• Title/Summary/Keyword: 결함 자동 검출

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Automatic Defect Detection System for Ultra Fine Pattern Chip-on-Film (초미세 패턴 칩-온-필름을 위한 자동 결함 검출 시스템 개발)

  • Ryu, Jee-Youl;Noh, Seok-Ho
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2010.05a
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    • pp.775-778
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    • 2010
  • 본 논문에서는 초미세 패턴($24{\mu}m$ 이하의 선폭, $30{\mu}m$ 이하의 피치)을 가진 칩-온-필름(Chip-on-Film, COF)에 발생한 결함을 자동으로 검출할 수 있는 시스템을 제안한다. 개발된 시스템은 COF 패턴으로부터 대표적으로 발생하는 결함들, 즉 개방(open), 단락(hard short), mouse bite(near open) 및 near short(soft short)을 자동으로 신속히 검출할 수 있는 기술이 적용되어 있다. 특히 초미세 패턴의 경우, near open 및 near short과 같은 결함 검출이 불가능한 기존 검출시스템의 문제점을 극복한 기술이 제안되어 있다. 본 논문에서 제안하는 결함 검출 원리는 미세 선의 결함유무에 따른 저항 변화를 자동으로 검출하고, 그 미세한 변화를 좀 더 자세하게 판별하기 위해 고주파 공진기(resonator)를 적용하고 있다. 제안된 시스템은 미세 패턴을 가진 COF 제작 과정에서 발생한 결함을 신속히 검출할 수 있기 때문에 COF 불량 검사에 소요되는 많은 경비를 줄일 수 있으리라 기대한다.

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Implementation of Automated Defect Detection and Classification System for Semiconductor Wafers (반도체 웨이퍼 자동 결함 검출 및 분석 시스템 구현)

  • 남상진;한광수
    • Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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    • 2001.10b
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    • pp.334-336
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    • 2001
  • 반도체 제조와 같은 대량 생산 시스템에서 제품 검사는 매우 중요란 단계 중의 하나이다. 반도체 제조 공정 내에서의 시각 검사는 현재 사람의 육안에 주로 의존하고 있으나, 회로가 점점 복잡해지고 작아지는 추세에 비추어 볼 때 사람에 의한 시각 검사는 한계에 이를 것으로 보인다. 본 연구에서는 웨이퍼상의 결함을 자동으로 검출하고 검출된 길함을 분류하는 자동시각검사 시스템을 설계 구현하였다.

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미세 피치 칩 온 필름 대응 신형 자동 결함 검출 시스템

  • Ryu, Ji-Yeol;No, Seok-Ho
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2009.10a
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    • pp.931-934
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    • 2009
  • 본 논문은 $24{\mu}m$ 이하의 미세 폭 및 $30{\mu}m$ 이하의 피치와 같이 미세 패턴을 가진 칩 온 필름(chip-on-film, COF)에 발생한 결함들을 자동으로 검출할 수 있는 시스템을 제안한다. 개발된 검출시스템은 미세 패턴의 COF에서 발생한 개방 (open), 단락 (hard short), mouse bite 및 near short (soft short)과 같은 다양한 결함들을 자동으로 빠르게 검출할 수 있는 기술이 적용되어 있다. 본 논문에서 제안하는 결함 검사 기술의 기본 원리는 미세 패턴내의 결함으로 인해 발생한 저항의 미세 변화를 고주파 공진기 (resonator)를 이용하여 측정 주파수에서 증폭시키고 증폭된 결함 신호와 결함이 없는 경우의 신호와의 전압차를 읽어서 0이 아니면 결함이 있음을 판단한다. 제안된 시스템은 미세 패턴 COF 검사 과정에서 결함들을 신속히 측정할 수 있으므로 불필요한 COF 복사를 위해 소요되는 경비를 줄일 수 있으리라 기대한다.

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A Development of Automatic Defect Detection Program for Small Solid Rocket Motor (소형 로켓 모타의 결함 자동 판독 프로그램 개발)

  • Lim, Soo-Yong;Son, Young-Il;Kim, Dong-Ryun
    • Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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    • v.30 no.1
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    • pp.31-35
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    • 2010
  • This paper presents the development of automatic defect detection program using 3D computed tomography image of small solid rocker motor. We applied the neighbor pixel comparison algorithm with beam hardening correction for the recognition of defect. We made the artificial defect specimen in order to decide a standard CT value of defect. The program was tested with 150 small solid rocket motors and it could detect the disbond, crack, foreign material and void. The program showed more reliable and faster results than human inspector's interpretation.

Automatic Defect Detection using Fuzzy Binarization and Brightness Contrast Stretching from Ceramic Images for Non-Destructive Testing (비파괴 검사를 위한 개선된 퍼지 이진화와 명암 대비 스트레칭을 이용한 세라믹 영상에서의 결함 영역 자동 검출)

  • Kim, Kwang Baek;Song, Doo Heon
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.21 no.11
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    • pp.2121-2127
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    • 2017
  • In this paper, we propose a computer vision based automatic defect detection method from ceramic image for non-destructive testing. From region of interest of the image, we apply brightness enhancing stretching algorithm first. One of the strength of our method is that it is designed to detect defects of images obtained from various thicknesses, that is, 8, 10, 11, 16, and 22 mm. In other cases we apply histogram based binarization algorithm. However, for 8 mm case, it may have false positive cases due to weak brightness contrast between defect and noise. Thus, we apply modified fuzzy binarization algorithm for 8 mm case. From the experiment, we verify that the proposed method shows stronger result than our previous study that used Blob labelling for all five thickness cases as expected.

Development of Surface Fault Detection Algorithm for Real Time Processing (실시간 적용을 위한 선재 흠 탐상 알고리즘의 개발)

  • Park, Young-Su;Yun, Jong-Pil;Seo, Bo-Yeul;Kim, Sang-Woo
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2006.07d
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    • pp.2049-2050
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    • 2006
  • 최근 제품의 품질 향상과 생산력 제고를 위해 제조업 분야에서의 결함 검출 시스템의 자동화에 대한 필요성이 커지고 있다. 또한 많은 회사들이 자동 흠 검출 시스템을 도입하여 판재나 모직 등의 흠 검출에 사용하고 있다. 그러나 철강 제조업에서 선재의 흠 검출은 이전에 많이 시도된바 있는 판재 등의 흠 검출보다 극복해야할 과제가 많다. 우선 선재의 특성상 조명이 일정하더라도 각 부분의 밝기가 다르고, 선재가 이동하거나 선재의 굵기가 달라지면 카메라에서 관측되는 부위의 밝기가 달라진다. 따라서 선재의 흠 검출 시스템에서는 이들의 영향을 극복하고 제품의 결함을 판별할 수 있는 알고리즘이 요구된다. 또한 선재의 이동속도는 최고 18m/s에 이르기 때문에 실시간으로 흠을 검출하기 위해서는 알고리즘이 간단하고 효율적이어야 한다. 본 논문에서는 이러한 문제를 극복하고 선재의 흠을 자동 검출하기 위한 알고리즘을 제시한다.

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Template Check and Block Matching Method for Automatic Defects Detection of the Back Light Unit (BLU의 자동결함검출을 위한 템플레이트 검사와 블록매칭 방법)

  • Cho SangHee;Han ChangHo;Oh ChoonSuk;Ryu YoungKee
    • Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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    • 2005.07b
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    • pp.793-795
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    • 2005
  • 본 논문에서는 자동결함검출 방법으로 돌출 함몰, 점 등과 같은 작은 결항들을 검출하기 위해 모폴로지의 닫힘, 열림 방법을 이용하는 템플레이트 검사 방법을 사용하였고, 얼룩, 스크래치와 같은 큰 결함을 검출하기 위해 영상에서 격자와 같은 일정한 블록을 형성하여 각 블록을 비교하여 결함을 찾는 블록매칭 방법을 사용하였다. 또한 이 알고리즘을 적용한 결과 결함 검출에 좋은 성능이 있음을 보여준다. 제안된 알고리즘은 자체 개발한 장비에서 실제 BLU의 영상을 얻어 테스트를 하였다.

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3D Analysis System for Copper Palate Defect Detection (동판의 결함 검출 위한 3차원 분석 시스템 개발)

  • Oh, Choon-Suk
    • The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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    • v.13 no.1
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    • pp.55-62
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    • 2013
  • Automatic inspection system is required for increment of copper plate production and demand expansion. Thus 3D surface form and defect detection of copper plate calls for 3D image and GUI analysis. Limitation of 2D analysis, such as error occurrence and decision difficulty makes eye inspection automatic. Automatic inspection is able to raise accurate inspection rate and productivity efficiency elevation. In this paper defect classification is defined and inspection system is implemented. Defect analysis algorithms and GUI for 3D image analysis is developed and tested.

A Study for the Blob and Weft Float Detection on the Textile (섬유의 이물질유입 및 위사빠짐 검출에 대한 연구)

  • 오춘석;이현민
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2000.10a
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    • pp.121-123
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    • 2000
  • 섬유의 자동 검사에서는 섬유 패턴과 연관이 있는 결함과 패턴과 연관이 없는 결함의 2 부류를 검사하게 된다 본 논문에서는 이들 결함의 검사를 2 단계에 거쳐서 하게 되는데, 섬유 패턴에 독립적인 결함을 프로파일 분석을 통해 우선 검출하고, 섬유 패턴에 종속적인 결함을 co-occurrence 행렬을 이용해 검출하는 기법을 소개한다. 이렇게 해서 검출된 결함들은 Back-propagation 알고리즘을 사용해 분류된다. 이 기법을 통한 실험에서 백색 유광택 타포린에서 발생하는 이물질유입 및 위사빠짐을 97.1%이상 검출할 수 있었다.

Automatic defect detection using intensity and shape information in industrial CT (산업용 CT 영상에서 밝기값 및 형태 정보를 이용한 기공 결함 자동 검출)

  • Ji, Hye-Rim;Hong, Helen
    • Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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    • 2012.06c
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    • pp.415-417
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    • 2012
  • 본 논문에서는 산업용 CT 영상에서 다중 해상도 기반의 밝기값 정보와 형태 정보를 이용하여 내부 기공결함을 정확하고 빠르게 검출하는 기법을 제안한다. 첫째, 대용량 CT 데이터에서 계산량을 줄이기 위하여 1/2 해상도로 변환 후 관심영역을 자동 산정하고, 링 또는 금속 인공물 등의 잡음을 제거하기 위해 비등방성 확산 필터링을 수행한다. 둘째, 기공 결함 후보군을 검출하기 위해 밝기값 기반의 결함 검출 기법을 제안한다. 셋째, 결함 검출의 민감도를 향상시키기 위해 형태 정보를 이용한 기공 결함 검출 기법을 제안한다. 넷째, 수행시간 가속화를 위하여 다중 해상도 영상 처리 및 Open MP를 적용한다. 제안방법의 평가를 위하여 육안평가와 정확성 평가, 수행시간을 측정하였다. 정확성 평가는 실제 기공 결함과 제안방법 적용 후 결함 간 중복 픽셀 수로 측정하였다. 실험 결과 평균 중복 픽셀 비율은 91%로 측정되었고, 가장 큰 비율은 99%, 가장 작은 비율은 80%로 측정되었다. 다중 해상도 기법 및 Open MP를 적용함으로써 해상도 데이터 수행시간보다 90% 가속화되었다.