• Title/Summary/Keyword: 공정 오차

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Improvement of Electroforming Process System Based on Double Hidden Layer Network (이중 비밀 다층구조 네트워크에 기반한 전기주조 공정 시스템의 개선)

  • Byung-Won Min
    • Journal of Internet of Things and Convergence
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    • v.9 no.3
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    • pp.61-67
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    • 2023
  • In order to optimize the pulse electroforming copper process, a double hidden layer BP (Back Propagation) neural network is constructed. Through sample training, the mapping relationship between electroforming copper process conditions and target properties is accurately established, and the prediction of microhardness and tensile strength of the electroforming layer in the pulse electroforming copper process is realized. The predicted results are verified by electrodeposition copper test in copper pyrophosphate solution system with pulse power supply. The results show that the microhardness and tensile strength of copper layer predicted by "3-4-3-2" structure double hidden layer neural network are very close to the experimental values, and the relative error is less than 2.32%. In the parameter range, the microhardness of copper layer is between 100.3~205.6MPa and the tensile strength is between 112~485MPa.When the microhardness and tensile strength are optimal,the corresponding process conditions are as follows: current density is 2A-dm-2, pulse frequency is 2KHz and pulse duty cycle is 10%.

Development of Bonding Dispenser and Press Machine to Regenerate Retainer Ring for Semiconductor CMP Process (반도체 CMP 공정용 리테이너 링 재생을 위한 본딩 디스펜서 및 프레스 머신 개발)

  • Hyoung-Keun Park
    • The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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    • v.19 no.3
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    • pp.507-514
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    • 2024
  • In the semiconductor manufacturing line, continuous efforts are being made to reduce the cost of products produced, and the demand for this is accelerating in the chemical mechanical polishing(CMP) process, and a representative example of these cost reduction items is the 5-Zone Ring. After about 150 hours of use in the CMP process, the thickness of the ring decreases to less than 1 mm and must be replaced with a new product. Therefore, in this study, bonding dispensers and press machines with a dispensing amount error of 10g±0.8% or less and a pressure uniformity of ±1.8% or less were developed to reduce semiconductor manufacturing costs by repeatedly regenerating worn parts of the retainer ring, and to minimize environmental pollution caused by industrial waste treatment.

THERMAL CONDUCTIVITY MEASUREMENT OF LIQUID AND SOLID FOODS USING A THERMAL PROBE (열탐침을 이용한 식품의 열전도도 측정)

  • 홍지향;한영조;고학균
    • Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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    • 1999.12a
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    • pp.516-522
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    • 1999
  • 열전도도, 열확산도 , 비열로 대표되는 열적 특성은 식품의 가열 및 냉각공정의 설계에 사용되는 주요 설계인자로서 , 정확한 열적특성 자료가 있으며, 각 공정에서 가하거나 감해야 하는 총 열량과 단위 시간당 가감되어야 하는 열량을 정확히 결정할 수 있다. 본 연구에서는 액상과 고상 식품의 열전도도를 신속 정확하게 측정하기 위하여 열 탐침을 사용하는 열전도도 측정장치를 개발하였다. 본 장치는 기존 열전도 측정장치와 달리 열전도도가 아려진 표준시료를 사용하는 Calibration을 하지않고, 직접 열전도도를 측정할수있도록, 열탐침의 직경대 길이의 비가 100으로 설계하였다. 증류수와 글리세린의 열전도도를 본 측정장치로 측정한 결과 , 증류수는 문헌값보다 1.2% 미만, 글리세린은 0.7% 미만의 측정오차를 보였다. 소고기 Frankfurter 의 열전도도를 2$0^{\circ}C$에서 8$0^{\circ}C$의 온도범위에서 측정한 결과를 0.389에서 0.350W/mK 이었다.

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A study on a performance evaluation model of roll manufacturing system using GMDH-type modeling (롤 제조 시스템의 성능 분석에 관한 연구)

  • 황홍석
    • Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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    • 1995.09a
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    • pp.387-395
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    • 1995
  • 롤(Roll)의 주물 가공 시스템의 성능(Performance)분석의 문제는 일반적으로 관련된 많은 요인들 때문에 매우 복잡하다. 롤 제조 시스템의 성능과 관련된 주요 요인으로서 주형(Moulding) 제작, 원재료의 용해, 후처리 및 가공 공정 의 요인들을 들 수 있다. 본 연구에서는 이러한 복잡한 롤의 주물 및 가공공 정상의 요인들로부터 롤 제조 시스템의 불량률을 평가하기 위하여 발견적인 방법인 GMDH(Group Method Data Handling)-Type 모델링 방법을 이용하 였다. 롤 주물 가공 시스템의 성능을 불량률로 두고 이에 주요 영향 요인들 의 입력 Data를 위하여 현장 자료로부터 상하한 값을 구하여, Hyper-Cube 프로그램을 이용하여 필요한 수의 Data를 보완하여 사용하였다. 시스템 성능 과 관련된 인자들을 2개식 가능한 조합을 하고 이들 각각의 조합들에 대하 여 6개항으로 된 예측식으로 회귀분석하고 일정 수준 이상의 결과들만을 다 음 단계의 자료로 사용하였다. GMDH 방법은 매 단계마다 영향이 적은 변 수조합을 제외시키므로 최종 해는 그 정확성이 매우 높다. 본 연구를 위하여 GMDH 알고리즘에 따라 계산할수 있는 전산 프로그램을 개발하여 사용하였 으며, 적용예를 롤 주물제조공정에 응용하여 보였다.. 분석된 자료에 의하면 예측 오차가 매우 적음을 보였다.

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식품위생관리와 Hazard Analysis Critical Control Point System

  • Kim, Chang-Nam
    • 한국유가공학회:학술대회논문집
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    • 1997.10a
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    • pp.1-49
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    • 1997
  • HACCP팀은 모든 종사자(소유자 포함)에 대한 기구조직표, 역할분담 및 인수인계사항을 작성하고 모든 종사자는 사전에 HACCP system에 대해 충분히 이해시킬것. 또한 자체 위생관리현황이나 법적 관련규정을 정확하게 이해할 것. HACCP(준비)팀은 HACCP system의 적용을 위한 식품 품목 또는 유형, 시설, 공정단계, 지역 및 위해요인 종류의 범위를 정확하게 결정하여 문서화할 것. 제품설명서와 공정흐름도는 이후 단계에 매우 중요한 기초정보를 제공한다. 따라서 현장을 확인하는 등 사실에 입각하여 정확하게 작성할 것. 위해분석은 인내심을 가지고 현실성을 고려한 충분한 기초자료를 이용하여 정확하게 수행할 것. CCP의 결정전에 위해방지방법, 허용수준, 관리자를 결정하고 해당공장내이 현실성을 고려하여 CCP를 결정할 것. 관리기준 및 허용오차는 물리화학적 인자에 대하여 충분한 기초자료를 통해 설정할 것. CCP에 대한 모니터링과 개선조치 방법을 6하원칙에 준하여 현장생산종사자 중심으로 구체적으로 작성할 것. 모니터링과 검증은 명확하게 구분하여 관리할 것.

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Fabrication of a Large Object by Rapid Prototyping Technics (쾌속조형 원리를 이용한 대형 모델의 제작)

  • Choi, Hong-Seok
    • Journal of the Korea Institute of Military Science and Technology
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    • v.10 no.3
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    • pp.120-128
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    • 2007
  • In order to reduce the lead-time and cost, the technology of rapid prototyping(RP) has been widely used. This paper describes the methodology to fabricate a large object by using the principle of rapid prototyping. By laminating thick and sloping polystyrene foam plates, we can make the large model which has three dimensional, continuous surfaces faster and easier than conventional processes. Estimated error was much smaller than other RP products which have stepped effect. For accuracy improvement and post processing, machined metal plates are added between the thick plates. To keep the continuity of surface and strengthen the model, pilot holes and guide rods are applied. By the methodology described in this paper, a missile body with flush air intake was fabricated.

A Study on deformation compensation of press part based on reverse engineering (역공학기반의 프레스 부품 변형 보정에 관한 연구)

  • Kim, Kwang-Hee;Lee, Yun-Young
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.14 no.1
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    • pp.28-32
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    • 2013
  • In this study, we suggested new method for compensation on spring back of press part. At first, we compared between error on CAD data and scanning data. The new method can be substituted for manual modeling process in compensation on spring back. The new method is available for automatic modeling based on 3D scanning data. From the study, the results expect that time and cost reduction for process applying new method for compensation on spring back of press part.

공정 플라즈마에서 실시간 유전박막두께 측정법의 보상연구

  • Lee, Yeong-Ho;Choe, Ik-Jin;Kim, Yu-Sin;Jang, Seong-Ho;Jeong, Jin-Uk
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.442-442
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    • 2010
  • 공정 플라즈마 장치에서 이중 주파수법을 이용하여 실시간 유전박막 두께 측정법에 대한 보상연구를 하였다. 이중 주파수법은 유전박막과 플라즈마 쉬스를 간단한 전기적인 등가회로로 모델링하여 유전박막의 두께를 측정하는 방법이다. 이중 주파수법의 문제는 측정탐침의 인가전압에 따른 유전박막의 두께 측정치가 다르다는 점이다. 플라즈마 쉬스를 선형 저항만으로 등가하였기 때문에, 쉬스의 인가전압에 상관없이 쉬스 저항의 값이 일정하다는 가정이 존재한다. 그러나 쉬스 저항은 쉬스의 인가전압에 종속적이면서 비선형적인 특성을 갖는다. 측정 탐침에 출력 전압이 인가될 때 쉬스 양단에서 인가전압에 따른 쉬스의 등가저항의 비선형성을 고려하여 측정 탐침에 증착된 유전박막의 커패시턴스성분에 대한 방정식을 Numerical analysis로 풀어 유전박막의 두께 측정값을 보상하였다. 보상된 위의 방법으로 다양한 RF파워, 압력에 따라 $Al_2O_3$박막의 두께를 실시간으로 측정하여 비교하였다. 그 결과 이 방법은 낮은 플라즈마 밀도(${\sim}10^9cm^{-3}$)에서도 인가전압에 따른 유전 박막두께측정의 오차를 줄일 수 있었다.

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Development of Multiple IR Scanner System for Intelligent Mobile Robot (지능형 이동로봇을 위한 다중 IR 스캐너 시스템의 개발)

  • Choe, Min-Hyeok;Im, Dae-Yeong;Ju, Chil-Gwan;Yu, Yeong-Jae
    • Proceedings of the Korean Institute of Intelligent Systems Conference
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    • 2006.11a
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    • pp.15-18
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    • 2006
  • 본 논문에서는 단수의 IR 센서를 이용한 거리계측시스템보다 빠른 다수 개의 IR 센서를 이용한 거리정보계측시스템 및 환경지도를 구축방법을 제안하였다. 다수 개의 IR 센서를 이용하여 환경정보 또는 환경지도를 구축하기 위해서는 좌표계 간의 일치에 필요한 공정과 필터링 등이 필요하다. 다중 IRS로부터 거리데이터 획득 시, 기구 상의 각도오차 또는 IR 센서간의 방향각의 차이로 인해 실제의 환경과 차이를 가지게 되며, 다수개의 IR 센서를 이용하여 데이터를 획득하기 때문에 각각의 데이터에서 노이즈를 제거하고 필요한 데이터만 추출할 수 있는 공정이 요구된다. 이를 위해 데이터에서 모퉁이 또는 모서리를 추출할 수 있는 에지 검출법을 제안하였다. 마지막으로 본 논문에서는 제안된 거리계측시스템을 이용하여 실제 환경을 측정하였고 에지 검출법을 적용하였다.

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The study of data correction method comparison on wafer coating thickness measurement systems improving. (웨이퍼 박막두께측정 시스템의 정밀도 개선을 위한 데이터 보정방법 비교에 관한 연구)

  • Kim, Nam-woo;Hur, Chang-Wu
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2014.05a
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    • pp.759-762
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    • 2014
  • 반도체소자의 제조 공정 기술 중 구리패턴을 얻기 위해서 사용하는 화학.기계적 연마(CMP)를 이용한 평탄화와 연마 공정에서 Wafer에 도포된 구리의 두께를 실시간으로 측정하여 정밀하게 제어할 필요가 있는데, 이때 획득되는 센서값을 실제 두께 값으로 환산하는 계산과정에서 오차가 발생할 수 있다. 실제 측정 값에 근사한 값을 얻도록 단순평균을 이용한 방법, 이동 평균, 필터 들을 사용하여 결과를 비교하여 옹고스트롬 단위의 두께를 실시간으로 측정하는 제어 시스템의 편차를 줄이도록 하는 방법의 구현에 대해 기술한다.

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