• 천문학회보
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• 제46권2호
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• pp.56.2-56.2
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• 2021

한국천문연구원에서는 LSB 천체 관측에 최적화된 유효직경 300 mm의 비축 자유곡면 K-DRIFT pathfinder 망원경을 개발하였다. 밝은 별로 시험관측을 한 결과 설계에서 예상된 점퍼짐함수(point spread function)보다 약 5배 정도 (또는 목표로 한 점퍼짐함수보다 약 1.5배 정도) 큰 점퍼짐함수를 얻었다. 이에 대한 원인 분석 결과 비축자유곡면을 가공하면서 발생한 툴 마크에 의한 MSF(Mid-Spatial Frequency) 효과가 점퍼짐함수 증가에 주도적인 영향을 주는 것으로 판단되었다. 본 발표에서는 반사경면의 MSF를 다양한 조건에 따라 시뮬레이션한 결과를 소개하고 이를 토대로 실제 반사경 제작에서 MSF 효과를 최소화 하는 방안에 대해 논의하고자 한다.

• 대한기계학회논문집A
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• 제23권6호
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• pp.1011-1017
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• 1999

Electrolytic in-process dressing grinding technique which enables application of metal bond wheels with fine superabrasives in mirror surface grinding operations has developed. It is possible to make efficient precision machining of hard and brittle material such as ceramic and hard metal by the employment of this technique. However, in order to ensure the success of performances such as efficient machining, surface finish, and surface quality, it is important to sustain the insulating layer that has sharply exposed abrasives in wheel surface. Using AE(Acoustic Emission) sensor, this paper will show whether the insulating layer sustains stably or not in real grinding time. And by comparing AErms value and surface roughness their thresholds for stable electrolytic in-process dressing grinding will be determined.

• 한국정밀공학회지
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• 제19권10호
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• pp.195-201
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• 2002

This paper deals with the precision grinding for aspherical surface of optical parts. A parallel grinding method using the spherical wheel was suggested as a new grinding method. In this method, the wheel axis is positioned at a $\pi$/4 from the Z-axis in the direction of the X-axis. An advantage of this grinding method is that the wheel used in grinding achieves its maximum area, reducing wheel wear and improving the accuracy of the ground mirror surface. In addition, a truing by the CG (curve generating) method was proposed. After truing, the shape of spherical wheel transcribed on the carbon is measured by the Form-Talysurf-120L. The error of the form in the spherical wheel which is the value ${\Delta}x$ and $R{^2}{_y}$ inferred from the measured profile data is compensated by the re-truing. Finally, in the aspherical grinding experiment, the WC of the molding die was examined by the parallel grinding method using the resin bonded diamond wheel with a grain size of ＃3000. A form accuracy of 0.16${\mu}m$ P-V and a surface roughness of 0.0067${\mu}m$ Ra have been resulted.

• 한국정밀공학회지
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• 제27권12호
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• pp.22-27
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• 2010

The usage of ultra-precision machining is increasing by the manufacturing of precision optical elements such as camera lens, laser printer, CD player, DVD and microscope parts etc.. The WC alloy material is in wide use by mold core to improve the productivity and accuracy in manufacturing those precision parts. The WC alloy mould core can be machined effectively by the parallel grinding process which is an excellent technique for manufacturing of surface profile hard to machining materials such as the hardened metal alloy, Ceramics, Glass and so on. Magnetic assisted polishing as a final polishing process has also been utilized to obtain ultra-precision mirror surface with the elimination of traces presented on ground surface. It is able to deduce the optimal ultra-precision machining conditions of the WC alloy material from the experiment and analyses results.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제13권4호
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• pp.45-50
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• 2006

3D package의 SiP에서 구리의 via filling은 매우 중요한 사항으로 package밀도가 높아짐에 따라 via의 크기가 줄어들며 전기도금법을 이용한 via filling이 연구되어왔다. Via filling시 via 내부에 결함이 발생하기 쉬운데 전해액 내에 억제제, 가속제등 첨가제를 첨가하고 펄스-역펄스(PRC)의 전류파형을 인가하여 결함이 없는 via의 filling이 가능하다. 본 연구에서는 건식 식각 방법 중 하나인 DRIE법을 이용하여 깊이 $100{\sim}190\;{\mu}m$, 직경이 각각 $50{\mu}m,\;20{\mu}m$인 2가지 형태의 via을 형성하였다. DRIE로 via가 형성된 Si wafer위에 IMP System으로 Cu의 Si으로 확산을 막기 위한 Ta층과 전해도금의 씨앗층인 Cu층을 형성하였다. Via시편은 직류, 펄스-역펄스의 전류 파형과 억제제, 가속제, 억제제의 첨가제를 모두 사용하여 filling을 시도하였고, 공정 후 via의 단면을 경면 가공하여 SEM으로 관찰하였다.

• 한국재료학회지
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• 제8권12호
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• pp.1138-1145
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• 1998

Ni계 경면합금인 Deloro 50의 마모거동을 15ksi와 30ksi 접촉응력하의 여러 마모조건에서 조사하였다. 상온대기중에서 Deloro 50는 15ksi 응력에서도 극심한 응착마모가 발생하는 매우 낮은 마모저항성을 보였는데 이는 fcc 결정구조를 갖는 Deloro 50 기지상의 경도와 가공경화율이 strain-induced 상변태를 이웅한 hcp 결정구조의 Stellite 6보다 낮기 때문으로 생각된다. 상온 수중에서 Deloro 50는 15ksi 응력에서 Stellite 6와 비슷한 마모저항성을 보였는데 이는 물이 미세요철간의 금속간 접촉을 억제하였기 때문으로 생각된다. 그러나, 30ksi의 높은 접촉응력에서는 상온 대기중길 같은 응착마모가 발생하는 것으로 보아, 30ksi의 높은 응력에서는 물의 응착마모 억제 효과가 없었기 때문으로 생각된다. $300^{\circ}C$ 대기중에서 Deloro 50는 30ksi의 높은 접촉응력에서도 Stellite 6보다 우수한 마모저항성을 보였는데 이는 고온에서 마모시 생성되는 복합산화물층이 효과적으로 금속간 접촉을 방해하여 응착마모를 억제하였기 때문으로 생각된다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제4권1호
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• pp.47-49
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• 2003

태양전지에 소모되는 비용중의 30% 이상이 silicon 기판의 가공 및 silicon자체의 비용이다. 본 연구에서는 이러한 비운을 절감하기 위해 silicon기판대신 STS 304를 사용하고자 한다. STS 304를 태양전지용 기판으로 사용하기 위해서는 고도천 연마된 표면을 필수조건으로 하기 때문에 STS 304에 전해연마를 실시하여 AFM으로 표면의 거칠기를 살펴보았다 또 한, 표면 조도의 향상을 위해 최적의 연마조건에서 leveller를 첨가하였다. 인산($H_3PO_4$)을 기본으로 한 전해연마액에 2A의 전류와 극간거리 0.7cm의 조건하에서 STS 304의 최적 전해연마조건을 찾기 위해 전해액의 온도는 $80^{\circ}C{\sim}120^{\circ}C$, 연마시간은 3~2분간 전해연마를 실시하였다. 그 결과 2A/$cm^2$, $80^{\circ}C$, 10분에서 27.9nm의 표면조도를 보였으며, leveller로 사용된 glycerine, ethylene glycol, propylene glycol의 영향을 연구하였다. Leveller 중에서는 ethylene glycol을 0.4g/l 첨가하였을 때 표면조도가 약 15nm로서 그 효과가 가장 좋았다.

• 보존과학회지
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• 제28권3호
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• pp.257-264
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• 2012

고대의 거울은 청동으로 만들어지는 것이 일반적이며, 철제거울의 경우 국내에서 출토된 예를 찾아보기는 매우 드물다. 본 연구에서는 불명철기의 보존처리과정에서 원형을 찾아 그 대상이 철제거울임을 밝혀냈으며, 그 과정에서 부식되지 않은 시편을 채취하여 광학현미경과 미세경도시험기, SEM-EDS를 이용하여 미세조직을 분석하고 이를 통해 제작기법을 연구하였다. 그 결과 철제거울의 조직은 비금속개재물이 거의 없고 시편 일부에서 망상 시멘타이트 조직이 관찰되는 것으로 미루어 주철을 부어 만든 거울을 고체상태에서 탈탄시켜 탄소량을 낮춘 고체탈탄강으로 판단된다. 주조품의 백주철 조직은 높은 탄소 함량으로 우수한 경도를 가져 절삭이나 연마가 어렵다. 때문에 주조된 철제거울의 거친 경면을 연마할 수 있도록 CO 또는 $CO_2$를 차단하여 $850^{\circ}C$이하의 온도에서 탈탄시켜 주조품의 경도를 낮춘 것으로 추정된다. 따라서 탄소 함량에 따른 조직의 변화가 관찰된 것으로 판단된다.

• 한국재료학회지
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• 제8권12호
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• pp.1115-1120
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• 1998

Ni계 경면합금인 Deloro 50의 마모거동을 15ksi와 30ksi 접촉응력하의 여러 마모조건에서 조사하였다. 상온대기중에서 Deloro 50는 15ksi 응력에서도 극심한 응착마모가 발생하는 매우 낮은 마모저항성을 보였는데 이는 fcc 결정구조를 갖는 Deloro 50 기지상의 경도와 가공경화율이 strain-induced 상변태를 이웅한 hcp 결정구조의 Stellite 6보다 낮기 때문으로 생각된다. 상온 수중에서 Deloro 50는 15ksi 응력에서 Stellite 6와 비슷한 마모저항성을 보였는데 이는 물이 미세요철간의 금속간 접촉을 억제하였기 때문으로 생각된다. 그러나, 30ksi의 높은 접촉응력에서는 상온 대기중길 같은 응착마모가 발생하는 것으로 보아, 30ksi의 높은 응력에서는 물의 응착마모 억제 효과가 없었기 때문으로 생각된다. $300^{\circ}C$ 대기중에서 Deloro 50는 30ksi의 높은 접촉응력에서도 Stellite 6보다 우수한 마모저항성을 보였는데 이는 고온에서 마모시 생성되는 복합산화물층이 효과적으로 금속간 접촉을 방해하여 응착마모를 억제하였기 때문으로 생각된다.