IE interfaces (산업공학)

Korean Institute of Industrial Engineers (대한산업공학회)
권호 표지

Quality Engineering in Semiconductor Manufacturing with Emphasis on Patterning and Thin Film Forming Processes

반도체 제조에 있어서의 품질공학 : 패터닝 공정과 박막형성 공정을 중심으로

  • 염봉진 (한국과학기술원 산업공학과) ;
  • 김길수 (한국과학기술원 산업공학과) ;
  • 이팔훈 (한국과학기술원 산업공학과) ;
  • 박양길 (한국과학기술원 산업공학과) ;
  • 김성준 (강릉대학교 산업공학과)
  • Published : 1997.03.31
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Abstract

반도체 제조공정에서 패터닝 공정과 박막형성 공정은 매우 중요한 위치를 차지하고 있다. 본 논문의 목적은 위 두가지의 공정을 최적화하기 위한 품질공학적 접근방법을 소개하는데 있다. 특히, 패터닝 공정의 전사성과 박막현상 공정의 두께의 균일성에 관한 문제를 동특성의 문제로 정형화하고 신호인자를 어떻게 설정할 것인가에 관해 논의하였다.

Keywords