외부누출을 방지하기 위한 가스블랭킷계통, 극저온의 액체수소를 생산하기 위한 헬륨냉동계통, 극저온인 액체수소 층을 감속재용기 내에 유지하기 위한 진공계통 등으로 되어있다. 이들 계통 중 진공계통은 냉중성자원 시설계통의 정상운전 시 액체수소 열사이펀, 감속재용기 등의 냉중성자원 극저온 부품의 단열을 위하여 진공용기의 내부 진공도를 공정진공도 이하로 유지하기 위한 계통이다. 정상운전 시 진공계통으로부터 발생되는 배기 가스는 배기 수집탱크에 포집된다. 냉중성자원 시설계통으로부터 발생되는 배기가스는 배기수 집탱크를 통하여 수소의 누출여부를 확인한 후 원자로홀로 배기되도록 되어 있으며, 만일의 경우 탱크내부의 배기가스 수소 농도가 기준치인 3.5%이상일 때는 유입 원을 자동으로 차단하고, 희석용 가스인 고압의 질소를 주입하여 수소의 농도를 기준치 이하로 낮춘 후 원자로 홀로 자동 배출하도록 되어 있다. 본 논문에서는 냉중성자가 생산되는 냉중성자원 시설계통의 운전과정에서 진공계통으로부터 배출되는 배기가스를 배기수집탱크로 포집하고, 이 가스에 대해 수소가스의 농도를 분석하여 원자로 홀로 안전하게 배기할 수 있도록 수행된 수소가스 분석에 대해 기술하였다.

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곡물의 수확후 이력관리시스템 (Post-Harvest Traceability System of Grain)

  • 이효재;김의웅;안재환;한재웅;김훈
    • 한국정보전자통신기술학회논문지
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    • 제11권2호
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    • pp.161-168
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    • 2018
  • 본 논문은 곡물의 수확후 이력관리를 위하여 미곡종합처리장(RPC, Rice processing complex)에서 곡물의 반입, 건조, 저장 및 가공공정에서의 변화하는 중량 및 함수율 정보를 실시간으로 측정하고 모니터링이 가능한 IT기반의 이력관리시스템을 개발하였다. 곡물의 반입, 건조, 저장 및 가공 등 수확후 처리공정에서 반입 및 배출과정에서 중량 및 함수율 정보를 실시간으로 수집하고 이를 기반으로 수율 및 감모와 같은 품질정보를 DB sever에 저장하였다. 이 때의 Lot No를 생성하여 품질 및 이력정보를 연계하여 이력관리가 가능한 시스템을 구축할 수 있도록 설계하였다. 또한, MMI(Man Machine Interface)기반의 자동제어시스템과 자동수율 및 재고관리 시스템(YICS)과 TCP/IP통신을 이용하여 곡물을 대상으로 한 IT 기반의 이력관리시스템을 구축하였으며, 미곡종합처리장에서 시뮬레이션을 통해 검증을 수행하였다.

바이오가스 활용과 품질기준 (Applications and technical standards for biogas)

  • 김승수
    • 유기물자원화
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    • 제18권3호
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    • pp.38-49
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    • 2010
  • 유기성 폐기물의 혐기성발효공정에 의한 바이오가스 연구가 다양한 목적으로 활발하게 진행되고 있다. 혐기성공정 또는 매립지에서 생성되는 바이오가스의 주요 조성은 메탄, 이산화탄소와 미량의 황화수소와 암모니아로 구성되며, 생산지에서 불순물을 정화시킨 후 바로 사용하거나 혹은 파이프라인을 통해 천연가스처럼 사용할 수 있다. 생산된 바이오가스는 열과 스팀생산, 전기생산, 자동차용 연료 및 화학물질 생산 등에 사용되어질 수 있다. 바이오가스는 사용 용도에 따라 여러 나라들의 관련 규정들이 정비되고 있지만 아직까지 국제적으로 공인된 표준 규격은 없다. 본 논문에서는 세계 각국의 바이오가스 용도별 품질특성을 살펴보았다.

브레이크패드 검사 시스템 구축에 관한 연구 (A study on inspection system for brake pad)

  • 김태은
    • 한국전자통신학회논문지
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    • 제8권3호
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    • pp.403-408
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    • 2013
  • 본 연구는 자동차 브레이크 패드 생산 공정에서 컨베어벨트 실려가는 차종별 패드의 유형을 자동 판별하고 표면의 균열을 검사하는 시스템을 개발한다. 브레이크 패드는 여러 혼합제로 고열, 고압 성형하여 만든다. 패드생성과정에서 패드 표면의 균열 및 손상이 발생한다. 본 연구에서는 불량품을 검출하는데 적합한 시스템 구축하고 응용소프프웨어 개발을 한다. 패드 표면의 균열이나 손상 부위는 인공조명을 비출 때 그림자를 생성하게 되며 이를 컴퓨터 비전 기술을 활용하여 검출한다.

웹 기반의 광고 CTS 설계를 위한 자동화 도구 (An Automation Tool for Design of Web-Based Advertisement CTS)

  • 한군희;정병완
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제8권4호
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    • pp.810-814
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    • 2007
  • 급속한 인터넷의 발달과 고속 인쇄기의 보급으로 누구나 손쉽게 문서를 원하는 형태로 제작 출력이 가능해 졌다. 하지만 명함이나 광고 전단지, 신문이나 잡지, 전화번호부 책자 및 무가지를 제작하기 위해서는 전용 편집용 소프트웨어를 이용하여 전문가들이 제작을 하고 있다. 본 논문에서는 가장 대표적인 광고도안인 명함을 인터넷을 이용하여 신청단계부터 PDF파일을 생성하는 단계까지 일련의 작업공정을 자동화시스템을 구축하기 위한 컴퓨터조판시스템의 모델을 제시한다. 어도비사의 인디자인을 웹사이트와 연계하여 웹페이지에서 신청을 받은 요청에 대하여 실시간으로 이미지파일을 생성하여, 주문자의 확인을 받아 결재시스템과 연계한 후 PDF파일을 제작하는 시스템을 제시한다.

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모울드 금형의 무인가공을 위한 자동공정계획 몇 지능형 NC 데이터 생성 (Automated process plan and an intelligent NC data generation for unmaned machining of mould die)

  • 유우식;김대현
    • 산업경영시스템학회지
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    • 제19권40호
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    • pp.143-155
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    • 1996
  • Presented in this paper are a CAPP(Computer Automated Process Planning) scheme and a generating method of intelligent NC data for unmaned machining of mold die. Mold die surfaces usually have free-formed geometry of complex shapes. So it is easy to overcut the die surface and to overload the cutting tools. It takes tens of hours to prepare process plans and to generate NC data for each processes. Therefore a classification of unit machining operation(UMO) for mold die manufacture, a backward recursive capp algorithm and a generating method of intelligent NC data are presented in this paper in order to provide a unmaned machining architecture of mold die.

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시뮬레이션 코드 자동 생성을 위한 생산공정 모델링

  • 김대송;조현보;정무영
    • 한국경영과학회:학술대회논문집
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    • 대한산업공학회/한국경영과학회 1996년도 춘계공동학술대회논문집; 공군사관학교, 청주; 26-27 Apr. 1996
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    • pp.627-630
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    • 1996
  • One of the most common communication mechanisms to describe a situation or a process is a story written as an ordered sequence of events or activities. For example, a shop floor supervisor may present the operations of his manufacturing system by describing the processes of manunfacturing a product in his shop. Although IDEF3 is one of the most commonly used methods for describing a business process, but it is not common for a manufacturing process. In this study, we tried to apply IDEF3 for describing a manufacturing process. Problems and suggestions such as selection probability, programmable process modeling, manufacturing resource model were presented.

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