• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.242.1-242.1
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• 2013

최근, 저항변화 메모리 (resistance random access memory, ReRAM)는 단순한 구조, 고집적성, 낮은 소비 전력, 우수한 retention 특성 CMOS 기술과의 공정호환성 등의 장점으로 인하여 현재 사용되는 메모리의 물리적 한계를 극복할 수 있는 차세대 메모리로써 주목을 받고 있다. 더욱이 용액공정은 높은 균일성, 공정 시간 및 비율 감소 그리고 대면적화가 가능한 장점을 가진 이유로 TiOx, ZrOx ZnO 같은 high-k 물질들을 이용한 연구가 보고되고 있다. 기존의 ReRAM 용액공정에서 결함, 즉 oxygen vacancies 그리고 불순물들을 제어하기 위해 일반적으로 사용되는 furnace 열처리는 낮은 열효율과 고비용등의 문제점을 가지고 있다. 특히 glass 또는 flexble 기판의 경우 열처리 온도에 제약이 있다. 이러한 문제를 해결하기 위한 방법으로 열 균일성, 짧은 공정시간 의 장점을 가진 microwave 열처리 방법이 보고되고 있다. 따라서 본 연구에서는 용액공정을 이용하여 증착한 HfOx 기반의 저항변화 메모리를 제작하여 저온에서 microwave 열처리 와 furnace 열처리의 특성을 비교평가 하였다. 그 결과 microwave 열처리 방법이 furnace 열처리 방법보다 넓은 메모리 마진, 향상된 uniformity 를 가지는 것을 확인 하였다. 이로써 저온공정이 필요한 ReRAM 의 열처리 대안책 으로 사용될 수 있을 것으로 기대된다.

• Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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• 1995.04a
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• pp.958-961
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• 1995

MODROC 기법이 대표적인 일반화된 기계-셀 형성 기법은 부품 생산비용, 부품가공시간, 공정순서, 로트 크기 등을 고려하여, 기계-셀을 형성함에 있어, 보다 현실적인 접근을 추구한 것이다. 그러나, 수리적 문제 해결의 한계로 인해 현실 접근성이 제한되며, 신경망을 이용한 기존의 기법들 역시 수리적 제한환경을 설정한 것이어서 현실적인 응용가능성이 떨어지고 있다. 본 논문에서는 공정순서와 공장배치를 고려하여 기계-셀의 효율적인 형성을 꾀하였다. 신경망 모델인 자기조직화 형성기법을 응용하였으며, 공장 작업영역과 기계-셀의 위치가 주어짐에 따라 공정순서를 고려하여 물류의 이동을 최소화하는 기계-셀의 형성 방법을 꾀하였다. 본 기계-셀 형성 방법은 기존의 방식에 비해 짧은 시간에 기계-셀을 형성할 수 있으며, 그에 따른 부품군의 형성은 공정을 고려하여 총 물류량을 감소시키는 방향으로 결정되는 장점을 갖고 있다. 또한, 다변화되는 환경에 대한 적응성과 예외적 요소(exceptional element)에 대한 셀 형성 및 처리가 매우 유연하게 나타내어 진다. 본 연구에서는 공정 간에 기계의 중복이 있는 경우의 기계-셀 형성 문제에 대해 제한된 기법을 적용하였다.

• Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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• 1991.10a
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• pp.27-38
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• 1991

최근 관심의 대상이 되고 있는 JIT시스템은 간판매수 결정이 그 무엇보다도 중요하다 하겠다. 제1보에 있어서는 단일 제품인 경우에 있어서의 간판매수 결정법을 제안했다. 본 논문에서는, 복수의 제품이 다단계 생산 시스템을 흘러가는 경우, 1) 공정에서의 간판용량이 다른경우 2) 제품에 공통하는 부품의 공정이 있는 경우 3) 공통부품공수가 있지만 제품에 따라 흘러가는 공정이 다른 경우 등을 고려한다. 또한 종래의 코스트 최소화만의 사고를 탈피, 간판매수의 결정에 있어 중요한 요인을 정리 간판매수결정 방법을 제시하는데 있다. 구체적으로, 간판매수의 결정에 있어 중요한 요인으로써 수요, 공정간의 목표, 재고수준, 재고비용, 노무비용, 하청업체의 공급능력, 작업자의 작업시간을 고려한다. 또한, JIT시스템의 전제조건의 하나인 평준화생산을 실시하기 위하여 작업시간에 있어서 기간별 공정별 부하 밸런스를 고려한다. 그리고, 수리계획법의 하나인 다목표계획법에 의한 문제의 형식으로 모델화하고, 모델에 대한 수리적 검증을 실행한다.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2010.05a
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• pp.153-155
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• 2010

실리콘 태양전지의 pn 접합 계면특성을 조사하기 위해서 p형 실리콘 기판 위에 전기로를 이용한 $POCl_3$ 공정을 통하여 n형의 불순물을 주입하여 pn접합을 만들었다. n형 불순물의 확산되어 들어가는 공정시간이 길고 공정온도가 높을수록 면저항은 줄어들었다. n형 불순물의 주입이 많아질수록 pn 접합 계면에서의 전자친화도가 줄어들면서 면저항은 감소되었다고 할 수 있다. n형 반도체의 페르미레벨이 높아지면서 공핍층도 생기지만 n형 불순물이 많아지면서 공핍층의 폭은 점점 좁아지고 쇼키 장벽의 높이도 낮아지면서 자유전자와 홀 쌍의 이동이 쉽게 이루어지게 되었다. n형의 불순물 확산공정시간이 긴 태양전지 셀에서 F.F. 계수가 높게 나타났으며, 효율도 높게 나타났다.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2015.04a
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• pp.2-5
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• 2015

가상화 기술을 기반으로 하는 클라우드 컴퓨팅 환경에서 실시간 응용들을 수행하려는 움직임이 많아지고 있다. 이 응용들의 실시간성을 보장하기 위해 리눅스의 실시간 스케줄러를 활용한 기법들이 제안되었지만, 이 기법들은 가상 머신들의 공정한 수행을 보장하지 못한다는 한계가 있다. 따라서 우리는 실시간 클라우드 환경에서 가상 머신 스케줄링의 공정성을 보장하기 위해 virtual runtime 보상 기반의 가상 머신 공정 스케줄링 기법을 제안한다. 제안된 기법은 실시간 응용으로 인해 CFS가 인지하지 못한 CPU 시간을 체크하고 이를 virtual runtime에 반영하여 가상 머신 간의 공정한 수행을 보장한다. 우리는 제안된 기법을 리눅스 커널 상에 구현하였다. 제안된 기법을 적용한 결과, 가상 머신 간의 수행시간 차이가 기존 경우보다 47% 줄어든 것을 확인하였다.

• Journal of IKEEE
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• v.22 no.2
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• pp.302-308
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• 2018

Multi-Layer Sputtering is aim to develop desired thickness thin film multi-layer with different materials. The multi-layer thin film deposition process occupies a relatively large portion in the process time, because the main reason is that it takes much time to move the substrate to be deposited and to make the chamber into a high vacuum state compared to the process time. Most of semiconductor and display industries sputter a single substance in one chamber and move boards through multi-continuous robots to another chamber to sputter other materials. This will inevitably require multiple chambers, vacuum pumps, and multi-contamination robots within the process facility. To solve these problems, this paper proposes a control system for multi-layer thin film sputtering devices that deposit different materials within a single vacuum chamber and is applied in TFT process. The manufacture and experiment of the control system proved its validity.

• Journal of the Korean Society for Marine Environment & Energy
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• v.7 no.3
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• pp.116-121
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• 2004

Treatability tests were conducted to study the feasibility of EMMC process as a recycling-water treatment system in high density seawater aquaculture farm. To study the effect of organic and ammonia nitrogen loading rate on system performance, hydraulic retention time was reduced gradually from 12hr to 10min. The conclusions are can be summarized as follows. When the system HRT was reduced from 12hr to 2hr gradually, there was little noticeable change(reduction) in ammonia nitrogen removal efficiencies. However, removal efficiencies were decreased dramatically when the system was operated under the HRT of less than 2hr. In case of organics(COD), there was no dramatic change in removal efficiencies depending on HRT reduction. COD removal efficiencies were maintained successfully higher than 9％ when the system was operated at tile HRT of 10 min. System performances depending on media packing ratio in the reactors were also evaluated. There were little differences in each reactor performances depending on media packing ratio in reactor when the reactors were operated under the HRT of longer than 1hr. However, differences in reactor performances were considerably evident when the reactors were operated under the HRT of shorter than 1hr. When comparing reactor performance among 25％, 50％,7 5％ packed reactor, it can be judged that media packing ratio more than 50％ plays no significant role in increasing reactor performance. For this reason, packing the media less than 50％ is more reasonable way in view of economic. Such a tendency shown in COD removal efficiencies well agreed with the variation of ammonia-nitrogen removal efficiencies according to the media packing ratio in reactors at each HRT. Difference in effluent ammonia-nitrogen concentration between 50％ media packing reactor and 75％ media packing reactor was negligible. When comparing with the results of 25％ packing reactor, difference was not so great.

• Journal of the Korean Society of Urban Environment
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• v.18 no.4
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• pp.401-408
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• 2018

EQPS (Effluent Quality Prediction System, Dynamita, France) was applied to analyze the appropriateness of the design of a bioreactor in A sewage treatment plant. A sewage treatment plant was designed by setting the design concentration of the secondary clarifier effluent to total nitrogen and total phosphorus, 10 mg/L and 1.8 mg/L, respectively, in order to comply with the target water quality at the level of the hydrophilic water. The retention time of the 4-stage BNR reactor was 9.6 hours, which was 0.5 for the pre-anoxic tank, 1.0 for the anaerobic tank, 2.9 for the anoxic tank, and 5.2 hours for the aerobic tank. As a result of the modeling of the winter season, the retention time of the anaerobic tank was increased by 0.2 hours in order to satisfy the target water quality of the hydrophilic water level. The default coefficients of the one step nitrification denitrification model proposed by the software manufacturer were used to exclude distortion of the modeling results. Since the process modeling generally presents optimal conditions, the retention time of the 4-stage BNR should be increased to 9.8 hours considering the bioreactor margin. The accurate use of process modeling in the design stage of the sewage treatment plant is a way to ensure the stability of the treatment performance and efficiency after construction of the sewage treatment plant.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.568-568
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• 2013

현재 태양전지 도핑 공정은 퍼니스와 레이저 도핑공정이 주요공정으로 사용되고 있다. 퍼니스 도핑 공정은 POCl3 가스를 도펀트로 사용하여 확산 공정으로 진행한다. 퍼니스 도핑공정은 고가의 장비와 유독 가스사용으로 인한 처리 문제, 웨이퍼의 국부적인 부분에 고농도 도핑을 하는데는 제한적이다. 레이저를 사용한 선택적 도핑의 경우 고가의 레이저장비가 요구되어진다. 본 연구는 기존 도핑공정 문제점을 보완한 저가이면서 새로운 구조의 대기압 플라즈마 제트를 개발하였고, 이를 통한 인산을 사용하여 선택적 도핑에 관한 연구를 하였다. 대기압 플라즈마 제트는 Ar 가스를 주입하여 저주파(1 kHz~100 kHz) 전원을 인가하여 플라즈마를 발생시키는 구조로 제작하였다. 웨이퍼는 태양전지용 P-type shallow 도핑된(120 Ohm/square) 웨이퍼를 사용하였고, 도펀트는 스핀코터를 사용하여 도포를 하였다. 인산의 농도는 10%, 50%, 85%를 사용하였다. 플라즈마 발생 전류는 70 mA, 120 mA에서 실험을 하였다. 대기압 플라즈마 처리시간은 30 s, 90 s, 150 s 처리하여 도핑공정을 진행하였고, 도핑 프로파일은 SIMS (Secondary Ion Mass Spectroscopy)측정을 통하여 분석을 진행하였다. 도펀트의 농도와 전류가 높아짐에 따라서, 도핑 처리시간이 길어짐에 따라서 도핑 깊이가 깊어짐을 확인하였다. 도핑 프로파일을 분석하여 Effective carrier lifetime을 얻었으며, 도펀트 농도가 증가하거나 도핑 처리시간이 길어짐에 따라서 Effective carrier lifetime 낮아짐을 확인하였다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.56 no.3
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• pp.421-429
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• 2018

We performed process and CFD simulations of a 100 kW fuel cell system. By process simulation, we derived the input flow rate of each unit process and the recycle diesel flow rate. Through CFD simulation considering the recycle diesel flow, more efficient operational condition was found. Using 6 desulfurize reactors, a TSA process for a 100 kW fuel cell system was successfully constructed. Heat interference between reactors was found to be negligible. These results will contribute to increasing the efficiency of fuel cell system and the developed desulfurizing module design will contribute to the clean petrochemical technology as well as fuel cell systems.