• 제목/요약/키워드: 계면 결함 밀도

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저온 산화공정에 의해 낮은 Dit를 갖는 실리콘 산화막의 제조 (Preparation of the SiO2 Films with Low-Dit by Low Temperature Oxidation Process)

  • 전법주;정일현
    • 공업화학
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    • 제9권7호
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    • pp.990-997
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    • 1998
  • ECR 산소플라즈마를 이용하여 저온 확산법에 의해 서로 다른 종류의 기판에 마이크로파 출력, 기판의 위치 등을 실험변수로 실리콘 산화막을 제조하고, 열처리 전 후 물리 화학적 특성을 분석하여 Si/O 의 조성비, 산화막 표면의 morphology와 전기적 특성과의 관계를 살펴보았다. 마이크로파 출력이 높은 영역에서, 산화속도는 증가하지만 식각으로 인하여 표면조도가 증가하였다. 따라서 막내에 결함이 증가하고 기판자체에 걸리는 DC bias의 증가로 기상에 존재하는 산소 양이온이 다량 함유되어 산화막의 질이 저하되었다. 기판의 종류에 따라 기상에 존재하는 산소 양이온의 함량은 Si(100) $Si/SiO_2$계면에 존재하는 결함들은 줄일 수 있으나, 고정전하와 계면포획전하 밀도는 열처리와 무관하고 단지 기상에 존재하는 반응성 산소이온의 양과 기판자체 DS bias에 의존하였다. 마이크로파 출력이 300, 400 W인 실험조건에서 표면조도가 낮고, 계면결함밀도가 ${\sim}9{\times}10^{10}cm^{-2}eV^{-1}$$Si/SiO_2$계면에서 결함이 적은 양질의 산화막이 얻어졌다.

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전자싸이클로트론공명플라즈마 화학기상증착법에 의한 PZT 박막의 증착 및 전기적 특성 연구

  • 정수옥;이원종
    • 세라미스트
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    • 제3권1호
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    • pp.45-52
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    • 2000
  • 전자싸이클로트론공명플라즈마 화학기상증착법(ECR-PECVD)에 의한 Pt 및 $RuO_2$ 기판에서의 PZT 박막의 증착특성 및 전기적 특성을 조사하였다. $RuO_2$ 기판에서는 Pt 기판에 비하여 Pb-관련 이차상이 형성되기 쉬웠고, PZT 페로브스카이트 핵생성이 어려웠다. 하지만, $RuO_2$ 기판에서도 금속유기 원료기체의 정확한 유량조절(특히, $Pb(DPM)_2$ 유량)과 Ti-oxide 씨앗층의 도입을 통하여 $450^{\circ}C$의 비교적 낮은 증착온도에서 단일한페로브스카이트 박막 제조가 가능하였으며, $RuO_2$ 기판에서도 미세구조가 향상된 PZT 박막의 경우 $10^{-6}A/cm^2@100kV/cm$의 우수한 누설전류 특성을 나타내었다. 4 가지 전극배열의 PZT 커패시터들 중에서 $RuO_2//RuO_2$ 커패시터는 누설전류밀도가 $10^{-4}A/cm^2@100kV/cm$ 정도로 높았지만, 피로현상은 나타나지 않았다. 일방향 전계 (unipolar) 피로특성에서 나타난 polarization-shift 현상과 양방향 전계 (bipolar) 피로특성의 온도의존성 결과는 PZT 박막내 charged defect의 이동이 어려움을 나타내었다. Bipolar 신호에 의한 피로현상은 인가전계에 의한 분극반전 과정에서 Pt 계면에서 charged defect의 형성과 관련이 있는 것으로 판단되었다. 또한, 상하부 전극물질 이 다른 경우에는 상하부 계면의 charged defect 밀도에 차이가 생겨 내부전계가 형성되는 것으로 판단되었다.

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반응성 고분자 계면상을 도입한 PP/탄소섬유 복합재료의 제조와 물성 (Fabrication of PP/Carbon Fiber Composites by Introducing Reactive Interphase and its Properties)

  • 김민영;김지홍;김원호;최영선;황병선
    • 폴리머
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    • 제24권4호
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    • pp.556-563
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    • 2000
  • 일반적으로 열가소성 복합재료는 섬유와 기지재료간의 결합력이 약하다는 단점을 가지고 있어 개발의 한계를 가져왔으나 점차적으로 수지의 개발, 공정의 개선, 계면상의 도입으로 지속적인 물성 향상을 이루고 있다. 특히 계면상의 도입은 외부에서 받은 충격을 잘 흡수할 뿐만 아니라 기지재료와 섬유와의 결합력을 높여 준다. 본 연구에서는 탄소섬유의 전기전도성을 이용하여 전착(electrodeposition)에 의해 탄소섬유와 수지 사이에 계면상을 도입하였으며 계면상 물질과 폴리프로필렌 수지와의 약한 결합력을 개선하기 위해 modified polypropylene을 수지에 첨가하였다. 대표적인 열가소성 수지인 폴리프로필렌을 기지재료로 사용하여 복합재료를 제조하여 층간전단강도, 충격강도 등의 기계적 물성을 평가한 결과, 전착을 통한 계면상을 도입하였을 경우가 물성이 우수함을 확인할 수 있었다. 전착 공정에서는 anhydride 또는 free acid group을 가진 반응성 고분자를 사용하여 수용액상에서 전하 운반체 역할을 수행할 수 있게 하였고 고분자의 종류를 달리하여 계면상 물질의 변화에 따른 복합재료의 물성 차이를 평가하였다. 또한 함침 용액의 농도, 전류밀도 및 전착시간을 변화시키면서 탄소섬유에의 전착수율을 평가하였다.

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RE 바이어스 스퍼터링한 Cr 박막과 감광성 폴리이미드 사이의 계면 TEM 분석 (TEM Analysis of Interfaces between Cr Film Sputtered with RE Bias and Photosensitive Polyimide)

  • 조성수;김영호
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제10권2호
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    • pp.39-47
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    • 2003
  • 감광성 폴리이미드 위에 Cr을 RF 바이어스 스퍼터링 및 RF클리닝 후 DC 스퍼터링한 Cr/폴리이미드의 계면을 TEM으로 관찰하였다. RF power 밀도를 $0.13W/cm^2$에서 $2.12W/cm^2$로 증가시키면서 RF클리닝을 실시한 결과 폴리이미드의 에칭 양상이 둥근 모양에서 뾰족한 모양으로 변하였고 이방성 에칭으로 인해 거칠기가 크게 증가하였다. RF 바이어스 스퍼터링의 경우 RF power를 올리는 동안 RF 클리닝에 의해 폴리이미드가 에칭되었고, 에칭된 부분에 Cr이 증착된 계면을 단면으로 관찰한 결과 Cr과 폴리이미드가 겹쳐져서 혼합된 것처럼 보였다. 그러나 RF power를 올리는 시간을 단축시켜 Cr을 바이어스 스퍼터링했을 때에는 계면이 분명하게 관찰되어 Cr의 implantation이 일어나지 않았음을 알 수 있었다. RF 클리닝한 Cu/Cr/Polyimide를 필 테스트한 결과 짧은 시간의 RF 클리닝으로도 접착력이 크게 증가하였다. 그러므로 RF power를 올리는 동안 실시되었던 RF 클리닝이 RF 바이어스 스퍼터링한 Cr/Polyimide의 접착력 향상에 영향을 주었을 것으로 예상된다.

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4,4'-Diphenylmethane Diisocyanate와 Polyether Polyol로부터 제조된 경질 폴리우레탄 폼의 물성 (Properties of Rigid Polyurethane Foams Synthesized from 4,4)

  • 서원진;정현철;김연희;김우년;최건형
    • 폴리머
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    • 제26권2호
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    • pp.185-192
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    • 2002
  • Polymeric 4,4'-diphenylmethane diisocyanate (PMDI), polyether polyol,1,4-butane diol, silicone surfactant와 발포제로 물을 사용하여 경질 폴리우레탄 폼 (PUF)을 제조하였다. PUF의 밀도는 0 php (parts per hundred polyol by weight)의 부탄다이올 양에 대하여 물의 양이 0.5~3.0 php로 증가함에 따라 173.7~41.7 kg/㎥로 감소하였다. PUF의 셀 크기는 10 php의 부탄다이올 양에 대하여 물의 양이 0.5~3.0 php로 증가함에 따라 115-258 $mu extrm{m}$로 증가하였다. PUF의 압축강도 측정 결과, 동일 밀도의 PUF에 대하여 압축강도는 물의 양이 증가함에 따라 증가하였다. 계면활성제가 PUF의 물성에 미치는 영향에 관한 연구에서, PUF의 셀 크기가 계면활성제 첨가량이 0~0.33 php로 증가함에 따라 360-146 $mu extrm{m}$로 감소하였으나 0.33 php 이상의 계면활성제 첨가량에 대해서는 더 이상의 셀 크기 변화가 관찰되지 않았다.

고온가압소결한 SiCf/SiC 복합체에서 보호층으로써의 SiC 층이 기계적 물성에 미치는 영향

  • 정명훈;김대종;김원주;윤순길;박지연
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2012년도 춘계학술발표대회
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    • pp.105.1-105.1
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    • 2012
  • 고온가압소결으로 제조된 SiCf/SiC 복합체는 부식과 침식에 강하고 우수한 열적 성질과 고온에서의 높은 기계적 강도를 유지하는 장점을 가진 복합체다. 복합체의 파괴인성은 섬유와 기지 사이에 존재하는 열분해탄소 (PyC) 계면층에 의해 큰 영향을 받는데, 고온가압소결중 첨가되는 소결조제 ($Y_2O_3$, MgO, $Al_2O_3$)와 반응하여 계면이 손상되어 복합체의 기계적 특성치가 낮아지는 결과를 보였다. 본 연구에서는 계면의 손상을 보호하고자 PyC 계면상 위에 SiC 층을 증착하였는데 계면층과 SiC 층의 증착은 화학기상 증착법(CVD)을, 기지채움 공정은 전기영동법(EPD)과 고온가압소결방법(Hot Pressing)을 이용하여 복합체를 제조하였다. Tyranno-SA 섬유에 소스가스인 메탄을 열분해 하여 200nm 두께로 PyC 계면상을 증착하고, 두께를 달리하여 보호층으로써의 SiC 층을 single 과 double layer로 증착하였다. SiC 나노분말과 소결 첨가제인 $Y_2O_3$, $Al_2O_3$, MgO를 첨가한 슬러리를 전기영동법(EPD)을 이용하여 섬유내부에 슬러리를 함침시켰고, 이러한 프리폼을 $1750^{\circ}C$/20MPa의 조건으로 고온 가압소결 하여 $SiC_f$/SiC 복합체를 제조하였다. 이렇게 single layer와 double layer로 제조된 $SiC_f$/SiC 복합체에 대해 밀도와 미세구조를 관찰하였고, 기계적 특성을 비교하여 보호층으로써의 SiC 증착효과를 고찰하고자 하였다.

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팽창 흑연을 포함한 폴리우레탄 폼의 난연 및 물성 변화 연구 (Flame Retardancy and Physical Properties of Polyurethane Foam with Expandable Graphite)

  • 배성준;박지현;고재왕;최필준;이재년;서석훈
    • 접착 및 계면
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    • 제20권3호
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    • pp.96-101
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    • 2019
  • 본 연구에서는 팽창 흑연의 함량 변화를 달리하여 제조한 팽창 흑연/폴리우레탄 폼 복합체의 난연성 및 물리적 특성을 고찰하였다. 제조된 팽창 흑연/폴리우레탄 폼 복합체는 팽창 흑연의 함량이 증가할수록 인장강도는 감소하였고, SEM 의한 셀 형성을 분석한 결과 팽창 흑연 함량이 증가할수록 셀이 불균일하고 붕괴되는 현상이 발생함을 확인할 수 있었다. 압축강도와 밀도, 공기 투과도 시험결과 팽창 흑연의 함량이 증가할수록 밀도가 증가하면서, 압축강도 값이 높아졌으며, 공기 투과도는 낮게 나타났다. 난연성은 합성된 폼의 탄화길이를 분석하였으며 팽창 흑연의 함량이 10 phr 이상 첨가될수록 우수한 난연 성능을 발현함을 알 수 있었다. X-ray diffraction (XRD)에 의한 회절도 분석결과 팽창 흑연의 함량이 증할수록 $2{\theta}=26^{\circ}$부근에서 흑연의 결정피크가 나타남을 확인할 수 있었다.

광학 현미경을 이용한 모발 내부 다공성 평가 및 모발 내부 밀도 증가를 통한 윤기 증가 연구 (Study on Evaluation of Internal Hair Porosity using Optical Microscopy and Improvement of Hair Luster through Internal Hair Density)

  • 박현섭;손성길;강내규;이익현
    • 대한화장품학회지
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    • 제49권3호
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    • pp.225-230
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    • 2023
  • 본 연구에서는 모발 내부의 다공성 구조를 광학 현미경을 이용하여 모발의 손상 없이 관찰하였으며, 해당 결과를 이용하여 모발 내부 다공성을 정량적으로 표현하고자 하였다. 모발 내부 밀도 저하가 모발의 굽힘 및 인장 특성에 미치는 영향에 대한 실험을 진행하였으며, 모발 내부의 밀도 저하를 발생시키는 원인에 대하여 알아보고자 내인적 요인과 외인적 요인에 대한 실험을 실시하였다. 내인적 요인으로는 노화의 대표 증상의 하나인 흰머리의 다공성을 평가 정상 모발과 비교하였다. 외인적 요인으로는 일상생활에서 대표적으로 모발의 손상을 유발할 수 있는 요인인 계면활성제와 열에 의하여 모발 내부 밀도가 감소 하는 것을 관찰하였다. 또한, 아미노산과 모발 지질 소질을 방지할 수 있는 소재를 이용하여 모발 내부 밀도를 증가시키고 윤기를 증가시킬 수 있음을 확인하였다.

질화처리에 의한 기판 평면 평활도의 변화가 GaN 성장에 미치는 영향 (Effect of Substrate Surface Roughness Modified by Nitridation on GaN Growth)

  • 정재식;변동진;김병화;이재인;유지범;금동화
    • 한국재료학회지
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    • 제7권11호
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    • pp.986-990
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    • 1997
  • LED와 LD의 수명과 효율은 결정에 존재하는 결함의 밀도에 반비례하며, 이러한 결함의 밀도는 적당한 기판을 사용하거나, 기판의 표면을 적절하게 제어함으로써 줄일 수 있다. GaN성장시 원자 단위의 매끄러운 표면은 완충충 성장이나 질화처리를 함으로써 얻어질 수 있다. 이렇게 얻어진 원자 단위의 매끄러운 표면에 의해 기판과 박막상이의 계면 자유에너지가 감소하기 때문에 2D성장이 촉진된다. 사파이어(AI$_{2}$O$_{3}$(0001))기판을 사용한 GaN 왕충충성장과 진화처리에 대한 최적조건은 AFM(Atomic Force Microscope)측정 결과에 의해 결정되었다. AFM에 의해 얻어진 표면 평활도의 개념은 사파이어 기판을 사용한 GaN박막성장의 최적조건을 결정하는 데 있어서 높은 신뢰도를 가질 수 있다.

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MBE, LPE와 $\mu$ - PD 기술에 의한 산화물재료의 개선된 단결정 성장방법 (Improved single crystal growth methods for oxide materials by MBE, LPE and $\mu$ - PD techniques)

  • 윤대호
    • 한국결정성장학회지
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    • 제5권4호
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    • pp.378-385
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    • 1995
  • 분자션 에피텍시얼(MBE)법, 액상 에피텍시열(LPE)법과 마이크로 인상($\mu$ - PD)법 에 의한 단결정 성장에 있어서의 새로운 접근을 논의하였다. 재료로써는 Bi-Sr-Ca-Cu계, $K_3Li_2Nb_5O_{15}$계의 산화물을 사용하였으며, 비평형영역으로 부터의 고품질(균일 조성 및 저결함 밀도) 결정성장은 원자수준의 계면제어에 의해 가능함을 고찰할 수 있였다.

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