• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.18 no.3
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• pp.176-185
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• 2009

The realization and the performance of ICP source are strongly affected by its electrical impedance and the electric/magnetic field distribution. The ICP source impedance is determined by the antenna impedance and the plasma one. It is preferred to keep the imaginary impedance between -100 ohm to 100 ohm, since it should be avoided the high voltage formation on the antenna and abrupt impedance variation during the thin film process. The plasma uniformity is affected by the electric and magnetic field which is formed by the antenna current and voltage. The influence of azimuthal symmetry are shown by the electromagnetic simulation and the measurement result of plasma density. The radial uniformity can be controlled by locating the concentric antennas which have different diameters. The power distribution ratio and its control method are presented in the case of parallel antenna connections.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.284-284
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• 2011

Ion sensitive field effect transistor (ISFET)는 용액 중의 각종 이온 농도를 측정하는 반도체 이온 센서이다. ISFET는 작은 소자 크기, 견고한 구조, 즉각적인 반응속도, 기존의 CMOS공정과 호환이 가능하다는 장점이 있다. ISFET의 기본 구조는 기존의 metal oxide semiconductor field effect transistor (MOSFET)에서 고안되었으며, ISFET는 기존의 MOSFET의 게이트 전극 부분이 기준전극과 전해질로 대체되어진 구조를 가지고 있다. ISFET소자의 pH 감지 메커니즘은 감지막의 표면에서 pH용액의 수소이온이 막의 표면에 속박되어 표면전위의 변화를 유발하는 것에 기인한다. 그 결과, 수소이온의 농도에 따라 ISFET의 문턱전압의 변화를 일으키게 되고 드레인 전류의 양 또한 달라지게 된다. 한편, ISFET의 좋은 pH감지특성과 높은 출력특성을 얻기 위하여 high-k물질들이 감지막으로써 지속적으로 연구되어져 왔다. 그 중 Al2O3와 HfO2는 높은 유전상수와 좋은 pH 감지능력으로 인하여 많은 연구가 이루어져온 물질이다. 하지만 HfO2는 높은 유전상수를 갖음에도 불구하고 화학용액에 대한 non-ideal 효과에 취약하다는 보고가 있다. 반면에 Al2O3의 유전상수는 HfO2보다 작지만 화학용액으로 인한 손상에 대하여 강한 immunity가 있는 재료이다. 본 연구에서는, 이러한 각각의 high-k 물질들의 단점을 보안하기 위하여 SiO2/HfO2/Al2O3(OHA) 적층막을 이용한 ISFET pH 센서를 제작하였으며 SOI 기판에서 구현되었다. SOI기판에서 OHA 적층막을 이용한 ISFET 제작이 이루어짐에 따라서 소자의 signal to noise 비율을 증대 시킬것으로 기대된다. 실제로 SOI-ISFET와 같이 제작된 SOI-MOSFET는 1.8${\times}$1010의 높은 on/off 전류 비율을을 보였으며 65 mV/dec의 subthreshold swing 값을 갖음으로써, 우수한 전기적 특성을 보이는 ISFET가 제작이 되었음을 확인 하였다. OHA 감지 적층막의 각 층은 양호한 계면상태, 높은 출력특성, 화학용액에 대한non-ideal 효과에 강한 immunity을 위하여 적층되었다. 결론적으로 SOI과 OHA 적층감지막을 이용하여 우수한 pH 감지 특성을 보이는 pH 센서가 제작되었다.

• Clean Technology
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• v.5 no.1
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• pp.42-48
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• 1999

Waste tires have both sides which are contamination and reuse concern with environmental problems. In this study, tire pyrolysis was conducted to convert combustible gases using thermal plasma. Production of combustible gases was found by gas chromatography after thermal plasma pyrolysis of waste tires without oxygen. The combustible gases consist of low molecular hydrocarbons such as $CH_4$, $C_2H_2$, $C_4H_{10}$ etc. As tire feed rate increased, the composition of $CH_4$ in the gases was increased. As plasma power increased, the composition of $C_2H_2$ was increased. $C_2H_2$ and $C_4H_{10}$ were dominant and had the ratio over 70% in the gases. On the other hand the trends of pyrolysis was characterized in the thermal plasma from the results of TG analysis which shows the currents of decomposition of the char according to the temperature.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.27 no.2
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• pp.212-215
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• 2016

In this paper, a 5.08 GHz Ring Voltage Controlled Oscillator(Ring VCO) was implemented using $0.18{\mu}m$ standard CMOS technology. The proposal Ring VCO is 3-stage structure. This research confirmed that the each stage's different transistor size ratio influence the current change and alter power consumption consequentially. This circuit is formed to control the current thereby adding the Current Mirror and to tune the frequency by supplying control voltage. It has an 65.5 %(1.88~5.45 GHz) tuning range. The measured output power is -0.30 dBm. The phase noise is -87.50 dBc/Hz @1 MHz offset with operating frequency of 5.08 GHz fundamental frequency. The total power consumption of Ring VCO is 31.2 mW with 2.4 V supply voltage.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.4 no.5
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• pp.566-573
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• 1994

The diamond synthesis by combustion flame method is considerably affected by the substrate surface temperature and its distribution which are mainly controlled by the ratio of mixed gas, $O_2/C_2H_2$. In order to elucidate the role of gas ratio in the diamond synthetic process by combustion flame, under various gas ratios (R=0.87~0.98; R=ratio of flow-rate of $O_2/C_2H_2$ gas) the substrate temperature was measured by using thermal video system and the morphological change of diamond crystals was analysed by using SEM, Raman spectroscope, and X-ray diffraction method. With increasing the gas ratio, i.e., decreasing the hydrocarbon content, the nucleation rate of diamond crystal was lowerd. It was also found that the morphology of diamond crystals changed from the cubo-octahedron type consisting of (100), (111) plane to the octahedron type of (111) plane. The increase of the substrate temperature consistently resulted in the increase of the nucleation rate as well as the growth rate of diamond crystals in which the surface of diamond crystal dominantly consisting of (100) plane.

• Clean Technology
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• v.16 no.4
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• pp.245-253
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• 2010

Optimum conditions for UV-radiated photopolymerization of unsaturated polyester that could be used as protecting layer of large diameter pipe were investigated in this paper. UV photopolymerization method was selected to solve the problems, arising when thermal polymerization by organic peroxide was used, such as the instability of peroxide initiator, the evolution of volatile organic compound, and thermal deformation of product. Two of the photo-initiators (Irgacure 819 and Darocure 1173) well known for its penetrating ability deep into the polymer layer were selected, and the optimum conditions for photopolymerization (1.5 phr initiator content, 1:1.2 initiator ratio, Ga lamp for UV source) were found from the thermal and mechanical test results of the resultant UP polymers. In addition, composite materials containing UP polymer and glass fiber were tested for hardness, impact strength, and flexural strength to find that the impact strength of composite significantly improved.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.169-169
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• 2012

현재 디스플레이 시장은 LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel) 등과 같이 평판 디스플레이가 주류를 이루고 있으며 현재에는 기존의 디스플레이와는 달리 잘 휘어지고 높은 투과성을 가지는 플렉시블 디스플레이에 대한 연구가 활발히 진행 중이다. 하지만 이러한 플렉시블 디스플레이에 사용되는 플라스틱 기판의 경우 용제에 대한 화학적 저항성 및 기계적인 안정성이 취약한 점과 대기중의 수분이나 산소가 플라스틱 기판을 통하여 소자내로 침투하게 되어 금속전극을 산화시키거나 기포 또는 흑점 등과 같은 비 발광 영역이 확산되어 소자의 수명을 단축시키는 치명적인 단점을 가진다. 이에 본 실험에서는 고밀도 플라즈마 형성이 가능하고 저온공정이 가능한 FTS (Facing Target Sputtering) 장비를 이용하여 Polyethylene terephthalate (PET) 기판위에 낮은 수분 투과율 또는 산소 투과율을 갖는 양질의 무기 산화막을 적층하기 위해 저 투습도 및 기계적인 경도 향상을 위한 비 반응성 박막으로 $Al_20_3$층을 Ar분위기에서 증착하였고 그 위에 박막의 stress 감소, 유연성 향상을 위한 반응성 박막으로 Al을 Ar과 $O_2$를 비율별로 증착하여 비교 실험하였다. 이와 같이 제작된 무기산화막들을 Uv- spectrophotometer를 이용하여 광학적 특성을 조사한 결과 가시광 영역에서 모두 80% 이상의 높은 투과율을 나타내었으며, 그 외 XRD (X-ray Diffraction)를 사용하여 결정성을 확인, SEM (Scanning Electron Microscope), AFM (Atomic Force Microscope)을 이용하여 박막의 구조와 표면향상 및 표면조도를 측정한 결과 모든 박막에서 밀집도가 좋으며 거칠기가 작은 것으로 확인되었다. 마지막으로 수분 투과율(WVTR)을 알아보기 위해 Mocon (Permatran W3/31)장비를 이용하여 측정한 결과 $1.0{\sim}3.0{\times}10^{-3}g/m{\cdot}day$의 낮은 수분 투과율을 볼 수 있었다. 이러한 측정 결과로 볼 때 향후 FTS 장비를 이용하여 양질의 플라즈마를 형성하여 알루미늄 무기산화막을 이용한 고밀도 다층막을 형성하면 더욱 낮은 수분투과율을 갖는 가스차단막을 제작할 수 있을 것으로 보여지며 반도체 소자 및 디바이스의 Pachaging으로도 사용가능 할 것이라 사료된다. 본 연구는 한국산업기술진흥원에서 지원하는 2011년도 지역산업기술개발사업의 연구수행으로 인한 결과물임을 밝힙니다.

• Journal of the Korean Society of Food Science and Nutrition
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• v.33 no.10
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• pp.1676-1684
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• 2004

Gel properties of recovered protein from mackerel, frozen blackspotted croaker, chicken breast and pork leg using acidic and alkaline processing were evaluated. Myofibrillar protein from mackerel by acidic processing did not form a heat-induced gel. However, the recovered protein including sarcoplasmic protein formed heatinduced gel. Breaking force of gel from mackerel processed at pH 10.5 was the lowest. A deformation value of frozen blackspotted croaker was the highest, followed by chicken breast, pork leg and mackerel. Whiteness of frozen blackspotted croaker was the highest among heat-induced gel. Breaking force, deformation and whiteness were decreased by addition of recovered protein from mackerel, but price was increased. A breaking force and whiteness of heat-induced gel added recovered protein from chicken breast were increased, and the price was greatly decreased. When the constraint of breaking force, deformation and price of raw material were set up above 110 g, 4.5 mm and below 2,000 won/kg. A optimum formulation for blending protein was 36∼50% for frozen blackspotted croaker, 34∼40% for chicken breast, 14∼25% for pork leg. The heat-induced gel of recovered protein from frozen blackspotted croaker showed compact structure compared to that of recovered protein from mackerel. A formulation of chicken breast and pork leg based on blackspotted croaker can be used in surimi based seafood products having various texture.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 2010.06a
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• pp.135.1-135.1
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• 2010

최근 고온에서 사용 가능한 PEMFC용 고분자전해질 막 개발에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. PEMFC가 고온에서 작동하게 되면 높은 성능과 많은 장점을 갖게 된다. PEMFC를 $100^{\circ}C$ 이상에서 운전하게 될 경우 백금 전극 반응을 향상시켜 고가의 백금 촉매 양을 줄일 수 있게 되고, 수소연료 속에 미량 포함된 CO에 의한 촉매표면 피독현상에 대한 내구성을 높일 수 있어 저 순도 수소연료 사용이 가능해 진다. 또한 가습장치와 수소 연료 개질장치의 부피를 줄일 수 있게 되어 전체적인 PEMFC 시스템이 단순화 된다. 현재 연료전지용 고분자 전해질막으로 DuPont사의 과-불소계 고분자 전해질막인 Nafion$^{(R)}$이 가장 널리 사용되고 있다. Nafion$^{(R)}$은 유연한 분자구조 안에 소수성이 강한 주사슬과 친수성을 나타내는 술폰산이 결합된 곁사슬이 존재하여 술폰화 곁사슬의 클러스터 둘레에는 친수성 영역이 형성이 되기때문에 소수/친수 상 분리가 잘되어 이온 클러스터 형성이 용이하지만 제조비용이 높은 단점을 갖고 있다. 특히, 전해질 막내에서 Bronsted base 역할을 하는 물에 의해 이온전도가 이루어지기 때문에 고온에서는 수분증발로 인해 성능이 급격히 감소된다. 따라서, 본 연구에서는 고온 저가습 조건에서 운전이 가능하고 Nafion이 갖는 문제점을 해결하고자, 내열특성이 뛰어나며 높은 수소이온 전도도 학보가 용이한 Sulfonated Poly(aryl ether)sulfone(SPAES) 고분자 전해질에, 고온에서도 수화성이 유지될 수 있도록 지르코니아를 황산화한 sulfated zirconia(s-$ZrO_2$)를 함침하여 복합 고분자전해질막을 제조하여 고온 저가습 조건에서의 수소이온 전도 특성에 관한 연구를 수행하였다. 개발된 막의 물리/화학적 특성은 water content(Wup%), 이온교환 용량(IEC, meq $g^{-1}$), 수소이온전도도(s $cm^{-1}$) 열 중량 분석(TGA), X선 회절분석(XRD) 등을 통하여 분석 및 관찰하였다. 내화학 및 열적 특성분석 결과, 황산화 반응공정으로 $ZrO_2$에 술폰산기가 안정적으로 결합하고 있음이 관찰되었으며, 본 연구에서 개발된 유 무기 복합막이 $250^{\circ}C$이상 열적안정성을 확보하고 있는 것으로 판단되었다. $100^{\circ}C$ 이하의 저온 영역에서, 일정 비율의 s-$ZrO_2$/SPAES막에서 이온교환용량(IEC)이 순수 SPAES 막보다 낮음에도 불구하고, water uptake가 증가함과 동시에 수소이온 전도도가 향상된 것을 관찰하였다. 또한, 고온에서는 수소이온이 자유롭게 이동할 수 있는 water channel을 형성하는 free water는 증발 하지만 s-$ZrO_2$와 SPAES의 술폰산기 사이에 강력하게 결합하고 있는 bound Water는 $100^{\circ}C$ 이상의 고온 영역에서도 존재하여, 비록 무가습 조건에서도 일정 비율의 s-$ZrO_2$/SPAES50 전해질 막의 경우, 높은 전도도를 나타냄을 관찰할 수 있었다. 따라서 본 연구를 통해 저가습 고온 적용을 목적으로 개발된 s-$ZrO_2$/SPAES50막은 우수한 내열 특성을 나타냄과 동시에 저가습 고온 영역($120^{\circ}C$, $50RH{\downarrow}$)에서 높은 수소이온 전도도를 유지하여, 고온 저가습 연료전지 운전에 적합할 것으로 사료된다.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea TC
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• v.39 no.4
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• pp.188-200
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• 2002

The WRR scheduling algorithm is widely used in ATM networks due to its simplicity and the low cost of hardware implementation. It guarantees minimum cell rate according to the weight of each queue. The fairness is a important factor for ABR service. That is, scheduling algorithm allocates network resources fairly to each VC. However, WRR algorithm shows worse performance on bursty traffic. Because it schedules input traffics according to predetermined weight, it can not satisfies fairness criteria, MCR plus equal share and Maximum of MCR or Max-Min share, defined by ATM Forum TM 4.1 specification. The Nabeshima et al algorithm is not adapt to network status rapidly because it is not compensate the weights of unused bandwidth to VCs and assign the unused bandwidth to VCs by RR method. In this paper, we propose a scheduling algorithm for satisfying the two fairness criteria, MCR plus equal share and Maximum of MCR or Max-Min share, among the six criteria defined by ATM Forum TM 4.1 specification. The WRR, Nabeshima et al, and the proposed scheduling algorithms are compared with respect to fairness and convergence time throughout experimental simulation. According to the simulation results, the proposed algorithm shows higher fairness and more rapid convergence than other algorithms.