• Title/Summary/Keyword: 공정최적화

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A Generalized Regression Neural Network Plasma Model for Semiconductor Process Optimization (반도체 공정 최적화를 위한 일반화된 회귀 신경망 플라즈마 모델)

  • Park, Sung-Jin;Kim, Byung-Whan
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2000.07d
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    • pp.2744-2746
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    • 2000
  • 일반화된 회귀 신경망을 이용하여 반도체 공정 최적화를 위한 플라즈마를 모델링한다. 플라즈마는 Box-W린son 실험계획표에 의해 특성화되었으며, 여기에서 변화시킨 인자로는 소스전력, 압력, 척지지대의 위치, 그리고 염소의 유량이다. 총 24회의 실험이 수행이 되었으며, 플라즈마 변수는 Langmuir Probe를 이용하여 측정하였다. 측정된 주요 플라즈마 변수로는 전자밀도, 전자온도, 그리고 플라즈마 전위이다. 폭변수를 점진적으로 증가시켜 회귀신경망을 최적화하였으며. 최적화된 모델은 통계적인 반응표면모델과 비교하였다. 비교 결과, 회귀신경망은 반응표면모델에 상응하는 예측능력을 보이고 있음을 알 수 있었다.

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Optimal feed compositon of pressure swing distillation system to separate methanol and acetone (메탄올-아세톤 분리를 위한 압력 변환 증류 공정에서 환류를 통한 유입 조성 최적화)

  • Yoon, Young Gak;Seo, Sung Kwon;Lee, Chul-Jin
    • Plant Journal
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    • v.13 no.3
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    • pp.26-29
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    • 2017
  • In this research, the composition of the feed stream is optimized in pressure swing distillation for separating of methanol-acetone. It is well known that the composition of feed stream in pressure swing distillation system has a great influence on the feasibility to separate mixture. The workscope of this study is to show better separation efficiency at specified pressure by controlling the composition of feed stream with recycle of two products. Based on the base case without recycle flow, two processes are designed that methanol and acetone are recycled to feed stream, respectively. Each processes are compared with total annual cost and as a result, the base case without recycle flow are most favorable.

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Optimization on the fabrication process of Si pressure sensors utilizing piezoresistive effect (압저항 효과를 이용한 실리콘 압력센서 제작공정의 최적화)

  • Yun Eui-Jung;Kim Jwayeon;Lee Seok-Tae
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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    • v.42 no.1
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    • pp.19-24
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    • 2005
  • In this paper, the fabrication process of Si pressure sensors utilizing piezoresistive effect was optimized. The efficiency(yield) of the fabrication process for Si piezoresistive pressure sensors was improved by conducting Si anisotrophic etching process after processes of piezoresistors and AI circuit patterns. The position and process parameters for piezoresistors were determined by ANSYS and SUPREM simulators, respectively. The measured thickness of p-type Si piezoresistors from the boron depth-profile measurement was in good agreement with the simulated one from SUPREM simulation. The Si anisotrohic etching process for diaphragm was optimized by adding ammonium persulfate(AP) to tetramethyl ammonium hydroxide (TMAH) solution.

고온, 고압 가수분해반응에 의한 우지 분해공정: 반응표면분석법을 이용한 반응조건의 최적화

  • Kim, Won-Ho;Kim, Yong-Min;Kim, Ho-Jung;Heo, Byeong-Gi
    • 한국생물공학회:학술대회논문집
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    • 2001.11a
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    • pp.303-307
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    • 2001
  • Operation conditions to maximize the hydrolysis of beef tallow was investigated by using the response surface method. In the response surface analysis, reaction temperature, pressure, and ratio of fat to water was considered as independent variables. The concentrations of triglycerides. diglycerides, monoglycerides and free fatty acids were considered as dependent. variables. The optimum conditions for the hydrolysis was as follows' the reaction temperature was $271^{\circ}C$, pressure 86 bar and ratio of fat to water was 106.08g / 133.93 g. The maximum concentration of free fatty acids was 96.49 % at these optimum conditions.

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Fuel Cell Catalyst Optimization by Six Sigma (Six 시그마를 이용한 연료전지 촉매구조의 최적화)

  • Kim, Se-Hyun;Kim, Sun-Hoe
    • The Journal of the Korea Contents Association
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    • v.11 no.8
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    • pp.468-474
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    • 2011
  • Reducing agent was used as process variable for Pt catalyst production process. By using six sigma the optimum operating variables condition for particle size and ICP yield were deduced. With the help of fractional factorial design the major variables were reduction temperature and process time. Also, the optimum number of reduction process, reduction temperature, quantity of reducing agent and process time were 1, $67-88^{\circ}C$, 0.5 ml and 10minutes, respectively.

Quality Engineering in Semiconductor Manufacturing with Emphasis on Patterning and Thin Film Forming Processes (반도체 제조에 있어서의 품질공학 : 패터닝 공정과 박막형성 공정을 중심으로)

  • Yum, Bong-Jin;Kim, Kil-Soo;Lee, Pal-Hun;Park, Yang-Gil;Kim, Seong-Jun
    • IE interfaces
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    • v.10 no.1
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    • pp.67-77
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    • 1997
  • 반도체 제조공정에서 패터닝 공정과 박막형성 공정은 매우 중요한 위치를 차지하고 있다. 본 논문의 목적은 위 두가지의 공정을 최적화하기 위한 품질공학적 접근방법을 소개하는데 있다. 특히, 패터닝 공정의 전사성과 박막현상 공정의 두께의 균일성에 관한 문제를 동특성의 문제로 정형화하고 신호인자를 어떻게 설정할 것인가에 관해 논의하였다.

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월성원전의 삼중수소제거공정 최적화

  • 안도희;이한수;정홍석;송명재;손순환
    • Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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    • 1995.05a
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    • pp.824-828
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    • 1995
  • 월성원전에서 삼중수소에 의한 작업자 피폭 및 환경방출량을 가능한 한 낮게 유지하기 위해서는 계통중수중에 축적되는 삼중수소를 근원적으로 제거할 수 있는 삼중수소제거시설이 필수적이다. 삼중수소제거공정은 방사선 안전성과 에너지 효율 측면에서 액상촉매교환과 초저온증류공정의 복합공정이 가장 효과적인 것으로 알려지고 있다. 본 연구에서는 월성원전의 후속기를 고려하여 용량이 연간 8MCi의 삼중수소제거시설에 대한 최적설계를 수행하였다. 액상촉매교환공정에 대해서는 NTU-HTU법 그리고 초전온증류공정에는 Fenske-Underwood-Gilliland법을 이용하여 공정을 해석하였고 공정내 삼중소소의 재고량이 최소가 되는 최적의 설계변수들을 제시하였다.

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Composite Materials and Their Manufacturing Processes (복합재료와 성형공정)

  • 엄문광;이우일
    • Journal of the KSME
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    • v.34 no.5
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    • pp.310-325
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    • 1994
  • 복합재료는 원자재의 특성에 따라 성형 공정이 각각 다르다. 생산단가 절감을 위하여 최적 공정 및 자동화가 가장 큰 관심의 대상이므로 공정의 모델링과 이에 의거해 컴퓨터를 이용한 수치해 석들이 많이 이루어지고 있으며 이 결과를 제조 공정의 최적화에 이용할 경우 비용이 많이 들고 시간이 오래 걸리는 실험에 의한 방법을 많이 대치할 수 이어 새로운 기지재료가 소개되었을 경우, 제조 공정의 결정에 있어 시간과 비용을 대폭 절감시킬 수 잇다. 앞으로 소재의 기능화, 경량화 추세에 힘입어 복합재료의 수요는 계속 늘어날 전망이어서 환경문제에 대한 관심도 소 홀히 할 수 없으며, 기존의 재료 성형 공정과는 비교적 색다른 성형 공정의 개발에도 관심을 가져야 할 것이다.

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The Research of Layout Optimization for LNG Liquefaction Plant to Save the Capital Expenditures (LNG 액화 플랜트 배치 최적화를 통한 투자비 절감에 관한 연구)

  • Yang, Jin Seok;Lee, Chang Jun
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • v.57 no.1
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    • pp.51-57
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    • 2019
  • A plant layout problem has a large impact on the overall construction cost of a plant. When determining a plant layout, various constraints associating with safety, environment, sufficient maintenance area, passages for workers, etc have to be considered together. In general plant layout problems, the main goal is to minimize the length of piping connecting equipments as satisfying various constraints. Since the process may suffer from the heat and friction loss, the piping length between equipments should be shorter. This problem can be represented by the mathematical formulation and the optimal solutions can be investigated by an optimization solver. General researches have overlooked many constraints such as maintenance spaces and safety distances between equipments. And, previous researches have tested benchmark processes. What the lack of general researches is that there is no realistic comparison. In this study, the plant layout of a real industrial C3MR (Propane precooling Mixed Refrigerant) process is studied. A MILP (Mixed Integer Linear Programming) including various constraints is developed. To avoid the violation of constraints, penalty functions are introduced. However, conventional optimization solvers handling the derivatives of an objective functions can not solve this problem due to the complexities of equations. Therefore, the PSO (Particle Swarm Optimization), which investigate an optimal solutions without differential equations, is selected to solve this problem. The results show that a proposed method contributes to saving the capital expenditures.