• Journal of Korea Fair Competition Federation
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• no.106
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• pp.2-13
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• 2004

어떠한 법이 규제적 수단을 주로 담고 있건 아니면 조성적 수단을 주로 담고 있건 간에 그러한 수단에 의하여 달성하고자 하는 법의 궁극적인 목적은 아마도 그 법이 지향하는 일정한 환경을 형성하고 보호$\cdot$보전하는데 있을 것이라고 생각한다. 공정거래법도 마찬가지로 진시로 추구하는 것은 위반자 또는 위반행위에 대한 제재나 처벌이 아니라 공정한 경쟁이 가능한 환경을 조성하고 보호하는 것이다. 이와 같이 위법상황의 배제를 통한 적법상태의 회복이 무엇보다도 중요한 영역에 있어서는 위법상태를 배제하여 본래의 적법한 상태를 회복$\cdot$유지하는 것이 무엇보다도 중요하다.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.12 no.4 s.37
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• pp.281-287
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• 2005

in-situ electromigration test was carried out for edge drift lines of eutectic SnPb solder using Scanning Electron Microscopy (SEM). The electromigration test for the eutectic SnPb solder sample was conducted at temperature of $90^{\circ}C$ and the current density of $6{\times}10^4A/cm^2$. Edge drift at cathode and hillock growth at anode were observed in-situ in a SEM chamber during electromigration test. It was clearly revealed that eutectic SnPb solder lines has an incubation stage before void formation during electromigration test, which seemed to be related to the void nucleation stage of flip chip solder electromigration behaviors.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.58 no.1
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• pp.69-83
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• 2020

Light olefins are important petrochemicals as well as primary building blocks for various chemical intermediates. As the number of ethane cracking center (ECC) process, in which ethylene accounts for most of the production, has increased in recent years, propylene supply is not catching up with steadily increasing propylene demand. This trend makes the conversion of methanol to olefins to get more industrial importance. The methanol to olefins (MTO) process produces methanol through syngas and obtain olefins such as propylene through methanol. Since the reaction from methanol to olefins provides different product compositions depending on the catalyst used for the reaction, it is important to choose an appropriate separation process for the reaction product with different composition. Four different separation processes are considered for four representative cases of product compositions. The separation processes for the reaction products are evaluated by techno-economic analysis based on the simulation results using Aspen plus. Guidelines are provided for selecting a suitable separation process for each of representative case of product compositions in the MTO process.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.236-236
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• 2012

QMS(Quadruple Mass Spectrometer)를 사용하여 혼합 기체의 조성비를 측정하는 기술로 He, $NF_3$, $CF_4$, $SF_6$가 포함된 공정에서 사용되는 가스를 사용하여 실제 조성비를 정량적으로 구하는 방법을 연구하였다. 실험을 위해 압력을 $1{\times}10^{-8}Torr$로 배기하였고, 반복 실험을 통하여 최적의 값으로 QMS를 튜닝을 한 후 He, $NF_3$, $CF_4$, $SF_6$가스에 대한 감도를 구하였다. 측정된 감도 값을 바탕으로 총 10회의 반복 측정한 데이터를 이용하여 농도 값을 얻었다. 사용된 가스는 한국표준과학연구원 표준가스실에 제작한 가스이다. 실험 데이터를 이용한 농도와 실제 농도를 비교한 결과 5% 이내의 오차 범위에서 농도 측정이 가능했다.

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.12 no.4
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• pp.24-32
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• 2008

We made a new propellant formulation to improve the productivity of Base Bleed Unit(aka BBU) by reducing of the curing time. We made an experiment with new propellant formulation such as binder characteristics and manufacturing process. In addition, we already tested several basic characteristics and the final performance of the new propellant. According to the test report, it was not only satisfied with all requirements in the specification, but it also contributed to improve productivity and reduced 53% of the curing time.

• Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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• 2003.11a
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• pp.110-113
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• 2003

여러가지 Sn-Ag-Cu 솔더조성과 솔더링 후의 냉각속도에 따라 솔더링 접합부에서의 계면 미세조직의 다양한 변화를 관찰해 보았다. 현재까지 Sn-Ag-Cu 3원계 공정점에 대한 정확한 연구가 미흡하고, 상용으로 제품화되고 있는 Sn-Ag-Cu 합금계는 3원계 공정조성에서 약간 벗어난 조성들을 선택하고 있다고 할 수 있다. 따라서, 본 연구에서 사용한 Sn-Ag-Cu 합금 조성은 Sn-3.5Ag, Sn-3Ag-0.7Cu, Sn-3Ag-1.5Cu, Sn-3.7Ag-0.9Cu, Sn-6Ag-0.5Cu로 선택하였으며, 각 조성에서 Lap Shear Joint를 제조하였다. 사용한 Solder pad는 Cu pad와 Cu pad 위에 Au/Ni를 plating한 것을 이용하였다. 리플로우 솔더링 조건은 $250^{\circ}C$ 이상의 온도에서 60초 실시하였으며, 리플로우 솔더링 후의 냉각속도를 달리하여 냉각시켰다. 솔더링 후의 냉각속도가 느려질수록 계면 금속간화합물(IMC)의 두께가 더욱 증가하며, 조대화되었다. 또한 솔더 조성의 영향에서 Cu와 Ag의 함량이 높을수록 계면 IMC의 두께가 증가되었으며, 이는 솔더내부에 형성된 IMC 입자들이 조대화되어 계면 IMC층에 결합되어 나타났기 때문이다.

• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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• v.6 no.5
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• pp.689-695
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• 2002

Film compositions are needed in semiconductor manufacturing for such diverse application as production tool qualifications and process development. Surface and interface information is generally provided with Auger electron spectroscopy(AES). In this paper, WSix films were analyzed for structural, electrical, and compositional properties of tungsten silicide thin films produced by low pressure chemical vapor deposition as a function of temperature, DCS post flow, shower head life time, and the silicon to tungsten ratios have been investigated. We find that Si/W composition ratio is increased in the surface and interface of WSix thin films by the DCS post flow process and increasing deposition temperature, respectively. The results obtained in this study are also applicable to process control of WSix deposition for memory device fabrication.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.295-295
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• 2012

염소와 불소 혼합가스와 펄스 직류 전원 플라즈마를 이용하여 GaAs/$Al_{0.2}Ga_{0.8}As$의 선택적 식각을 연구하였다. 식각 주요 공정 변수는 혼합 플라즈마에서 불소 가스의 유량(0~50%) 이었다. 다른 공정 조건은 공정 압력, 펄스 파워, 펄스 주파수, 리버스 시간이 이 있다. 저진공(~100 mTorr) 플라즈마에 대한 연구로 한정하여 기계적 펌프만을 사용하여 공정을 진행하였다. 오실로스코프(Oscilloscope) 데이터에 의하면 가스의 조성 변화에도 척에 걸리는 입력 전압과 전류가 거의 변화가 없었다. $BCl_3/SF_6$플라즈마에서 $SF_6$가스가 10%의 조성에서 GaAs와 $Al_{0.2}Ga_{0.8}As$의 식각 선택비가 약 50:1로 우수한 결과를 나타내었다. 혼합 플라즈마에서 $SF_6$가스의 증가는 GaAs의 식각율과 선택도를 감소시켰다. 그리고 불소 성분 가스의 조성비가 일정량 이상일 경우에는 GaAs와 $Al_{0.2}Ga_{0.8}As$가 거의 식각되지 않았다. 위의 결과들을 종합적으로 보면 펄스 직류 전원 $BCl_3/SF_6$플라즈마에서 불소의 조성비는 GaAs의 선택적 식각에서 중요한 역할을 함을 알 수 있었다.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 2009.11a
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• pp.541-544
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• 2009

$SF_6$는 이산화탄소의 23,900배의 지구온난화지수를 가지는 온실가스로서 절연성이 뛰어나 산업 분야에 많이 사용되고 있다. 본 연구에서는 질소+$SF_6$로 구성된 혼합기체로 부터 $SF_6$를 효과적으로 분리/회수하기 위하여 가스 하이드레이트 형성을 이용한 방법을 제안하였다. 본 실험은 275-290 K의 온도범위와 3-30 bar의 압력범위에서 질소 + $SF_6$ (10, 30, 50, 70%)의 혼합기체를 사용하여 각 조성에 따른 하이드레이트(H)-물(LW)-기상(V)의 3상 평형점을 측정하였다. 또한, 고체의 하이드레이트 내부에 포집된 혼합기체의 조성과 포집되지 않은 기상의 조성을 분석함으로써 하이드레이트 형성을 이용한 공정에서의 기체분리효율을 파악할 수 있었다. 또한, 하이드레이트 생성반응 동안 시간에 따른 혼합기체의 조성변화를 측정하였다. 276.15 K에서 50%의 $SF_6$가 포함된 혼합기체가 하이드레이트를 형성을 경우 하이드레이트상에는 85%의 $SF_6$가 포집다는 것을 알 수 있었다. 본 실험에서 얻어진 결과는 하이드레이트를 이용한 $SF_6$ 분리 공정의 중요한 기초 자료가 되며 다른 혼합 기체의 분리 공정에도 응용될 수 있을 것이다.

• Proceedings of the Korea Society for Energy Engineering kosee Conference
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• 2002.05a
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• pp.69-72
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• 2002

저발열량 가스(LCVG : low calorific value gases)는 석탄 가스, coke oven gas, carbon black waste gas, 화학공정 폐가스, 휘발성 유기화합물(VOC) 등 다양하다. 발열량 150~2,000㎉/m$^3$정도의 가스를 말하며 주요 조성은 H$_2$, CO, CH$_4$ 등이다. 화학공정 폐가스나 휘발성 유기물질 배출공정에서는 저농도(LEL 25% 이하)의 유기물질이 주 조성이다.(중략)