• Title/Summary/Keyword: 경사각

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경사코팅 기술과 이를 이용한 완전화 박막의 제조

  • 정재인;양지훈;장승현;박혜선
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.506-507
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    • 2011
  • 경사코팅 기술(Oblique Angle Deposition; OAD)은 입사 증기가 기판에 수직으로 입사하지 않고 90도 보다 작은 각도로 비스듬히 입사하도록 조절하여 코팅하는 물리증착 기술의 하나로 피막의 조직을 다양하게 제어할 수 있는 방법으로 알려져 있다. 초기의 경사 코팅 기술은 경사각을 가진 정지된 기판 상에 코팅하였으나 최근에는 기판의 각도와 회전을 동시에 조절하여 이루어지는 소위 스침각 증착(Glancing Angle Deposition; GLAD) 기술이 개발되어 다양한 형태의 구조를 제어하는 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히, 컴퓨터를 이용하여 입사각과 방위각을 정밀 제어함에 의해 나노 스케일의 Zigzag 및 나선형, 기둥형 조직 등 복잡한 형태의 박막을 제조하는 것이 가능하게 되었다. 현재, GLAD 기술과 다양한 형태의 나노 조직을 이용하여 각종 센서는 물론 태양전지와 같은 에너지 소자, 필터와 같은 광학코팅 등에 응용하기 위한 연구가 세계적으로 폭넓게 진행되고 있다. 본 연구에서는 조직의 치밀도 향상을 통한 특성 향상을 위해 Al 및 TiN 박막을 제조함에 있어서 경사코팅 기술을 응용하여 단층 및 다층 피막(각도를 반대로 하여 여러 층을 제조)을 제조하고 그 특성을 비교하였다. Al 박막은 UBM (Un-Balanced Magnetron) 스퍼터링 소스를 이용하여 타겟 표면과 기판 표면이 이루는 각도 즉, 입사빔과 기판이 이루는 각도를 각각 0, 30, 45, 60 및 90도의 각도에서 강판 및 실리콘 웨이퍼 상에 시편을 제조하되 단층 및 다층으로 시편을 제조하고 치밀도 및 내식성과 반사율 및 조도 등의 특성을 비교하였다. 그 결과 경사각으로 코팅한 시편에서 조도 및 반사율이 향상됨은 물론 치밀도 및 내식성이 향상됨을 확인하였다. 특히, 염수분무에 의한 내식성 시험에서 경사 코팅된 시편의 경우 내식성이 현저히 향상되었는데, 이는 경사 코팅 방법이 박막의 치밀도를 향상시켜 나타난 현상으로 판단된다. TiN 박막은 Cathodic Arc 방식을 이용하되 Al 박막과 동일한 방법으로 코팅을 하고 내식성 및 경도 등의 특성을 비교하였다. TiN 박막은 경사각이 커지면서 경도가 낮아지며 특히 다층막의 경우 경도 감소가 현저함을 알 수 있었다. 다만, 45도에서는 다른 경사각에 비해 약간의 경도 상승이 측정되었다. 경사각 코팅에서의 경도 감소는 피막의 경사에 의해 탐침이 미끄러지거나 또는 우선 방위에 의한 경도 증가 효과가 나타나지 않아 생기는 현상으로 판단되었다. Ferroxyl 시험을 이용한 기공도 시험에서는 경사각 코팅의 경우가 기공이 다소 감소함을 확인하였다.

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R-plane 사파이어의 경사각에 따른 비극성 a-plane GaN 성장 거동 고찰

  • 박성현;박진섭;문대영;유덕재;김종학;김남혁;김정환;강진기;윤의준
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.151-152
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    • 2010
  • 극성 [0001] 방향으로 성장 된 질화물 기반의 LEDs (light emitting diodes) 는 분극현상에 의해 발생하는 강한 내부 전기장의 영향을 받게 된다. 이러한 내부 전기장은 양자우물 내의 전자와 정공의 공간적 분리를 야기하고 quantum confined Stark effect (QCSE) 에 의한 발광 파장의 적색 편이가 발생하며 양자효율의 저하를 가져오게 된다. 이러한 문제를 해결하기 위해 양자 우물구조를 GaN 의 m-plane (100) 이나 a-plane (110) 등 비극성면 위에 성장하려는 시도를 하고 있다. 그러나 비극성면의 비등방성 (anisotropy) 으로 인하여 결정성이 높은 비극성 GaN을 성장하는 데에는 많은 어려움이 있다. 비극성 a-plane GaN 의 결정성과 표면 거칠기의 향상을 위해 경사각을 가지는 r-plane 사파이어를 기판으로 이용하는 연구들이 많이 진행되어 있다 [1-4]. 그러나 r-plane 사파이어 기판의 경사각과 표면의 pit 형성에 관한 상관관계의 체계적인 연구는 상대적으로 많이 진행되지 않았다. 본 연구에서는 경사각을 가진 r-plane 사파이어 기판에 유기금속화학증착법을 (MOCVD) 이용하여 a-plane GaN 을 성장하였으며, 성장 시 기판의 경사각이 a-plane GaN의 성장 거동 및 표면형상에 미치는 영향을 분석하였다. 본 실험에서는r-plane에서 m-axis방향으로 0도에서 -0.65도의 경사각을 가지는 r-plane 사파이어 기판을 이용하였다. a-plane GaN 성장에는 고온 GaN 핵 형성층을 (nucleation layer) 이용하는 2단계 성장 법이 사용되었다 [5]. -0.37도 보다 크기가 큰 경사각을 가진 r-plane 사파이어에 성장된 a-plane GaN의 표면에는 수 ${\mu}m$ 크기의 삼각형 형태의 pit이 형성되었다. 사파이어의 경사각이 -0.37도에서 -0.65도로 증가하였을 경우에, GaN의 m방향 X-ray 록킹커브 반치폭은1763 arcsec에서 1515 arcsec로 감소하였으나 표면에 삼각형 pit의 밀도는 103 cm-2 이하에서 $2{\times}106$ cm-2으로 증가하였다. 이러한 r -plane 사파이어 기판의 경사각의 차이로 표면에 pit이 발생과 결정성변화의 원인을 확인하기 위해서, 여러가지 다른 경사각을 가진 사파이어 기판의 표면에 성장된 핵 형성층의 표면 양상을 확인하였다. 발표에서는 경사각의 차이에 따른 기판 표면에서의 원자 step 구조와 GaN 의 핵 형성 간의 상관관계에 대하여 구체적으로 논의할 것이다.

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전부 피개관의 치아 형성 시 축면 경사각에 대한 조사 (Clinical Convergence Angle of Prepared Tooth for full Veneer Crowns)

  • 김성진;배아란;우이형;김형섭
    • 구강회복응용과학지
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    • 제26권1호
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    • pp.21-32
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    • 2010
  • 삭제된 치아의 경사도는 치관 수복물의 유지와 저항에 있어 매우 중요한 요소이다. 하지만 다양한 구강 내 환경과 술자의 능력에 따라 이상적인 경사도를 얻는 것은 쉽지 않다. 따라서 이상적으로 삭제된 치아의 경사도와 실제 임상에서 삭제된 치아의 경사도를 조사하고자 한다. 본 실험의 연구 자료는 K대학 부속 치과병원 중앙 기공실을 통하여 보철과 전공의가 시술한 환자의 모형과 일반 기공소를 통해 일반 개업의가 시술한 환자의 모형을 수집한다. 연구 방법은 각 치아의 근원심면과 협설면을 디지털 카메라를 통해 촬영한 뒤 'ImageJ' 프로그램 상에서 치아의 삭제 각도를 측정 한 뒤 항목별( 1. 술자 집단별 분류, 2. 치열궁 내에서의 위치에 따른 분류, 3. 삭제 양식에 따른 분류 )로 분류하여 비교 분석한다. 이번 연구를 통해 조사한 결과 국내 임상가의 지대치 형성시 축면 경사각의 평균은 $15.02^{\circ}$ 표준 편차는 ${\pm}10.13^{\circ}$였다. 1. 술자 집단별 분류에 대한 분석 일반 치과의 집단의 측면 경사각과 보철과 전공의 집단의 축면 경사각에서 유의성 있는 차이를 보였다(p<0.05). 2. 치열궁 내에서의 위치에 따른 분석 치아의 근원심면과 협설측면에 따라 일반 치과의 집단의 경우 유의성 있는 차이가 없었으며(p>0.05) 보철과 전공의 집단에서는 유의성 있는 차이를 보였다(p<0.05). 치아의 전후적인 위치에 따라 일반 치과의 집단의 경우 전치부와 소구치부 사이에 유의성 있는 차이가 없었으며 (p>0.05) 두 부위와 대구치부 사이에서는 각각 유의성 있는 차이를 보였다(p<0.05). 보철과 전공의 집단의 경우 전치부와 소구치부 사이에 유의성 있는 차이가 없었으며(p>0.05) 두 부위와 대구치부 사이에서는 각각 유의성 있는 차이를 보였다(p<0.05). 상악과 하악으로 분류하여 분석한 경우 일반 치과의 집단에서 근원심면과 전체적인 축면의 경사각에 각각 유의성 있는 차이가 없었으며(p>0.05) 협설측면에서는 유의성 있는 차이를 보였다(p<0.05). 보철과 전공의 집단에서도 근원심면과 전체적인 축면의 경사각에 각각 유의성 있는 차이가 없었으며(p>0.05) 협설측면에서는 유의성 있는 차이를 보였다(p<0.05). 악궁을 좌측과 우측으로 분류하여 분석한 경우 일반 치과의 집단과 보철과 전공의 집단에서 각각 유의성 있는 차이가 없었다(p>0.05). 3. 삭제 양식에 따른 분석 단일 치관을 위한 지대치와 3본 고정성 부분 의치를 위한 지대치로 분류하여 분석한 결과 일반 치과의 집단에서 근원심면의 경우 단일 치관을 위한 지대치의 축면 경사각과 3본 고정성 부분 의치를 위한 지대치의 축면 경사각에 유의성 있는 차이를 보였으며(p<0.05) 협설측면과 전체적인 축면의 경우 각각 단일 치관을 위한 지대치의 축면 경사각과 3본 고정성 부분 의치를 위한 지대치의 축면 경사각에 유의한 차이가 없었다(p>0.05). 보철과 전공의 집단에서는 협설측면의 경우 단일 치관을 위한 지대치의 축면 경사각과 3본 고정성 부분 의치를 위한 지대치의 축면 경사각에 유의성 있는 차이가 없었으며(p>0.05) 근원심면과 전체적인 축면의 경우 각각 단일 치관을 위한 지대치의 축면 경사각과 3본 고정성 부분 의치를 위한 지대치의 축면 경사각에 유의한 차이를 보였다(p<0.05). 이상에서 임상에서 치아 삭제시 이상적인 축면 경사각을 얻기 힘들며 이는 술자의 경험과 악궁 내에서의 위치, 삭제 양식에 따라 영향을 받을 수 있다.

경사에 따른 화염각 변화와 지표 화염 확산에 관한 연구 - 무풍조건 기반 - (A Study on the Flame Tilt and Flame Spread due to Up-slope on the Surface Fuel Bed - No wind condition -)

  • 김동현
    • 한국방재학회 논문집
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    • 제9권5호
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    • pp.57-62
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    • 2009
  • 경사면에서의 지표 연소물질에 대한 화염확산은 경사각변화에 따라 화염이 경사면과 가까워져 열전달이 많이 이루어져 확산이 빠르게 이루어진다. 기존 연구에서는 경사면에 대한 화염각 변화를 고려하지 않고 일반적으로 경사각의 기울어짐으로 인해 화염이 그 만큼 지표면과 가까워지는 것을 적용하였다. 따라서 본 연구에서는 경사면에서의 실제 화염의 성상에 대해 실험하였다. 그 결과 경사에 따른 화염기울기 산정식을 제안 하였고 경사조건에서의 화염기울기와 화염확산속도와의 관계에 대해 기술하였다.

평관 및 낮은 핀관으로 제작한 열사이폰의 열전달 성능에 관한 실험적 연구 (Experimental Studies on the Heat Transfer Performance of Plain and Low Finned Thermosyphons)

  • 예석수;한규일;박성현;조동현
    • 동력기계공학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.27-34
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    • 2001
  • 관 외벽에 낮은 핀을 가진 수직 및 경사 열사이폰의 열전달 성능에 관한 실험적인 연구를 하였다. 관 외벽에 낮은 핀을 가진 이상밀폐 열사이폰의 열전달 성능을 비교 분석하기 위하여 동일한 규격의 평관에서도 실험적인 연구를 하였다. 작동유체는 증류수와 CFC-30을 사용하였다. 열사이폰의 경사각과 자동온도를 변화시키면서 실험한 결과 경사각의 변화에 따라 열사이폰의 열전달 성능은 큰 변화를 나타내었다. 그리고 평관으로 제작한 열사이폰보다 관 외벽에 낮은 핀관을 가진 동관으로 제작한 열사이폰의 열전달 성능이 높게 나타났다. 그리고 열사이폰의 경사각이 $20{\sim}50^{\circ}$ 범위에서 열전달 성능이 높게 나타났다.

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유한요소해석에 의한 쏘일네일링의 네일 경사각의 영향에 관한 연구 (The Effects of Nail Inclination in Soil Nailing by Finite Element Analysis)

  • 천병식;김원철;윤창기
    • 한국지반공학회논문집
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    • 제20권6호
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    • pp.19-27
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    • 2004
  • 쏘일네일링 공법은 1972년 프랑스에서 처음 시공된 이래로, 최근 들어 그 적용성이 더욱 확대되고 있으나 아직까지 세계적으로 공인된 설계방법은 없으며 서로 다른 가정을 가지므로 설계접근 또한 완전히 다르다. 또한 기존의 제안된 네일의 최적 경사각은 제안자에 따라 서로 다르므로 네일 경사각에 대한 영향은 규명되어야 할 설계변수이다. 따라서, 본 연구에서는 쏘일네일링 벽체의 수평변위에 대한 네일의 경사각에 대한 영향을 분석하기 위하여 유한요소해석 프로그램인 SOILSTRUCT가 사용되었다. 프랑스의 쏘일네일 연구 프로젝트인 CLOUTERRE의 CEBTP No. 1에서 측정된 수평변위와 제시된 지반 물성치를 적용하여 FEM해석을 위한 기본 모델을 선정하였다. 그리고, 선정된 기본 모델을 사용하여 네일의 설치 각도에 따른 벽체 수평변위의 영향을 분석하기 위해서 네일의 경사각을 0$^{\circ}$에서 30$^{\circ}$까지 5$^{\circ}$간격으로 변화시키면서 최적의 네일경사각을 얻고자 하였다. 그 결과, 벽체의 변위가 최소로 발생하는 경사각은 20$^{\circ}$였으며, 네일의 경사각이 증가할수록 네일에서 유발되는 인장력은 증가하였다. 그러나 수평변위에 대한 네일 경사각의 영향은 적으므로 현장여건에 따라 시공성이 우선되어야 하는 것으로 분석 되었다. 또한 최하단 네일을 제외하고, 네일의 심도가 깊어질수록 네일에서 유발되는 인장력이 증가하므로 설계시 네일의 재료파괴를 방지하기 위해 네일의 강도와 변위 관계를 고려하여 적절한 네일직경을 적용하여야 한다.

비디오 데크 수직포스트들의 조립 허용차 결정에 관한 연구

  • 김정;이영해
    • 한국경영과학회:학술대회논문집
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    • 대한산업공학회/한국경영과학회 1993년도 춘계공동학술대회 발표논문 및 초록집; 계명대학교, 대구; 30 Apr.-1 May 1993
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    • pp.402-411
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    • 1993
  • 비디오 주행계의 안정성에 영향을 주는 인자들은 많이 있다. 그중 수직포스트의 경사각은 수직포스트를 지나는 테이프의 주행높이 변동에 영향을 주기 때문에 비디오 데크의 조립상에서 수직포스트의 경사각을 관리하는 것이 비디오 주행계의 안정성을 확보하는데 있어서 필요하다. 특히 비디오 데크의 조립시 수직 포스트의 경사각을 어느정도까지 허용해도 비디오 주행계의 안정성에 영향을 주지 않는지 알때 비디오 데크의 주립시 보다 효과적인 조립공정의 관리가 이루어 질 것으로 사료된다. 본 연구에서는 수직포스트의 경사각에 대한 허용오차를 결정하는 방법과 이에 따르는 다음 포스트들이 세워져야 할 위치를 결정하는 방법을 제시하였는데 이를 위하여 기구학과 통계적인 방법을 사용하였다.

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균일 유동장내에서의 경사진 원형실린더의 유동유기진동 특성연구 (Experimental Study on the Flow-Induced Vibration of Inclined Circular Cylinders in Uniform Flow)

  • 정태영;홍섭;문석준;함일배;이헌곤
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 1994년도 추계학술대회논문집; 한국종합전시장, 18 Nov. 1994
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    • pp.265-270
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    • 1994
  • 본 연구에서는 케비테이션 터널에서의 경사진 원형실린더의 유동유기진동시험을 통하여 경사각에 따른 유동유기진동 특성규명과 아울러 유체력 계수들의 실험적 산정을 시도하였으며 도출된 주요한 결론은 다음과 같다. 경사각이 20.deg. 이상되면 마찰저항력에 비해 수직항력이 지배적이 되며, 이때 수직항력계수는 여러 관찰자에 의해 관측된 범위의 값(1.7-2.0)을 갖는다. 또한, 양력계수 $C_{L,rms}$은 유속범위 4$_{n}$D<8의 범위에서 lock-in 현상에 의해 큰 값을 갖게 되며, 경사각이 커질수록 큰 값을 갖는다. 경사각이 30.deg.인 경우 최대값은 약 0.9, 20.deg.인 경우 0.4로 계측되었다.

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아치형 태양전지 어레이의 출력특성 분석 (The Operating Performance Analysis of PV Array for Arch Type)

  • 박정국;최연옥;조금배;백형래
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2009년도 춘계학술대회 논문집 에너지변화시스템부문
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    • pp.240-241
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    • 2009
  • 본 논문에서는 다양한 아치형 태양광발전(Photovoltaic : PV) 시스템을 시뮬레이션을 통하여 구성하고 그 운전특성을 최적의 경사각을 가지는 일정 경사각 PV 시스템과 비교 분석하였다. 결과 아치형 PV 시스템의 경우 모두 PV 어레이 경사각이 $30^{\circ}$인 일정 경사형 시스템에 비하여 9% 이상의 큰 차이가 남을 알 수 있었으며, 최적의 아치경사각은 $10^{\circ}\sim30^{\circ}$임을 알 수 있었다.

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경사 열사이폰 열교환기의 비등열전달 성능에 관한 연구 (A Study on the Performance of Boiling Beat Transfer of Inclined Thermosyphon Heat Exchangers with Internal Grooves)

  • 조동현;이종선
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제6권2호
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    • pp.202-209
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    • 2005
  • 경사 열사이폰 열교환기는 잠열을 이용한 대량의 열수송 능력과 증기류의 열확산에 의한 온도 분포의 균일화, 경량, 간단한 구조, 빠른 열응답 특성 등의 우수성을 가지고 있다. 본 연구에서는 이와 같은 우수성을 보유하고 있는 경사 열사이폰 열교환기에 대하여 경사각의 변화, 작동유체의 종류, 열유속 및 내부압력 등 열사이폰의 작동에 관련된 변수들에 관하여 열전달 성능을 실험적으로 연구하였다. 평관형 및 마이크로 그루브형 경사 열사이폰에서 실험적인 연구를 수행한 결과, 마이크로 60그루브형으로 경사각이 $30^{\circ}$이고 작동유체가 증류수인 경우 비등열전달계수는 $15000\;W/m^3K$으로 나타났으며, 이 간은 평관형 경사 열사이폰의 비등열전달계수보다 1.6배 정도 높게 나타났다. 그리고 작동유체가 증류수인 경우 평관형 열사이폰에서 비등열전달계수는 경사각이 $25^{\circ}{\sim}30^{\circ}$ 범위에서, 메탄올과 에탄올에서는 경사각이 $20^{\circ}{\sim}25^{\circ}$ 범위에서 최대 비등열전달계수를 나타났다. 또한 평관형 열사이폰은 경사각이 $25^{\circ}{\sim}30^{\circ}$범위에서, 마이크로 그루브형 열사이폰은 경사각이 $20^{\circ}{\sim}25^{\circ}$사이에서 최대 비등열전달 성능을 나타내었다.

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