• 제목/요약/키워드: 결함 성장

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Electric Detection Of Microdefect In Silicon Single Crystal (전기적 방법을 이용한 실리콘 단결정 내 미세 결함의 검지)

  • 김기범;서희돈;김흥락;강성건;류근걸
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 1997.11a
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    • pp.521-524
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    • 1997
  • TZDB(Time-Zero Dielectric Breakdown)법을 이용하여 CZ법으로 성장된 6인치완 8인치 실리콘 웨이퍼의 미세 결함에 대해 조사하였다. 80$0^{\circ}C$에서 $N_2$분위기로 성장시킨 SiO$_2$를 이용하여 표면에 1092계의 MOS 커패시터를 형성한 뒤. 개별 소자에 대해 I-V test를 행하고 이를 통해 얻이진 파괴전압과 누설전류값을 이용하여 결과를 디스플레이 하는 프로그램을 개발하였다. Breakdown실험을 토해서 얻어진 결과를 결정내부의 특성을 관찰하는 SPV결과와 비교함으로써 표면의 상태와 내부의 상태를 연관시키고자 하는 시도를 하였다. 결함이 존재하는 지역의 커패시터는 결함이 존재하지 않는 지역과 비교하여 상대적으로 높은 누설전류값을 보였다.

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Out-of-plane twin 구조를 갖는 $LaAlO_3$기판 상의 La-Ca-Mn-O 박막 적층 성장 분석

  • 송재훈;최덕균;정형진;최원국
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.145-145
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    • 1999
  • La-Ca-Mn-O (LCMO) 박막에서 초거대 자기 저항 효과와 발견된 이후 자기 센서와 고밀도 자기 저장 매체로서 응용하기 위한 연구가 진행되고 있다. 그러나 현재 대부분의 증착은 타겟과 박막간의 조성의 일치를 위하여 PLD 방법을 이용하고 있으며 RF magnetron sputtering 법으로 증착한 예는 많이 보고되고 있지 않으며 특히 적층 성장시킨 예는 아직 보고되지 있지 않다. 또한 LCMO와의 낮은 격자 상수 불일치를 보이는 SrTiO3와 LaAlO3 기판에 LCMO 박막을 성장시킬 경우 LaAlO3의 경우 XRD rocking curve의 curve의 FWHM 값이 SrTiO3 상에 증착시킨 것의 10배 이상의 값을 보인다는 것은 주목할 만한 사실이다. RF magnetron sputtering 법을 이용하여 LaAlO3 기판상에 145nm MCMO 박막을 적층성장시켰다. XRD $ heta$-2$\theta$ scan을 통해 박막이 c-축 배향한 것을 확인할 수 있었으며 RBS 분석결과 4.98%의 minimumyield를 보였으며 이로부터 박막이 적층성장한 것을 확인할 수 있었다. LCMO (200) peak의 XRD $\theta$-rocking 결과 FWHM의 값은 0.311$^{\circ}$를 보였으나 2개의 피크가 존재하는 것을 볼 수 있었다. 따라서 기판의 (200) 피크를 XRD $\theta$-2$\theta$ scan에서 0.3$^{\circ}$ 간격으로 두 개의 피크를 관찰할 수 있었는데 이는 기판과 박막간의 stress로 인한 tetragonal distortion에 의한 것으로 알려져 있었다. 따라서 기판상에 박막이 어떤 식으로 적층 성장되었는지를 RBS를 이용하여 <001>과 <011> 방향으로 2MeV He++를 주입하여 0.1$^{\circ}$ 간격으로 틸팅을 해본 결과 <001> 방향에서는 1.12$^{\circ}$의 차이를 보였다. 이는 기판과의 compressive stress로 인해 c축 방향으로 늘어났으며 stress relaxed layer는 XRD 결과와는 달리 관찰할 수 없었다. 이러한 현상의 기판 자체의 twin 구조로 인한 것으로 생각된다. RBS 분석후 고분해능 XRD를 이용해 LCMO (200) peak의 $\theta$-rocking 결과 이제R지 laAlO3 상 증착한 LCMO의 값으로는 제일 작은 0.147$^{\circ}$를 나타내었다.

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Variation on the Growth Rate of Plants by Submersion of High Turbidity - A Case Study on Salix Species - (고탁도 침수에 의한 하천식물의 성장률 변화 연구 - 버드나무속 3종을 대상으로 -)

  • Kim, Jong Tae;Kim, Eun Jin;Kang, Joon Gu;Yeo, Hong Koo
    • Journal of Korea Water Resources Association
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    • v.46 no.9
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    • pp.957-967
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    • 2013
  • High turbidity submersion due to torrential downpour is one of the factors that influences the plant growth. This study is focused on analyzing the plant's growth rate for Salix species such as gracilisyla, koreensis, glandulosa when these trees are waterlogged. The length of shoots for this control group in the natural state is 33.4% (gracilisyla), 24.3% (koreensis), 23.9% (glandulosa), however, they stopped growing in submersion. Compared to the leaf number of Salix species of this control group in the natural state, 144.5% (gracilisyla), 77.3% (koreensis), 40.3% (glandulosa) in the natural state 30 days, in 30 days submersion, the number of leaves is zero except koreensis. In the results of this experiment, Salix species stopped growing quickly when submersed. This study concludes that it is necessary to plant eco-friendly plants around the slope of the reservoir and dam where flooding takes place frequently.

운반자 구속 현상이 개선된 InAs/GaAs 양자점 성장 및 특성평가

  • Jo, Byeong-Gu;Lee, Gwang-Jae;Park, Dong-U;Kim, Hyeon-Jun;Hwang, Jeong-U;O, Hye-Min;Lee, Gwan-Jae;Kim, Jin-Su;Kim, Jong-Su;No, Sam-Gyu;Im, Jae-Yeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.154-154
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    • 2011
  • 자발형성법(Self-assembled)을 이용한 InAs 양자점(Quantum dots)은 성장법의 고유한 물리적 한계로 길이방향에 대한 수직방향 비율(Aspect ratio, AR)이 상대적으로 작은 값을 갖는다. 기존에 보고된 바에 따르면 GaAs 기판에 형성한 InAs 양자점은 일반적으로 AR이 0.3 정도를 보인다. 이러한 높이가 상대적으로 낮은 InAs 양자점은 수직방향으로 운반자(Carrier)의 파동함수 (Wave-function) 구속이 작게 되어 나노 양자점 구조의 0차원적 특성이 저하되게 된다. 본 논문에서는 Arsenic 차단법(Interruption technique)을 이용한 수정자발형성법(Modified self-assembled method, MSAM)으로 InAs 양자점(MSAM-InAs 양자점)을 형성하고 성장 변수에 따라 광 및 구조적 특성을 평가하여 0차원 순도를 분석하였다. MSAM InAs 양자점을 성장하고 12 nm 두께의 GaAs spacer 층을 증착한 후 $600^{\circ}C$에서 30초 동안 Arsenic 분위기에서 열처리(Annealing)를 수행 한 후 다시 InAs을 증착 하였다. 이러한 과정을 5번 반복하여 높이 방향으로 형상을 개선시킨 InAs 양자점을(Vetically-controlled MSAM, VCMSAM) 성장하였다. 기존 자발형성법을 이용한 InAs 양자점과 MSAM-InAs 양자점 단일층 구조를 기준시료로 성장하였다. 상온 포토루미네슨스(Photoluminescence, PL) 실험에서 단일 MSAM InAs 양자점 및 VCMSAM 양자점 시료의 발광에너지는 각각 1.10 eV와 1.13 eV를 나타내었다. VCMSAM InAs 양자점 시료의 PL세기는 단일 MSAM 양자점보다 3.4배 증가되어, 확연히 높게 나타나는 결과를 보였다. 이러한 결과는 높이 방향으로 운반자의 파동함수 구속력이 증가하여 구속준위 (Localized states)의 전자-정공의 파동함수중첩(Overlap integral)이 개선된 것으로 설명할 수 있다. 투과전자현미경(Transmission electron microscopy) 및 원자력간 현미경(Atomic force microscopy)을 이용하여 구조적 특성을 평가하고 이를 비교 분석한 결과를 보고한다.

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Urbanization and Economic Growth in China: Test of Williamson's Hypothesis (Williamson 가설검정에 의한 중국의 도시화와 경제성장에 관한 연구)

  • Kim, Jong-Sup
    • International Area Studies Review
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    • v.16 no.3
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    • pp.323-341
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    • 2012
  • In the recent year, the urbanization is emerging as important issue for sustainable development in China. Like the most of the world, urbanization of China is closely related with the domestic market development, the innovation of industrial structure, and the reduction of income cap among regions, urban-rural region and so on. This paper analyzes the impact of urbanization on economic growth using cross section data and time series data of the eastern coastal regions in China. Based on the existing literature, we establish a hypothesis, which is basically the same as Williamson(1965)'s hypothesis, that urbanization promotes the economic growth at the early stages of development but has adverse effects in economies that have reached a certain income level. The results of study are as follows: Using 10-provinces data of the eastern coastal region in China, this paper examines the impact of urbanization on economic growth. Regression results suggest that Williamson's hypothesis is not verified, regardless of estimation methods in two models. Hence, the results show that the impact of urbanization on economic growth has not the inverse U-type function in the eastern coastal region of China.

Study of urban extraction using NDVI and NDBI (NDVI와 NDBI를 이용한 도시지역 추출에 관한 연구)

  • Lee, Soo-Hyun;Jeong, Jae-Joon
    • 한국공간정보시스템학회:학술대회논문집
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    • 2007.06a
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    • pp.156-161
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    • 2007
  • 도시화에 따른 도시문제발생이라는 결과로 미루어 볼 때, 지속적인 도시 성장을 위한 도시 성장 관리는 필수적이며, 이것을 위해서 도시지역을 추출하는 것은 도시의 성장 추이를 파악할 수 있게 한다는 점에서 매우 의미 있는 일이다. 본 연구에서는 도시 성장 모니터링에 있어서 정규식생지수(NDVI)와 정규시가지화지수(NDBI)를 결합한 방법의 활용성을 규명하는데 목적을 두었다. 이를 위해 토지피복분류에 일반적으로 사용되는 감독 분류기법과 도시지역추출에 이용되는 NDVI와 NDBI를 결합한 방법(식생지수결합법)으로 1988년과 2000년 두 시기의 Landsat TM 영상을 이용하여 도시지역을 추출하고 일치도를 분석하였다. 분석 결과, 1988년 식생지수결합법과 감독분류기법으로 추출한 도시지역의 일치도는 98%, 식생지수결합법 비도시지역으로 추출된 지역이 감독분류기법으로는 도시지역으로 추출될 확률은 37.35%로 나타났고, 같은 경우 2000년은 각각 99.3%와 7.7%로 나타났다. 이를 통해 식생지수결합법을 사용한 도시지역 추출 결과와 감독분류기법을 사용한 도시지역 추출 결과의 일치도가 비교적 높게 나타남을 알 수 있었다. 또, 각 기법을 통한 도시지역 추출 결과와 실제 도시 검사점과의 일치도의 분석을 통해서도 도시지역 추출 결과의 일치도가 비교적 높게 나타났다. 따라서 분류를 통한 도시지역 추출 방법에 비해 식생지수결합법을 이용한 도시지역 추출이 절차상 수월한 점을 감안하면 도시지역 추출에 있어서 식생지수결합법의 효율성을 입증할 수 있었다.

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Synthesis of Silicon Carbide Whiskers (II): Stacking Faults (탄화규소 휘스커의 (II): 적층결함)

  • 최헌진;이준근
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.36 no.1
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    • pp.36-42
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    • 1999
  • Stacking faults in SiC whiskers grown by three different growth mechanisms; vapor-solid(VS), two-stage growth(TS), and vapor-liquid-solid (VLS) mechanism in the carbothermal reduction system were investigated by X-ray diffraction(XRD) and transmission electron microscopy (TEM). The content of stacking faults in SiC whiskers increased with decreasing the diameter of whiskers, i.e., the small diameter whiskers (<1 $\mu\textrm{m}$) grown by the VS, TS, and VLS mechanisms have heavy stacking faults whereas the large diameter whiskers(>2$\mu\textrm{m}$) grown by the VLS mechanism have little stacking faults. Heavy stacking faults of small diameter whiskers was probably due to the high specific lateral surface area of small diameter whiskers.

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A Study on Behavior of Deep Levels for AlGaAs Epi-layers using DLTS (DLTS를 이용한 AlGaAs 에피층의 깊은준위 거동에 관한 연구)

  • Choi, Young-Chul;Park, Young-Ju;Kim, Tae-Geun
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2004.07a
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    • pp.150-153
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    • 2004
  • 본 논문에서는 780 nm 고출력 레이저 다이오드의 신뢰성을 향상시키기 위하여 DLTS(deep level transient spectroscopy)을 이용하여 MOCVD(metalorganic chemical vapor deposition) 성장 조건 변화에 따른 $Al_{0.48}Ga_{0.52}As$$Al_{0.1}Ga_{0.9}As$ 물질에서의 깊은준위(deep level)의 거동을 조사하였다. DLTS 측정결과, MOCVD로 성장된 막에서만 나타나는 결함(defect)으로 추정되는 trap A(0.3 eV), DX center로 알려진 trap B, 갈륨(Ga) vacancy와 산소(O2) 원자의 복합체(complex)에 의한 결함인 trap D(0.6 eV) 및 EL2 라고 불리우는 trap E(0.9 eV)의 네 가지 깊은준위들이 관측되었고, 성장 조건의 변화에 따라 깊은 준위들의 농도가 감소하는 것을 관측함으로써 최적 성장 조건을 찾을 수 있었다.

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Synthesis of large area·single layer/crystalline graphene (대면적·단일층·단결정 그래핀의 합성)

  • Choi, Byung-Sang
    • The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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    • v.9 no.2
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    • pp.167-171
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    • 2014
  • Using chemical vapor deposition(CVD), the synthesis of graphene was performed on poly and single crystalline Cu substrates. The growth behavior of graphene and its characterization were shown utilizing the optical microscopic image and its image analysis. As a result in the analysis of graphene growth, it was found out the graphene is growing always in particular direction in relation to the crystalline direction of a single grain in polycrystalline Cu substrate. With the image analysis it was possible to show the characterization of graphene, such as the growth direction and the number of layers showing single, double and triple layers, within the neighboring single grains in polycrystalline Cu. In addition, the relatively large area of graphene with about $3mm^2$ on Cu(111) having high quality, single layer, and single crystalline was shown along with its characterization.

Microbial Effects on Geochemical Behavior of Arsenic under Aresnic under Aerobic Condition and Their Applicability to Environmental Remediation (호기성환경에서 비소의 지구화학적 거동에 미치는 미생물의 영향 및 오염 복구에의 적용 가능성)

  • Lee, Sang-U;Kim, Gyeong-Ung;Lee, Jong-Un
    • Economic and Environmental Geology
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    • v.34 no.4
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    • pp.345-354
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    • 2001
  • The effects on arsenic geochemistry of indigenous microorganisms isolated from an area contaminated with high concentration of arsenic were investigated. Arsenite exerted higher inhibitory effects on the microbes' growth than arsenate. During incubation of the microbes in an arsenate-spiked medium over 24 hours, decrease in microbial growth was observed as arsenate content increased. Arsenate of 150 mM or over apparently inhibited cell growth. However, further incubation for up to 4 days in the high arsenate concentration medium resulted in cell growth, implying that the microorganisms adjusted their biochemical functions to detoxify arsenic and maintain growth. Two types of microbes were observed during 20 hours to reduce arsenate to arsenite in solution through a detoxification mechanism. As well, decrease in the total arsenic content occurred over a 4-day incubation with the same microbes in an arsenate-spiked medium. Therefore it is suggested that microorganisms can influence arsenic speciation in natural settings and this may be applied to efficient bioremediation of arsenic-contaminated sites.

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