• Title/Summary/Keyword: 결합분포

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극판 전극이 인가된 유도 결합 플라즈마에서 유도 결합 전기장과 용량성 결합 전기장에 관한 전자 가열 연구

  • O, Seung-Ju;Lee, Hyo-Chang;Jeong, Jin-Uk
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.560-560
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    • 2013
  • 플라즈마 내의 전자 에너지 분포는 방전 특성 및 전자 가열 메커니즘에 대한 정보를 줄 수 있을 뿐만 아니라, 소자 생산 공정에서 공정 조건 제어 및 소자 품질 향상에 중요한 역할을 하는 변수이다. 그에 따라서, 반도체공정에서 널리 쓰이는 유도 결합 플라즈마 또는 용량성 결합 플라즈마 장치의 외부 변수에 따른 전자 에너지 분포 변화에 대한 연구가 많이 진행되어왔다. 본 연구에서는, 극판 전극이 인가된 유도 결합 플라즈마 구조에서 낮은 압력의 아르곤과 산소 기체 방전에 대하여 전자 에너지 분포를 측정하였다. 극판 전압만이 인가되었을 경우에는 두 개의 온도를 갖는 전자 에너지 분포를 측정하였으나, 소량의 안테나 전력을 인가할 경우 하나의 온도를 갖는 전자 에너지 분포를 측정할 수 있었다. 이러한 분포함수의 급격한 변화는 유도 결합 전기장과 용량성 결합 전기장의 혼재에 따른 전자 가열 효과이며, 극판에서의 전압, 전류 그리고 위상 측정을 통하여 전자 가열 메커니즘을 확인하였다.

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Joint Distribution of Wave Crest and its Associated Period in Nonlinear Random Waves (비선형 파동계에서의 파고와 주기 결합 확률분포)

  • Park, Su Ho;Cho, Yong Jun
    • Journal of Korean Society of Coastal and Ocean Engineers
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    • v.31 no.5
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    • pp.278-293
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    • 2019
  • The joint distribution of wave height and period has been maltreated despite of its great engineering value due to the absence of any analytical model for wave period, and as a result, no consensus has been reached about the effect of nonlinearity on these joint distribution. On the other hand, there was a great deal of efforts to study the effects of non-linearity on the wave height distribution over the last decades, and big strides has been made. However, these achievements has not been extended to the joint distribution of wave height and period. In this rationale, we first express the joint distribution of wave height and period as the product of the marginal distribution of wave heights with the conditional distribution of associated periods, and proceed to derive the joint distribution of wave heights and periods utilizing the models of Longuet-Higgins (1975, 1983), and Cavanie et al. (1976) for conditional distribution of wave periods, and height distribution derived in this study. The verification was carried out using numerically simulated data based on the Wallops spectrum, and the nonlinear wave data obtained via the numerical simulation of random waves approaching toward the uniform beach of 1:15 slope. It turns out that the joint distribution based on the height distribution for finite banded nonlinear waves, and Cavanie et al.'s model (1976) is most promising.

Estimation of the joint conditional distribution for repeatedly measured bivariate cholesterol data using Gaussian copula (가우시안 코플라를 이용한 반복측정 이변량 자료의 조건부 결합 분포 추정)

  • Kwak, Minjung
    • The Korean Journal of Applied Statistics
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    • v.30 no.2
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    • pp.203-213
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    • 2017
  • We study estimation and inference of joint conditional distributions of bivariate longitudinal outcomes using regression models and copulas. We consider a class of time-varying transformation models and combine the two marginal models using Gaussian copulas to estimate the joint models. Our models and estimation method can be applied in many situations where the conditional mean-based models are inadequate. Gaussian copulas combined with time-varying transformation models may allow convenient and easy-to-interpret modeling for the joint conditional distributions for bivariate longitudinal data. We apply our method to an epidemiological study of repeatedly measured bivariate cholesterol data.

축전 결합 차폐막(faraday shield)이 없는 평판형 유도 결합 아르곤 플라즈마에서 전자 에너지 분포 및 플라즈마 전위에 대한 연구

  • 서상훈;홍정인;장홍영
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.217-217
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    • 1999
  • 축전 결합 차폐막(Faraday shield)이 없는 평판형 유도 결합 플라즈마 장치에서 방전 모드 전이 중출력 결합 변화동안 전자 가열에 대한 연구가 행하여졌다. 전자 에너지 분포 함수(EEDF)의 전개가 RF 보상탐침을 사용, 교류 충첩 방법으로 측정된다. RF 출력에 따른 전자 밀도, 유효 전자 온도 및 특히, 플라즈마 전위의 동향이 제시된다. bi-Maxwellian EEDF를 가진 플라즈마에서 플라즈마 전위가 고 에너지 전자 그룹에 의해 결정됨을 보이고, 플라즈마 전위와 EEDF 상호 관계가 논의된다. 실험 결과로부터 RF출력에 따른 플라즈마 전위의 변화가 전자 가열에 있어 축전 출력 결합의 상대적인 기여의 변화를 반영함을 알 수 있다.

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Estimation on composite lognormal-Pareto distribution based on doubly censored samples (결합 로그노말-파레토 분포에서 추출된 양쪽 중도 절단된 표본을 이용한 모수추정)

  • Lee, Kwang-Ho
    • Journal of the Korean Data and Information Science Society
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    • v.22 no.2
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    • pp.171-177
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    • 2011
  • With the development of the actuarial and insurance industries, the distributions of the insurance payments data are deeply studied by many authors. It is known that theses types of distribution are very highly positively skewed and have a long thick upper tail such as Pareto or lognormal distribution. In 2005, Cooray and Ananda proposed a new model which is composed lognormal distribution and Pareto distribution. They said it as composite lognormal-Preto distribution. They showed that the proposed distribution was better fitted than lognormal or Pareto distribution. On the other hand many agreements about the insurance payment have some options for a trivially small payment or extremely large one because of the limits of total payment. Appling these cases, in this paper we consider the parameter estimation on the composite lognormal-Pareto distribution based on doubly censored samples.

Estimation of the joint conditional distribution for repeatedly measured bivariate cholesterol data using nonparametric copula (비모수적 코플라를 이용한 반복측정 이변량 자료의 조건부 결합 분포 추정)

  • Kwak, Minjung
    • Journal of the Korean Data and Information Science Society
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    • v.27 no.3
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    • pp.689-700
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    • 2016
  • We study estimation and inference of the joint conditional distributions of bivariate longitudinal outcomes using regression models and copulas. For the estimation of marginal models we consider a class of time-varying transformation models and combine the two marginal models using nonparametric empirical copulas. Regression parameters in the transformation model can be obtained as the solution of estimating equations and our models and estimation method can be applied in many situations where the conditional mean-based models are not good enough. Nonparametric copulas combined with time-varying transformation models may allow quite flexible modeling for the joint conditional distributions for bivariate longitudinal data. We apply our method to an epidemiological study of repeatedly measured bivariate cholesterol data.

Saddlepoint Approximation to the Linear Combination Based on Multivariate Skew-normal Distribution (다변량 왜정규분포 기반 선형결합통계량에 대한 안장점근사)

  • Na, Jonghwa
    • The Korean Journal of Applied Statistics
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    • v.27 no.5
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    • pp.809-818
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    • 2014
  • Multivariate skew-normal distribution(distribution that includes multivariate normal distribution) has been recently applied to many application areas. We consider saddlepoint approximation for a statistic of linear combination based on a multivariate skew-normal distribution. This approach can be regarded as an extension of Na and Yu (2013) that dealt saddlepoint approximation for the distribution of a skew-normal sample mean for a linear statistic and multivariate version. Simulations results and examples with real data verify the accuracy and applicability of suggested approximations.

Analysis of Electrostatic Field and Potential Distributions in Conductor-Backed Coupled Coplanar Waveguide Using Conformal Mapping Method (등각사상방법을 이용한 도체로 보강된 결합 도파 선로의 정전기장과 전위 분포 해석)

  • Yoo, Tae-Hoon;Han, Ki-Soo
    • Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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    • v.24 no.6
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    • pp.35-42
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    • 2010
  • We use conformal mapping method to derive the analytical expressions for calculating electrostatic fields and electric potentials surrounding the conductor-backed coupled coplanar waveguide(CBCCPW) structure. Using the derived expressions, the electrostatic fields and potentials are computed at various points of the CBCCPW's geometry and the field and potential distributions are analyzed. The proposed method provides a faster and simpler calculation of the field distributions than the full-wave analysis method because no iterations are required. This method can be widely applied to the analysis of microwave integrated circuits using coupled line, such as coupler, filter, and microstrip antenna.

고주파수 축전 결합 플라즈마에서 플라즈마 변수들이 전기장 분포에 미치는 영향에 대한 연구

  • Gang, Hyeon-Ju;Choe, U-Yeong;Jeong, Jin-Uk
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.493-493
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    • 2012
  • 평행평판 축전 결합 플라즈마는 증착이나 식각 등 많은 공정장비에서 사용된다. 이때 구동주파수를 높여주거나 리액터의 크기를 증가시킬 경우, 플라즈마 밀도가 불균일해진다. 플라즈마 밀도는 플라즈마 내 전기장 분포의 균일도와 관련이 있는 것으로 전기장 분포를 균일하게 만드는 것은 매우 중요하다. 이전 연구에서는 충돌 주파수(공정 압력)가 전기장의 분포에 미치는 영향에 대해 발표하였다 [1]. 본 연구에서는 구동 주파수, 충돌 주파수(공정 압력), 플라즈마 주파수(플라즈마 밀도)가 전기장 분포에 미치는 영향을 알아보았고, 이들의 상관관계를 분석하였다. 플라즈마 주파수(플라즈마 밀도)와 충돌 주파수(공정 압력)는 전기장 분포의 균일도에 영향을 주는 변수이지만 이 둘은 반대 영향을 미쳤다. 따라서 두 주파수가 전기장 분포에 미치는 영향이 균형을 이룰 때 균일한 전기장 분포를 얻을 수 있었다. 이 때 구동 주파수가 증가할수록 균일하게 하는 두 주파수의 영역이 줄어들어 높은 구동 주파수에서는 전기장 분포를 균일하게 하기 어려웠다. 이러한 관계를 이용하여 일정한 구동 주파수와 플라즈마 주파수에서 전기장 분포의 균일도를 10% 이내로 하기 위해 충돌 주파수를 결정할 수 있는 방정식을 구하고, 충돌 주파수와 플라즈마 주파수, 그리고 구동 주파수가 전기장 분포를 균일하게 하는 이들의 관계를 살펴 보았다.

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An approach to predict size distribution of suspended sediment - cohesive sediment (유사의 입경분포 모의를 위한 방안 연구 - 점착성 유사의 경우)

  • Son, Minwoo;Byun, Jisun;Park, Byeoung Eun
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2018.05a
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    • pp.288-288
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    • 2018
  • 점착성 유사는 응집 현상을 겪는 유사로, 응집 현상(Flocculation Process)는 응집 과정(Aggregation Process)와 파괴 과정(Breakup Process)의 경쟁으로 이루어진다고 여겨진다. 응집 현상을 통해 점착성 유사는 물과 점착성을 띠는 작은 입자들의 덩어리인 플럭(Floc)을 형성하여 흐름 내에서는 대부분이 플럭의 형태로 이동한다. 점착성 유사의 응집 모형 중 하나인 플럭 성장모형(Floc Growth Model, FGM)은 상미분 방정식으로 시간에 따른 플럭의 크기를 계산하는 모형이다. 응집과 파괴의 평형 상태에서 평균 입경을 얻는다. 이러한 FGM은 낮은 수치 계산 비용으로 합리적인 계산 결과를 얻을 수 있으며, 유사 이동 모형 혹은 흐름 모형과의 결합이 수월한 장점을 가진다. 또한, 닫힌 계(Closed System)에서 질량이 보존되는 특징이 있다. 반면, 결정론적인 특성을 띠면서 특정 플럭 크기만을 계산하기 때문에 점착성 유사의 입도 분포에 대한 정보를 얻을 수 없다. 결정론적 특성을 띠는 FGM에 추계학적 방법을 적용함으로써 특정 확률 분포형을 가지는 플럭의 입도 분포를 얻을 수 있다. 본 연구에서는 기 개발된 추계학적 FGM과 유사 이동 모형의 결합을 통해 변화하는 유수동역학적 조건에서 플럭의 입도 분포를 산정하고자 한다. 이전의 많은 실험실 실험 결과들은 부유가 발생한 상태를 유지하면서 수행되는 것으로, 특정 난류 특성(난류 소산 매개변수)와 특정 유사 농도 조건에서의 입도 분포를 얻는다. 그러나 하구부 및 하천의 하류는 조류의 영향을 받는 구간으로, 점착성 유사의 특성을 분석하기 위해서는 변화하는 유수동역학적 특성에 관한 고려가 필수적이라 할 수 있다. 결합된 점착성 유사 입도 분포 모형은 플럭의 침강과 재부유를 고려할 수 있는 특징을 가지며, 실측자료와의 비교를 통해 입도 분포를 합리적으로 모의하는 것으로 나타난다. 본 연구에서 개발된 점착성 유사 입도 분포 모형은 나아가 비점착성 유사의 입도 분포 모형과의 결합을 통해 두 종류의 유사가 혼재하는 구간에서도 합리적인 입도분포와 유사의 이동을 모의할 수 있을 것으로 예측된다.

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