• Title/Summary/Keyword: 고유값 분석

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CMP Behaviors of CMP Slurry for Ru Barrier Metal (Ru barrier metal을 위한 CMP 슬러리의 CMP 거동 관찰)

  • Son, Hye-Yeong;Kim, In-Gwon;Park, Jin-Gu
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2009.06a
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    • pp.57-57
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    • 2009
  • 반도체 device가 고집적화 및 다층화 되어짐에 따라 현재 사용되고 있는 구리 interconnect의 확산방지막인 Ta/TaN은 많은 문제가 발생하고 있다. 고집적화 된 반도체 소자에 적용시키기에는 Ta/TaN 확산 방지막의 고유 저항값이 매우 크고, 구리의 증착에 필요한 seed layer의 크기도 문제화 된다고 보고되어지고 있다. 이러한 이유로 인해 점차 고집적화 되어지는 반도체 기술에 맞추어 새로운 확산 방지막에 대한 연구가 현재 활발히 이루어지고 있다. 이에 새로운 확산 방지막으로써 대두되고 연구되고 있는 재료가 Ruthenium (Ru)이다. Ru은 공기 중에서 매우 안정하고 고유저항 값 또한 $13\;{\mu}{\Omega}\;cm$의 Ta에 비해 $7.1\;{\mu}{\Omega}\;cm$의 매우 작은 고유저항 특성을 가지고 있다. 또한, Ru은 구리와의 우수한 접착성으로 인해 구리의 interconnect의 형성에 있어 seed layer가 필요하지 않을 뿐만 아니라 높은 annealing 온도에서도 무시할 만큼 작은 solid solubility를 가지며 구리와의 계면에서 새로운 화합물을 형성하지 않으며 annealing시 구리의 delamination을 유발시키지도 않는다. 이에 따라, 평탄화와 소자 분리를 위하여 chemical mechanical planarization (CMP) 공정이 필요하게 되었다. 하지만, Ru의 noble한 성질과 Ru 확산방지막 CMP공정 시 노출되는 다른 이종 물질 사이의 최적화 된 selectivity를 구현하는데 많은 어려움이 있다. 이로인해 Ru 확산 방지막을 위한 CMP slurry에 대한 연구는 아직 미흡한 수준이다. 본 연구에서는 Ru이 확산방지막으로 사용되었을 때 이를 위한 CMP slurry에 대한 평가와 연구가 이루어졌다. Slurry 조성과 농도 및 pH에 따른 전기 화학적 분석을 통하여 slurry 내에서 각각의 막질들이 어떠한 상태로 존재하는지 분석해 보았다. 또한, Ru을 비롯한 이종막질들의 etch rate, removal rate와 selectivity에 대한 연구가 진행되었다. 최종적으로 Ru 확산방지막 CMP를 위한 최적화된 slurry를 제안하였다.

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A Study on Eigenspace Face Recognition using Wavelet Transform and HMM (웨이블렛 변환과 HMM을 이용한 고유공간 기반 얼굴인식에 관한 연구)

  • Lee, Jung-Jae;Kim, Jong-Min
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.16 no.10
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    • pp.2121-2128
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    • 2012
  • This paper proposed the real time face area detection using Wavelet transform and the strong detection algorithm that satisfies the efficiency of computation and detection performance at the same time was proposed. The detected face image recognizes the face by configuring the low-dimensional face symbol through the principal component analysis. The proposed method is well suited for real-time system construction because it doesn't require a lot of computation compared to the existing geometric feature-based method or appearance-based method and it can maintain high recognition rate using the minimum amount of information. In addition, in order to reduce the wrong recognition or recognition error occurred during face recognition, the input symbol of Hidden Markov Model is used by configuring the feature values projected to the unique space as a certain symbol through clustering algorithm. By doing so, any input face will be recognized as a face model that has the highest probability. As a result of experiment, when comparing the existing method Euclidean and Mahananobis, the proposed method showed superior recognition performance in incorrect matching or matching error.

A Study on Performance Improvement of Adaptive SLC System Using Eigenanalysis Method and Comparing with RLS Method (Eigenanalysis 방식의 적응 SLC(sidelobe canceller) 시스템의 적용에 따른 성능향상 및 RLS 방식과외 비교에 관한 연구)

  • Jung, Sin-Chul;Kim, Se-Yon;Lee, Byung-Seub
    • Journal of Advanced Navigation Technology
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    • v.5 no.2
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    • pp.111-122
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    • 2001
  • In this paper, we study the performance of eigencanceller which use a eigenvector and eigenvalue in order to update a weighter vector. Eigencanceller can suppress directional interferences and noise effectively while maintaining specified beam pattern constraints. The constraints and optimal weight vector of eigencanceller vary by using interference and noise or desired signal, interference signal and noise as array input signal. From the analysis results in the steady state, We show that weight vectors in each case are simplified the form of projection equation that belongs to desired subspace orthogonal to interference subspace and eigencanceller has the better performance than RLS method through mathematical analysis and simulation.

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Image Reconstruction of Eigenvalue of Diffusion Principal Axis Using Diffusion Tensor Imaging (확산텐서영상을 이용한 확산 주축의 고유치 영상 재구성)

  • Kim, In-Seong;Kim, Joo-Hyun;Yeon, Gun;Suh, Kyung-Jin;Yoo, Don-Sik;Kang, Duk-Sik;Bae, Sung-Jin;Chang, Yong-Min
    • Investigative Magnetic Resonance Imaging
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    • v.11 no.2
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    • pp.110-118
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    • 2007
  • Purpose: The objective of this work to construct eigenvalue maps that have information of magnitude of three primary diffusion directions using diffusion tensor images. Materials and Methods: To construct eigenvalue maps, we used a 3.0T MRI scanner. We also compared the Moore-Penrose pseudo-inverse matrix method and the SVD (single value decomposition) method to calculate magnitude of three primary diffusion directions. Eigenvalue maps were constructed by calculating of magnitude of three primary diffusion directions. We did investigate the relationship between eigenvalue maps and fractional anisotropy map. Results: Using Diffusion Tensor Images by diffusion tensor imaging sequence, we did construct eigenvalue maps of three primary diffusion directions. Comparison between eigenvalue maps and Fractional Anisotropy map shows what is difference of Fractional Anisotropy value in brain anatomy. Furthermore, through the simulation of variable eigenvalues, we confirmed changes of Fractional Anisotropy values by variable eigenvalues. And Fractional anisotropy was not determined by magnitude of each primary diffusion direction, but it was determined by combination of each primary diffusion direction. Conclusion: By construction of eigenvalue maps, we can confirm what is the reason of fractional anisotropy variation by measurement the magnitude of three primary diffusion directions on lesion of brain white matter, using eigenvalue maps and fractional anisotropy map.

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A Study on the Field Application of the Measurement Technique for Static Displacement of Bridge Using Ambient Vibration (상시 진동을 이용한 교량 정적 처짐 산정 기술의 현장 적용성 연구)

  • Sang-Hyuk Oh;Dae-Joong Moon;Kwang-Myong Lee
    • Journal of the Korean Recycled Construction Resources Institute
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    • v.11 no.4
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    • pp.355-363
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    • 2023
  • In safety assessment of a aged bridge, dynamic characteristics and displacement are directly related to the rigidity of the structural system, especially displacement is the most important factor as the physical quantity that the bridge user can directly detect. However, in order to measure the displacement of the bridge, it is difficult to install displacement sensors at the bottom of the bridge and conduct traffic blocking and loading tests, resulting in increased costs or impossible measurements depending on the bridge's environment. In this study, a method of measuring the displacement of a bridge using only accelerometers without installing displacement sensors and ambient vibration without a loading test was proposed. For the analysis of bridge dynamic characteristics and displacement using ambient vibration, the mode shape and natural frequency of the bridge were extracted using a TDD technique known to enable quick analysis with simple calculations, and the unit load displacement of the bridge was analyzed through flexibility analysis to calculate static displacement. To verify this proposed technology, an on-site test was conducted on C Bridge, and the results were compared with the measured values of the loading test and the structural analysis data. As a result, it was confirmed that the mode shape and natural frequency were 0.42 to 1.13 % error ratio, and the maximum displacement at the main span was 3.58 % error ratio. Therefore, the proposed technology can be used as a basis data for indirectly determine the safety of the bridge by comparing the amount of displacement compared to the design and analysis values by estimating the displacement of the bridge that could not be measured due to the difficulty of installing displacement sensors.

An Energy-Dissipation-Ratio Based Structural Health Monitoring System (에너지소산률을 이용한 구조물의 건전도 모니터링에 관한 연구)

  • Heo, Gwang-Hee;Shin, Heung-Chul;Shin, Jae-Chul
    • Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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    • v.8 no.1
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    • pp.165-174
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    • 2004
  • This research develops a technique which uses energy dissipation ratio in order to monitor the structural health on real time basis. For real-time monitoring, we employ the NExT and the ERA which enable us to obtain real-time data. Energy dissipation ratio is calculated from those data only with the damping and natural frequency of the structure, and from the calculated values we develop an algorithm (Energy dissipation method) which decides the damage degree of structure. The Energy dissipation method developed in this research is proved to be valid by comparison with other methods like the eigenparameter method and the MAC. Especially this method enables us to save measuring time and data which are the most important in real-time monitoring, and its use of the ambient vibration also makes it easy to monitor the whole structure and its damage points.

The analysis of RC bridge piers on shaking table test by using Nonlinear program (비선형 해석프로그램을 이용한 RC교각의 진동대 시험 분석)

  • Yang, Dong-Wook;Park, Young-Kwon;Lee, Yeon-Hun;Chung, Young-Soo;Lee, Dae-Hyoung
    • Proceedings of the Korea Concrete Institute Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.67-68
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    • 2009
  • This research aims at investigating the seismic behavior of RC bridge piers subjected to NFGM in low or moderate seismic region according to Volumetric Confinement Steel Ratio through the shaking table test unlike original way of the test. This investigation deal with the estimate with SARCF for shaking table test by the comparative analysis for the value of FFT.

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Estimation of Weights in Water Management Resilience Index Using Principal Component Analysis(PCA) (주성분 분석(PCA)을 이용한 물관리 탄력성 지수의 가중치 산정)

  • Park, Jung Eun;Lim, Kwang Suop;Lee, Eul Rae
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2016.05a
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    • pp.583-583
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    • 2016
  • 다양한 평가지표가 반영된 복합 지수(Composite Index)는 물관리 정책의 우선순위 결정 및 정책성과의 모니터링에 유용한 도구로 사용되고 있다. 각 지표별 중요도를 나타내는 가중치는 최종 지수의 산정에 영향을 미칠 수 있으며, 그 결정방법도 Data Envelopment Analysis(DEA), Benefit of doubt Approach(BOD), Unobserved Component Model(UCM), Budget Allocation Process(BAP), Analytic Hierarchy Process(AHP), Conjoint Analysis(CA) 등 다양하다. 본 연구에서는 여러 가지 가중치 결정방법 중 통계적 방법인 주성분 분석(Principal Component Analysis, PCA)을 사용하여 Park et al.(2016)이 제시한 물관리 탄력성 지수(Water Management Resilience Index, WMRI)에 대한 가중치를 산정하여 동일 가중치를 적용한 기존 결과와 비교하였다. 물관리 탄력성 지수는 자연조건상 물관리 취약성(Vulnerability), 기존 수자원 인프라의 견고성(Robustness), 물위기 적응전략의 다양성(Redundancy)의 3가지 부지수(sub-index)는 각각 13개, 11개, 7개의 지표(Indicator)로 구성되어 있으며, 117개 중권역을 다목적댐 하류 본류유역(범주 1), 용수공급 및 유량조절이 불가능한 지류(범주 2)와 가능한 지류(범주 3)로 분류하여 적용되었다. 각 부지수별로 추출된 3개, 5개, 3개의 주성분이 전체 자료의 76.4%, 71.2%, 63.2%를 설명하는 것으로 분석되었으며 부지수별 주성분의 고유벡터(Eigenvector)와 고유값(Eigenvalue)를 계산하고 각 지표의 가중치를 산정하였다. 주성분 분석에 의한 가중치와 동일 가중치를 적용하였을 경우와 비교해보면 취약성 부지수 1.9%, 견고성 부지수 1.9%, 다양성 부지수 2.1%의 차이가 나타나며 물관리 탄력성 지수는 0.4%의 차이를 보임에 따라 Park et al.이 제시한 연구결과의 적정성을 확인할 수 있었다. 주성분 분석은 객관적인 가중치 설정을 위한 통계적 접근방법의 하나로써 다양한 물관리 정책지수 산정시 활용될 수 있을 것이며, 향후 다른 가중치 산정방법을 적용함으로써 각 방법에 따른 지수 결과의 민감도 및 장단점을 분석할 수 있을 것으로 판단된다.

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Calculation of high discharge under hydrological conditions with probability frequency - Focusing on the Seolmacheon catchment - (확률빈도를 갖는 수문조건에서의 고유량 산정 - 설마천 유역을 중심으로 -)

  • Kim, Dong Phil
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2021.06a
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    • pp.385-385
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    • 2021
  • 하천에서 실제로 유속 2.0m/s 이상 발생할 시 유량측정은 매우 급변하는 유속과 수위변화에 따른 측정값의 불확실성, 운영적인 측면에서의 시·공간적 한계 등으로 고유량에 대해 정확한 유량을 산정하기 어려운 실정이다. 그리고 국가하천은 최소 80년 빈도 이상, 지방하천은 최소 50년 빈도 이상의 확률강우량 채택을 통해 고유량에 해당하는 계획홍수량을 산정하고 있으나, 실제로 높은 호우의 빈도는 쉽게 발생하지 않아 유량측정성과가 부재하거나 매우 극소수에 불과한 상황이다. 따라서 유량측정성과는 대상하천의 계획홍수량(계획홍수위) 이하의 수준, 즉 중규모 수위 이하의 구간에서 대부분의 성과를 가지고 있으므로 고유량 산정은 고수위 외삽추정식에 의존할 수밖에 없다. 고수위 외삽추정은 대체로 기 유량측정성과(h, q)와 통수단면적(AD1/2) 자료를 이용하는 Stevens 방법을 주로 이용하며, 이 방법은 하폭에 비해 수심이 비교적 작은, 얕은 하천과 기 유량측정성과가 추정하려는 고수위 구간에 근접한 경우에 적용성이 매우 용이하다고 할 수 있다. 설마천 유역 전적비교 수위관측소의 경우는 수위 4.110m까지 최대로 통수할 수 있으며, 하폭은 24.230m, 관측 최고수위는 3.194m, 유량측정성과 최대수위는 1.613m(40.303m3/s)이다. 설마천 유역에 대해 Stevens 방법을 적용하는 경우 위 조건을 만족하지 않으므로 다른 방법으로의 접근이 필요하다. AMC-III 조건의 선행강수량과 지속기간 1시간을 갖는 최대강우강도별 관측도달시간 자료를 통해 관계식을 유도하였으며, 강우 빈도해석의 결과인 지속기간 1시간의 빈도별 강우강도에 해당하는 도달시간을 유속으로 환산하는 과정을 거쳤다. 그 결과 유속은 1.808m/s(2년 빈도_43.3mm)~4.254m/s(500년 빈도_101.9mm)이며, 기 유량측정성과의 결과인 수위, 통수단면적, 유속, 유량, 최대강우강도(86.1mm_80년 빈도)가 발생했을 때의 해당 유속(도달시간 환산값), 수위, 통수단면적을 통해 최종적으로 빈도(년)별 유속, 수위, 유량을 결정하였다. 한국하천일람(2018)에서 제시된 설마천 전체 유역의 80년 빈도 계획홍수량(315m3/s, A=17.59km2) 값은 전적비교 수위관측소(A=8.48km2)와 직접적인 비교는 어렵지만, 유역면적비(0.482)를 적용한 추정된 계획홍수량은 약 152m3/s 볼 수 있다. 상기의 빈도별 유속, 수위, 통수단면적 결과인 80년 빈도(86.1mm)-유속(3.594m/s)-수위(3.194m)-통수단면적(53.197m2)에 해당하는 계산된 유량은 191.212m3/s로 분석되었다. 그리고 최대통수가 가능한 수위 4.110m의 계산된 유량은 313.674m3/s(약 424년 빈도 추정, 유속 4.203m/s, 통수단면적 74.761m2)로 결국에는 빈도(년)에 해당하는 수위-유량관계식(고수위 외삽추정식)을 통해 고유량을 산정할 수 있었다.

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Analysis of Buckling Causes and Establishment of Reinforcement Method for Support of Plate Girder Bridge (플레이트 거더교 지점부의 좌굴발생 원인분석 및 보강방안 수립)

  • Ok, Jae-Ho;Yhim, Sung-Soon
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.20 no.11
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    • pp.520-526
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    • 2019
  • I-type girders are widely applied as very economical sections in plate girder bridges. There has been research on developing composite laminated panels, curved plates reinforced with closed-end ribs, and new forms of ribs and compression flanges for steel box girders. However, there is a limitation in analyzing the exact cause of local buckling caused by an I-type girder's webs. Therefore, an I-type girder's web was modeled using the finite element analysis program LUSAS 17.0 before and after reinforcement. We checked for the minimum thickness criteria presented in the Korea highway bridge design code, and the cause of buckling after performing a linear elastic buckling analysis of dead and live loads was analyzed. Before reinforcement, an eigenvalue (λ1) at the 1st mode was 0.7025, the critical buckling load was smaller than the applied load, and there is a buckling. After reinforcement, when applying vertical and horizontal stiffeners to the web part of the girder at support, a Nodal line was formed, the eigenvalue was 1.5272, and buckling stability was secured. To improve buckling trace of the girder at the support, an additional plate was applied to the web at the support to ensure visual and structural safety, but buckling occurs at center of web. The eigenvalue (λ1) was 3.5299, and this method is efficient for reinforcing the web of the support.